蔡司场发射扫描电镜培训

1、蔡司场发射扫描电镜 操作培训,前言,这篇培训资料仅适合于蔡司热场发射扫描电镜，这只是一个简略的介绍。 由于仪器的发展和改进，有些客户使用的仪器与此有些出入，敬请使用者在操作时注意。 详细资料，请阅读原厂手册。,安全规则,设备的电源一定要确保持续和稳定。 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图红圈,安全规则,样品台的移动：当样品台移动的时候，一定要确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品台上升的过程中）,开关机操作说明,FESEM 主机的开机,首先将水冷机打开。确认控制面板上的3个灯亮（红圈中）。右侧的水机温度下降到左侧的设定温度。 检查水机后面的压力表的读数

2、。 如果有压缩空气机的话，打开压缩空气机。确保输出压力达到6 bar。,开关机操作说明,FESEM 主机的开机,按下黄色的Standby按钮（设备的真空板和MPSU板启动）。 等待30秒后。 按下绿色的On按钮。设备的所有电路板启动,开关机操作说明,FESEM 主机的关机,按下黄色的Standby按钮（设备除真空和MPSU电路板外的所有电路板关闭电源）。 等待30秒后。 按下红色的Off按钮。设备的所有电路板关闭。 15分钟后关闭水冷机和压缩空气机。,开关机操作说明,注意事项：,开机以前，一定要提前把空调打开。让房间里的温度控制到指定要求。并很稳12小时。 当空调停机的时候，应立即关闭主机和水

3、机！,操作软件简介说明,Smart软件的启动 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中选择START PROGRAMS SMARTSEM SMARTSEM USER INTERFACE,操作软件简介,软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。当设备出现硬件问题时，软件将自动出现提示。,操作软件简介,自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软件。,操作软件简介,软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键Ctrlg),操作软件简介,点击此处，可以选择灯丝的开关和高压的开关,严禁擅自更改Fil I和Extractor V处的数值。如需更改，请先取

4、得服务工程师的同意。,双击或者拉动滑块可以改变不同的EHT,SEM Control: Gun 界面,操作软件简介,SEM control: Detector 面板,选择不同的探头,选择SE2 探头收集极电压值,选择两种不同探头的信号进行混合,混合信号时，两个探头的信号比例,调节图像的亮度,调节图像对比度,操作软件简介,SEM Control: Aperture 面板,选择不同的尺寸的光阑,激活此处，可进行光阑对中,光阑对中,灯丝对中,像散校准,电子束移动,高电流模式,观察六孔光阑的位置和形状,操作软件简介,SEM Control: Scan 面板,选择图像存储的分辨率,扫描速度,图像的冻结是以

5、手动形式还是扫完整幅图片后,积分次数或者是平均次数,图像噪音去除的六种方式选择：帧平均，帧积分，线平均，线积分，像素平均，连续平均。,操作软件简介,SEM Control：Stage界面,样品台目前所在的位置,双击数据区，输入你想要去的位置。输入后，样品台移动到你输入的位置。,点击功能块，输入你要移动的距离。例如：现在样品台X，Y的位置在64.125，64.485 你想让X和Y方向各移动2mm，你可在XY 激活后输入2，2后点击OK即可。,激活此处：样品台泄真空时，Z方向自动下降到最低点,激活此处：样品的上升时，SEM的工作距离自动进行更改。,激活此处：样品台控制器失效,操作软件简介,SEM

6、Control：Vacuum界面,点击Pump，样品室开始抽真空。,点击Vent，泄掉样品室内的真空。,激活此处：当机器在Standby状态时，真空泵停止工作。,操作软件简介,快捷键：详细说明见下。,操作软件简介,操作软件简介,操作软件简介,操作软件简介,数据区：显示电镜当前的一些参数,控制真空，灯丝开关，EHT的开关。当Gun或者EHT出现绿勾时，代表正在工作。Vac出现绿勾时，代表真空已经达到工作要求,操作软件简介,显示鼠标左键和中键当前的功能,操作软件简介,基本介绍,操作软件简介,导出保存设定,保存设定,预览或更改保存设定,导入注解,保存设定管理,保存注解,操作软件简介,点击Displa

