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文档简介

1、无源光MEMS器件应用,李振 15723745,Passive optical device application,典型元件,反射镜,衍射光闸,光传输线,主要应用,匹配WDM系统的微光纤器件 微型的医疗器具（光纤内窥镜） 图像投射显示,光MEMS通信器件,可变光衰减器(VOA),静电力可调型倾斜镜 SOI智能材料加工（DIRE深反应离子刻蚀）,光MEMS通信器件,可变光衰减器(VOA),直径：6mm 厚度：30um 单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长 工作电压：5V 将信号调节为40dB或更高 抗静电和温度干扰 机械稳定性,光MEMS通信器件,可变光衰减器(VOA),实现光网络的关键性

2、器件 广泛应用在光纤网络系统中,光MEMS医疗器件,光纤内窥镜,单模光纤传输信号（静电处理） 光伏电池 全光路内窥镜,光MEMS医疗器件,光纤内窥镜,避免降低了漏电现象的危险 避免了电磁干扰,光MEMS医疗器件,OCT系统（光学相干层析成像） 直线扫描组织图像 组织横断图像重组,手指皮肤2D横断面图(1mm),光MEMS医疗器件,手指皮肤2D横断面图(1mm),光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干涉原理获得深度方向的层析能力，通过扫描可以重构出生物组织或材料内部结构的二维或三维图像，其信号对比度源于生物组织或材料内部光学反射（散射）特性的空间变化。,光学相干层析成像(OCT),非接触 非侵入 成像速度快（实时动态成像） 探测灵敏度高,光MEMS显示器件,图像投射显示,内部常平支架（高谐振频率） 外构架和曲折悬挂架（准静态） 水平方向高频响应/垂直方向低频响应 高分辨率图像 强度调制激光源,光MEMS显示器件,图像投射显示,双压电晶片 压电薄膜（硅悬臂梁）,光MEMS显示器件,图像投射显示,全彩显示 VGA 移动端显示应用

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