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文档简介

1、CF制程简介,1,2020/7/7,课程内容,课程目标,了解 CF 基本制程 了解 CF COA 生产流程,1.CF 定义及作用 2.CF结构介绍及说明 3.制程流程说明 4. CF COA 生产流程介绍,2,2020/7/7,Part1. CF定义及作用,3,2020/7/7,CF(Color Filter)即：彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件，其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面，若无彩膜，则看到的电视显示将是黑白的。,4,2020/7/7,Part2. CF结构介绍,5,2020/7/7,众所周知，自然界的三原色为红、绿、蓝，通过对三原色进行混色，并调整其亮度(灰阶)

2、可以呈现不同的色彩。,6,2020/7/7,BM：黑色矩阵，用来掩挡漏光 PS：感光间隙子，用来支撑与维持Cell gap均匀 ITO：用来作CF侧通用电极 RGB：起主要作用的RGB三种色阻分布排列,7,2020/7/7,Part3. 制程流程说明,8,2020/7/7,BM制程包括： 玻璃清洗 BM光阻涂布 真空干燥 预烘烤与冷却 紫外线曝光 显影 烘烤。,9,2020/7/7,R G B Layer 为相似制程，与BM相同，区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。 R Layer 红色光阻涂布,10,2020/7/7,G Layer 绿色光阻涂布,11,2020/7/7,B Layer 蓝色光阻涂布,12,2020/7/7,ITO 制程为物理溅镀过程，包括 前清洗 ITO溅镀 后洗净 烘烤,13,2020/7/7,Part4. CF COA 生产流程介绍,14,2020/7/7,PS是在CF与Array基板中支撑Cell gap的柱状pattern。有一定的弹性回复力，可以承担一定的压力。PS呈透明状，减少对光透过的阻挡，制

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