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文档简介

1、实验报告学院：专业：班级：姓名学号实验小组实验时间10/5/12指导教师成绩实验项目名扫描电子显微镜实验的目的1 )结合扫描电子显微镜的实物，介绍了基本结构和工作原理，加深对扫描电子显微镜的结构和原理的理解。2 )选择合适的样品，通过观察样品的形态对比度和原子序数对比度，了解扫描电镜图像对比度的原理及其应用。实验要求1 )简要叙述扫描电子显微镜的基本结构和特征。2 )以扫描电子显微镜的形态对比度和原子序数对比度的应用为例进行说明。实验原理扫描电子显微镜中，成像的信息主要是电子信息，根据现代电子工业技术水平，很难接收、处理、积蓄高速变化的电子信息，因此可以进行几个动态过程的观察，在样品室内设置加

2、热、冷却、弯曲、拉伸、离子蚀刻等附件用扫描电子显微镜观察厚样品更有利，可以得到实际样品的表面资料。扫描电子显微镜主要有真空系统、电子束系统和成像系统。 真空系统主要由真空泵和真空柱两部分组成。 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要由能量分布极窄的电子能量决定，产生电子束来扫描图像。 电磁镜头：热电子发射需要电磁镜头，所以在使用热电子枪的扫描电子显微镜中，电磁镜头是不可或缺的。 通常组装2组聚焦透镜、物镜(物镜是真空柱中最下方的电磁透镜，将电子束的焦点聚焦到样品表上)。 电子通过一系列电磁透镜会聚后，照射样品与样品相互作用，产生二次电子、后向散射电子、欧格拉姆电子和x射线等一系列信号。

3、因此，为了得到必要的信息，需要二次电子检测器、x射线分光分析器等不同的检测器。工作原理：右图是扫描电子显微镜的原理图。 从最上面的电子枪发射的电子束通过栅格会聚扫描电子显微镜原理图聚焦后，以加速电压，通过由23个电磁透镜组成的电子光学系统，电子束会聚成细电子束，会聚到样品表面。 在最终段的透镜上设置扫描线圈，通过其作用在试料表面扫描电子束。 通过高能电子束与样品物质的相互作用，产生了二次电子、反射电子、吸收电子、x射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等多种信息。 这些信号被各自的接收机接收，放大后发送给阴极射线管的网格，以调制阴极射线管的亮度。 因为流过扫描线圈的电流对应于显像管的亮度，也就是说电子束照射样品时，显像管的荧光屏上出现了亮点。 扫描电镜采用这种逐点成像的方法，将样品表面的不同特征顺序成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，在荧光屏上观察样品表面的不同特征图像。实验器具电子扫描显微镜、样品、导电膏实验顺序一、制作样品，打开电子扫描电子显微镜二、用导电膏把样品固定在台上三、放置样品后，抽真空，调整样品的距离、扫描的对比度和最佳倍率四、选择不同的倍数，拍照实验数据实验总结可以在一定程度上看到样品的外观形态和表面组织，可以清楚地看到断裂的区域。 纤维区、辐射区、瞬断区三个区域中，

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