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文档简介

1、第五章，电容式传感器，主要内容，5.1电容式传感器的工作原理5.2变极距电容式传感器的非线性5.3电容式传感器的等效电路5.4电容式传感器的信号调节电路5.5电容式传感器的应用。电容式传感器通过将非电量变化转换成电容变化来测量物理量。广泛用于位移、振动、角度、加速度、压力、差压、液位(料位)、成分含量等方面的测量。特点：结构简单，体积小，分辨率高；可以实现非接触测量；良好的动态响应；能够在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作；电容小、功耗低、输出阻抗高、负载能力差、易受外部干扰而不稳定。5.1电容式传感器的工作原理在实际使用中，通常有两个参数保持不变，但只有一个参数发生变化，这个参数的变化转化

2、为电容的变化，电容的变化转化为测量电路输出的电量。电容式传感器可分为三种类型：改变极板间距的极距型、改变介电常数的变面积型、电容式传感器结构、5.1.1变面积型电容式传感器，电容变化与水平位移成线性关系，电容变化与角位移成线性关系、5.1.2变极距型电容式传感器一般来说，极板间距在25200um以内，最大位移应小于距离的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。5.1.3可变介电电容传感器，电容增量与被测液位高度呈线性关系，可变极距电容传感器的非线性，单位输入位移引起的输出电容变化与，非线性误差：差分结构，5.2电容式传感器测量电路，5.2.1调频电路，5.2.2变压器交流电桥，5.2.3运算放大器，对于平板电容：输出电压与输入位移之间呈线性关系， 5.2.4二极管双T交流电桥，当传感器无输入时，C2、5.2.5脉宽调制电路、变极距型：变面积型：差动脉宽调制电路适用于变板距和变面积差动电容传感器，并具有线性特性。5.3电容式传感器的应用、5.3.1电容式压力传感器、5.3.

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