7、y LUT,可以对图片的明亮对比度，三元色进行修改,跳出对话框,操作软件简介,双击Toolbar,有管理权限的人员才可以对菜单上的快捷键进行修改,跳出对话框,操作软件简介,双击或者Ctrl+A,跳出注解对话框,操作软件简介,选择注解对象,选择鼠标控制,撤销上次更改,导入注解,保存注解,删除所有注解,导出区域选择,加入文字注解,导出参数,插入用户bmp格式图片,圆型注解区,长方形注解区,注解区直线,粘帖面板,放大区域,微标尺,固定长度标尺,点对点距离测量,角度测量,正四边形测量,圆测量,左右宽测量,上下宽测量,可移动左右宽测量,可移动上下宽测量,操作软件简介,激活对话框后调出状态栏,激活对话框后

8、调出用户工具栏,操作软件简介,数据区控制,激活后，屏幕上显示米字准线,操作软件简介,可以确定SEM Control 面板上的Fil I & Extractor V的数据是否正确（图片数据为模拟，每台机器，灯丝数据都不同）,操作软件简介,常见问题：当使用AsB探头时，如果看不见影像。请先检查一下左图的设置是否在“high”,然后检查工作距离，EHT是否过低。光阑尺寸是否过小。,操作软件简介,样品台进行初始化。,常见问题：当水冷机出现不正常工作后，重新启动水冷机并使之正常工作。有时会发生样品台不能动，重新启动电镜，EM Server 提示样品台没有初始化。这时需要初始化样品台,操作软件简介,样品台

9、位置的保存和调取,常见问题：调取样品台位置的时候，一定要确定是同一个样品台和样品。以防止不同样品台和样品尺寸的不同，会碰撞到仪器的探测器或物镜。,操作软件简介,连续中心点：激活此功能后，屏幕上出现一个十字座标。拖动十字座标到感兴趣点，点击鼠标左键。感兴趣点将自动移到屏幕中心。,操作软件简介,样品台导航器：显示样品座的位置和一些参数。请注意：这只代表样品座的位置。不是样品的位置。,操作软件简介,用户名和密码的设定：在Tools下来菜单中选择Administrator,操作软件简介,输入管理者的用户名和密码后出现以下对话框,选择Users中的New,操作软件简介,在下面填入相应的用户名，密码，保存

10、目录和选择不同的权限,操作电镜的基本流程,将样品放入样品室，抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）。真空度达到5.00e-005mbar以下时，可打开设定的高压，取像。 移动样品台，使样品在物镜正下方，调节样品和物镜之间的工作距离。选择需要的光阑和探头。放大倍率到最小。使用鼠标聚焦，调节光阑对中和像散。提高放大倍数，再聚焦，调节光阑对中和像散。如此类推，至需要的放大倍数。 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘目录中。 关闭高压，泄真空，取出样品。,操作电镜的基本流程,样品台的安装：请注意图片上箭头方向,操作电镜的基本流程,关于光阑，EHT和工作距离设定的一些原则,不同的EHT，最大的工

11、作距离也不同。详见下表,操作电镜的基本流程,样品台控制器： 当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。 当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。 当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右移动。 当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。,操作电镜的基本流程,图片保存：当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send to，然后选择需要保存图片的格式,操作电镜的基本流程,选中需要保存的图片格式后，跳出左边的对话框,选择你要保存的目录,输入要保存图片的名字,保存图片,操作电镜的基本流程,调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动到屏幕中央

12、。点击鼠标右键，点击Import Tiff,操作电镜的基本流程,点击Import TIFF后，跳出以下对话框,选择要调入图片的文件夹,选择要调入的图片,电镜离子泵烘烤流程,第一步：关闭电子枪和高压,请注意：这个一定不能忘记！如果没有关闭，会发生危险,电镜离子泵烘烤流程,第2步：用3mm的内六角，松开电缆线头部的四颗螺丝,电镜离子泵烘烤流程,第3步：拔出电缆线，并用铝箔纸盖住上面的孔洞和电缆头,电镜离子泵烘烤流程,第4步：在Tools Goto Panel Bakeout,选择需要烘烤的时间，点击bakeout start,电镜离子泵烘烤流程,第5步：插入还原,请注意：确认洞口没有杂物在里面，针一定要对准孔洞,电镜离子泵烘烤流程,第6步：插入还原后，锁紧4颗先前松开的螺丝。