纳米薄膜的制备方法课件

1、二纳米薄膜的制造方法、1还原法2溅射法利用直流或高频电场使惰性气体电离，产生辉光放电等离子体，使电离产生的正离子和电子高速碰撞靶，使靶上的原子或分子溅射，在基板上堆积形成薄膜。 1、PPT是交流、真空溅射的原理和方法，原理：真空镀膜是高能粒子碰撞引起的运动量交换，使电镀材料的原子从固体(靶)表面碰撞放射。 放置在靶前面的基材隔断溅射的原子流，后者凝聚形成镀层。 阴极发射的电子在电场的作用下向基板加速的过程中与溅射气体原子碰撞，电离大量正离子和电子，电子向基板飞去，正离子在电场的作用下向靶加速，溅射大量靶原子，将中性的靶原子(或分子)向基板方法：直流溅射：溅射沉积各种金属薄膜的高频溅射：溅射沉积

2、非金属材料(导电性差)磁控溅射：提高沉积速度的反应溅射：在溅射中实现物质间的化学反应，制作必要的物质薄膜。 在本实验中，使用高频磁控溅射法在石英基板上沉积了ZnO (靶)薄膜。 2、PPT学习交流、射频溅射沉积装置形象，3、PPT学习交流、磁控管溅射原理、磁控管溅射在磁场中束缚和延长电子的运动路径，改变电子的运动方向，提高工作气体的电离率，有效利用电子的能量。 电子在加速过程中受到磁场洛伦兹力的作用，束缚在靠近靶面的等离子体区域。 F=q(E vB )电子的运动轨迹是一边向电场方向加速，一边向磁场方向螺旋状前进的复杂曲线。 即磁场的存在会延长等离子体中电子的运动轨迹，提高参与原子碰撞和电离过程

3、的概率，能在相同的电流和气压下显着提高溅射的效率和沉积速度。4，PPT学习交流，磁控溅射靶表面的磁场和电子运动的轨迹，5，PPT学习交流，JGP450型多目标磁控溅射装置(控制箱)，6，PPT学习交流，真空溅射室和氮等离子辉光放电图，7，PPP 磁控管溅射装置的形象，8，PPT学习交流，3化学气相生长法(CVD )使用包含薄膜元素的一种或多种气相化合物或单体在基板表面进行化学反应生成薄膜的方法。 特征： CVD技术通过精密控制反应温度和反应时间控制晶粒大小，能得到纳米复合薄膜材料。 9、PPT学习交流，三高分子纳米材料的制造方法(无机-有机杂化技术)，1原位聚合是用纳米粒子和高分子单体混合，单

4、体聚合是生成纳米粒子和聚合物的杂化材料，或与高分子聚合物混合生成纳米粒子的方法。 2插层复合是以层状无机物(硅酸盐粘土等)为主体，插入到以有机高分子化合物为主体的层间，得到有机无机纳米复合材料。 10、PPT学习交流、四纳米微胶囊制造技术、(1)纳米高分子微胶囊制造方法1乳液聚合法2天然高分子法3液中干燥法、11、PPT学习交流、乳液聚合是什么？ 在乳化剂(表面活性剂)的存在下，将单体分散在水中，溶液就会变成乳液状，加入水的引发剂，进行聚合反应。 12、PPT学习交流，1 .合成聚苯乙烯核。 3 .向溶液中的粒子照射UV光，开始光乳液聚合。 13、PPT学习交流，将Ag salts加入到先调制

5、的高分子稀溶液中，生成银离子。 将NaBH4加入上述溶液中，生成金属银。14，PPT学习交流，15，PPT学习交流，16，PPT学习交流，(二)纳米脂质体制造方法，1超声波分散法2薄膜分散法3注入法4冷冻干燥法5逆蒸发法，17，PPT学习交流，5纳米碳管制造技术1石墨电弧放电法2化学气相生长法(CVD ) (催化剂分解法) 3激光蒸发法4太阳能法，18，PPT学习交流，19，PPT学习交流，20，PPT学习交流，第三节纳米材料表面修饰和改性一纳米粉体的表面结构和状态二纳米粉体的表面及其形态对三纳米粉体材料的制造方法及其表面状态的影响(1)机械粉碎法及其纳米粉的表面特性(2) 化学法及其纳米粉的

6、表面特性、21、PPT学习交流、四纳米粒子表面修饰和改性方法(1)高分子材料包复表面的：纳米药物磁性粒子载体(2)偶联剂与纳米粒子表面反应，增强纳米粒子与高分子材料的相容性，例如，有机硅偶联剂(3)无机材料为纳米有效地解决纳米粒子单分散性，例如，若在纳米二氧化钛粉末中加入锆的盐溶液，则可以得到被复了二氧化锆的纳米二氧化钛粒子，22 PPT学习交流、五纳米粒子的性质和应用，纳米粒子表面根据其形态而不同，表面活性和表面能也高，烧结烧结陶瓷时，添加AlN纳米粉可以提高烧结体的密度和热传导率。 纳米粒子由于表面活性中心多，催化效果高，另外，纳米粒子也作为磁性材料发挥作用，其性能依赖于粒子尺寸及其表面。

7、23、PPT学习交流，六纳米粉体材料的表面研究取得了进展，在实际生产中，纳米材料的表面修饰技术对高分子，如塑料、合成纤维的应用影响很大。 纳米粉体粒子的表面和高分子材料的相容性问题尚未得到解决，纳米粒子还没有分散在纳米级上等。24、PPT学习交流，第四节纳米结构材料的制备技术，纳米结构材料的自组装和分子自组装是1纳米结构材料的自组装在2分子自组装条件(1)的反应体系中有秩序的共价键，结合为复杂完整的中间分子体(2)中间分子与弱键(氢键、范德瓦尔斯力)和其他非共价键(3)以一个或多个分子集合体为结构单元，反复进行多次自组织化。25、PPT学习交流，图1的用胶体结晶法组装的CdSe量子点超晶格的高

8、分辨率电子显微镜照片(图中量子点尺寸为4.8nm) (A) fcc阵列的(101 )面图像和特征电子衍射图(B) fcc阵列的(100 )面图像和特征电子衍射图，26，p 自组装单分子膜是一种新型的有机成膜技术，它在表面活性剂的头基和基之间产生化学吸附，在界面上自发地形成有序的单分子层。 优点：自发形成，有序性高，定向性高，密度沉积高，缺陷少，结构稳定，27，PPT学习交流，有机硅烷SAMs基底表面的自组织过程模式，特克怡，张利率等化学进展，2004，16 (4):477484，28 电化学沉积法、化学聚合法、溶胶凝胶法、化学气相沉积法、无电解合成法等。 厚模板包括(1)氧化铝模板(高纯度铝在退火后在低温草酸或硫酸溶液中