超精密研磨与抛光课件【行业荟萃】

1、本科生专业课程，超精密研磨和抛光，1，产业参考，2，产业参考，手动研磨，3，产业参考，4，产业参考，挤压研磨，5，产业参考，6，产业，7，行业参考，磨削特性，1 .不选择切割量，限制压力和加工时间。2.磨削是在良好的预加工基础上进行的，加工余量小。3.磨削过程中工件与磨料的接触是随机的，可以相互细化高点，逐步减少误差。4.表面粗糙度减少效果明显，准确度提高不明显，生产率低。5.磨削可加工钢、铸铁、铜、铝及其合金、半导体、陶瓷、玻璃、塑料等材料；不需要复杂或高精度的设备，以简单可靠的方法保证质量。8，参考产业，超精密研磨机制，研磨：工件，磨料(更粗糙)，磨料(更硬)，相对运动磨料在工件和磨料之间

2、旋转，磨料不固定。磨料研磨由磨料支撑。9，行业参考，超精密磨削机理和特性，研究工具和工件之间的相对运动方向经常发生变化。研究用仪器形状应复制到工件上，研究用仪器形状应尽可能理想。磨削：在芯片、磨料磨损、磨料颗粒粉碎等复杂情况下完成。10、工业参考、磨削模型、11、工业参考、12、工业参考、磨削优点：加工表面粗糙度、变质层小表面质量、磨削装置简单磨削缺点：加工速度低、加工速度低。13，工业参考，硬脆材料的超精密研磨，硬脆材料的研磨，容易发生微裂纹。研磨工艺：裂纹萌生、裂纹扩展、小粉碎、剥落、磨损。磨削时控制裂纹大小的方法是关键。14，工业参考，硬脆材料的超精密研磨，15，工业参考，硬脆材料的超精

3、密研磨，16，工业参考，超精密研磨，17，工业参考，硬脆材料的超精密研磨，18，磨料的研磨相当于普通切削和研磨的切削深度的极时间状态。磨料是自由的，因此很难形成连续切割。磨料和工件之间通过旋转和压力有不连续的研磨效果。20，工业参考，金属材料超精密研磨，21，工业参考，brittle mode ductemtilemode，22，工业参考，超精密抛光机理和特性，抛光：工件，磨料(更多，抛光模型，23，参考行业，使用涂有抛光霜的软轮(抛光轮)高速旋转(或往复运动)工件，减少工件表面粗糙度，提高光亮度的精密加工方法。柔软的轮子是由皮革、毛皮、帆布等材料制成的，具有一定的弹性。磨料和润滑脂(油酸、硬

4、脂酸、煤油、石蜡)配制。研磨不会提高尺寸精度、形状精度和位置精度。超精密抛光机理及特性，24，工业参考，超精密抛光机理及特性，25，工业参考，抛光原理及特性工作原理及研磨相似，高加工表面质量。磨料更细。磨料是柔软的材料。研磨脆性材料也不会产生裂纹。26，工业参考，抛光加工机构塑料生成芯片。磨料和磨料之间的流动摩擦作用使工件表面的凸凹变平。在加工液中进行化学溶解。磨料和工件之间的直接化学反应。，27，工业参考，超精密抛光硬质合金表面，28，工业参考，超精密抛光基于Al2O3的陶瓷刀具表面，29，工业参考，超精密抛光基于Si3N4的陶瓷刀具表面，30， 电子显微镜TEM照片，37，工业参考，超精密

5、抛光铸铁材料表面，38，工业参考，超精密抛光纤维增强材料表面，39，工业参考，40，工业参考，工业参考产业参考，涂层标记，50，产业参考，研磨，抛光加工变质层，无论使用什么加工方法，材料加工部位都会有变质层。 变质层的存在会对材料的物理、化学、机械、电气、磁、光学等特性产生显着影响，影响工件的使用性能。加工变质层包括表面微裂纹、表面组织、表面结构、表面应力、表面变形、表面硬度、表面粗糙度、残余应力和表面构件。51，工业参考，52，工业参考，53，工业参考，精密研磨，研磨第二部分，研磨方法(单面，双面，回转，往复)；研磨工具(磨料) (材料、形状、表面状态。铸铁、软布、树脂、橡胶、塑料)；磨料(

6、磨料) (类型，材料，厚度)加工液(磨料)压力，速度，时间环境，54，工业参考，55，工业参考，双面研磨机，56，磨料工作面的形态精度反映在工件上，应减少磨料磨损和变形引起的精度降低。62，工业参考，磨料工具，63，工业参考，磨料磨具，64，工业参考，磨料磨具，65，工业参考，超精密平面研磨和抛光大规模集成电路的硅片第3超精密平面抛光，非常高其他：光学平晶、测量块、石英振动子基板等。一般在精密平面磨床上磨削，66，工业参考，研究工具：通过磨削将研究工具的平面状态复制到工件。一般研究用仪器：特殊玻璃、金属板上涂有四氟乙烯和镀铅及铟、锡板、沥青板。67，参考行业，高质量平面磨削抛光工艺规则磨削运动

7、轨迹应均匀分布，不重叠-由磨床的行星运动保证。研磨盘应具有材料均匀、微孔，接受微细颗粒磨料，修改后获得高平整度的研磨表面。柔软(半柔软)研磨盘：粗糙度很小，变质层很容易得到小的表面，但平面度不高。68，参考行业，高质量平面研磨抛光工艺的规则使用金刚石硬质合金磨料，效率更高。磨削平整度要求高的零件时，可以使用浮动研磨盘消除误差。为了提高效率，可以在磨料中添加化学活性物质。避免粗糙的磨料，空气中的灰尘等混合。否则，抛光表面可能会刮到达不到高质量磨削要求的程度。，69，参见工业，a .传统研磨和抛光：完全依赖精细研磨材料去除研磨材料的机器角色b .研磨和抛光新技术：其原理不是完全机械去除机械作用化学作用等，第4节超精密研磨和抛光新技术，第70，参见工业，71，参见工业，72，工业，73，见工业，2 .机械化学研磨，抛光腐蚀溶液中的抛光，工件边缘腐蚀边缘加工。利用磨料本身或磨料和工件之间的化学作用研磨和研磨工件。在腐蚀液中研磨是为了利用腐蚀液的腐蚀作用提高效率。工件可以与磨料或磨料发生化学反应，便于研磨。74、产业参考，机制：名为“加压激活”的机械化学作用。75，参考行业，工作原理研磨工具上的锯齿凹槽打开，以楔形挤压和研磨液反弹提高微切