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文档简介

1、,班 饶倩蓝,现代,分析技术,基本原理,（射线光电子能谱）是利用软射线激发样品的电子能谱，主要应用于样品表面元素和其价态分析。其工作原理如图。,XPS分析技术特点,优点： XPS不破坏样品。 灵敏度高。 化学位移明确。 可同时提供元素定量定性及化学态信息。 缺点： 只能对十几mm2的大面积分析，提供大面积内 平均信息。 激发光源均为非单色化X光，分辨率不高。,现代XPS分析技术,单色化XPS（Mono XPS） 小面积XPS(SAXPS) 成像XPS （iXPS）,1.单色化XPS和SAXPS,以前的单色化XPS单纯采用晶体（如石英晶体）单色化光源，SAXPS简单采用光阑限定实现小面积分析。

2、现代采用先进的铝靶微聚焦单色器，可同时实现单色化XPS和SAXPS功能。 新型Mono SAXPS典型技术参数：最佳空间分辨率15微米，最大分析区域400微米，最佳分辨率0.47eV,常规的XPS极限分辨率只有0.8eV。整体灵敏度大大提高，样品定位准确。,1.1腐蚀科学中钢板上锈蚀半点检测,1.2微电子技术中半导体集成芯片分析,1.3有机物种绝缘体PEFT的分析,2.成像XPS（iXPS）,成像iXPS主要有三种： -平行成像法 不需逐点扫描，速度快，信噪比高。最 佳空间分辨率能达1微米。 -X射线束扫描法 -光电子扫描法,2.1硅寄存器IXPS分析,2.2聚酯（PET）膜表面的碳纤维iXPS分析,结束语,本文只简单介绍现代能谱仪三个主要功能和应用，其实与传统的能谱仪想比，现代光电子能谱仪在功能、性能、使用维护、数据系统等方面有了很大的发

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