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文档简介

1、4探针法测量不规则半导体的电阻率，1，学习交流PPT，1实验目的2阶段4阶段考虑因素5经验，2，学习交换PPT，实验目的，1，不规则半导体电阻测量2，验证4探针方法修正公式，3，学习交流PPT，理想情况下，4个探针2，3探针的电位差为：半无限采样点电流源的半球对立面，可以通过实验原理得出样品的电阻率：4，学习交流PPT，帐簿电阻率测量垫样品，其厚度与探针间距相比较，因此不可忽视，测量时给出样品的厚度形状和测量位置的修正系数。5，学习AC PPT，6，学习AC PPT，7，学习AC PPT，圆形硅片厚度满足W/S0.5时电阻率：这是通过实验数据验证修正公式正确性的公式：8，学习AC PPT，实验

2、步骤将测试样品放在样品框架中，调整高度手轮，使探针能很好地接触表面。2、开机预热的时间。9，学习交流PPT，3，极性开关位于顶部，工作状态选择开关位于“短路”，拨号器电流和电压范围开关位于适合样品测量的电流、电压范围范围内。调整电压表的粗糙调整0，使其显示为0。10，学习交流PPT，显示板2，单元显示灯3，电流范围开关4，操作选择开关(短路，测量，调整，自校选择)5，电压范围开关6，输入插座7，零交叉8，零吨9，电流调节10把极性开关拨到下面(阴极)，按电流打开，读取测量，平均两个测量值，就成为样品的电阻率值。当关闭“”极性发出闪烁信号时，测量值超过了此电压范围，将电压范围开关拨到更高级，然后

3、关闭电流开关，数字显示恢复到0。12，AC PPT学习，实验数据，13，AC PPT学习，通过修正公式修正，获得结果：与实验预期结果一致，因此验证公式很理想。14，学习交流PPT，注意事项，1，电流范围开关和电压范围开关必须放在下表列出的范围集之一，15，学习交流PPT，2，使用电阻(V/I)测量，使用四段测量剪辑发送回探针测试帧，按下样品，然后，16，学习交流PPT，3，箱电阻测量，电流调整到4.53时，读取实际箱电阻值的10倍。4、板材电阻测量：板材厚度为0.5mm时根据公式(3)；如果板材厚度为0.5mm，则遵循公式(4)。5、仪表测量中断时，应将取消选择任务置于“段落”中。电流开关位于弹出释放位置。17、通过学习通信PPT、经验、1、4探针方法研究，研究了测量电阻率时所需的校正函数(厚度校正函数以及几何和测量位置的校正函数)。第二，体会了研究实验的探索过程，感受了科

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