85炉简介1.ppt

1、TDR85A-ZJS型全自动单晶炉,提纲,一、概述 二、机械特点 三、电气硬件,TDR85A-ZJS全自动单晶炉技术指标,1、可拉制最大硅棒直径200mm（8）； 2、极限真空度25mT ，空炉真空泄漏率45mT/hr 3、籽晶总行程：3000mm； 4、籽晶拉速范围：0480mm/h； 5、籽晶快速提升速度： 400mm/min； 6、籽晶转速范围：048rpm； 7、坩埚的升速范围：0240mm/h； 8、坩埚的快速提升速度： 100mm/min； 9、坩埚的旋转速度范围：020rpm； 10、坩埚的有效行程：400mm； 11、主变压器容量：200KVA。,全自动单晶炉自动工艺,抽真空两

2、次充氩气，抽极限真空 检漏自动报警 调压节流阀调节 熔料自动定埚位，氩气，功率等 稳定缓慢稳定拉晶埚位，功率，埚转 熔接液面控温，插入籽晶 引晶自动控制直径46mm，拉速目标控制 放肩自动降温曲线，拉速曲线等控制 转肩缓慢等径切换 等径等径控制，补温控制，直径、晶转、埚转， 炉压、埚跟、氩气等曲线控制 收尾2种方式选择 停炉晶位，埚位，氩气自动控制，热检漏 氧化大直径炉专用，防止爆炸 隔离 自动切换氩气，计算单晶重量 净化自动净化副室进行重新拉晶,控制软件,本系统控制软件，中英文界面，拥有完全自主知识产权。系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行全自动拉晶。同时工艺文件可以在触摸屏上直接修改，下载

3、立即生效，自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程，为操作提供极大的自由。 在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误，可以提高成晶率。,6英寸单晶的等径控制,8英寸等径控制,电气系统,采用进口PLC和工业触摸屏，进行单晶炉全自动控制。系统可靠性高，发热低，寿命长，维护简单。 而某国外销售炉子采用在单个工控机进行同时控制和显示。系统可靠性不高，发热大元件易老化，维护成本高,采用最新Matrox公司的图像系统，自主开发双CCD测量系统。,90以上的进口元件，故障低；模块化设计能带电快速维修故障。,双C

4、CD测径,采用光学系统将晶体图像分到2个独立CCD完成引晶，等径的单独控制。 图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好 机械调整简单,工作站,监控8台单晶炉 RS422高速通讯 光隔传输 实时监控 EXCEL标准数据输出格式,电源系统,6脉波功率闭环 水冷变压器，噪音小，环境温升低 电极接地故障报警 限流限压连续可调 缺相,断水,超温,过流保护,电控柜外观,信号管理,A电源 B信号 C提拉头 D坩埚（与C映射) E-电源温度 带指示保险丝，指示各路24V工作情况。 传感器，气动元件均为24VDC安全电压工作。,端子式线号命名原则便于维护 分色处理,电控柜硬件系统,电气设计示例,接触器线圈,接

5、触器状态返回,过流，过热，漏电保护,真空泵,真空按钮 0N,真空按钮 0FF,按钮自锁控制,PLC控制器,接触器,380VAC,液压系统，真空系统，加热系统的硬件监控保护设计。,真空球阀开启条件,电源系统,主控器结构,工控机处理图像系统,PLC控制系统,触摸屏 人机交换,通讯线,通讯线,通讯线,主控面板,CF卡用于保存sop文件,应急操作区,键盘仓,模拟显示面板,可直观显示炉体超温状态、阀状态、冷却水量和氩气压力情况,按钮面板,操作液压泵和真空泵,电路插板,手动引晶器,引晶软线手柄，可提供两种预设拉速 两种速度在软件界面上可实时修改,故障速查表,机械特色,采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机

6、构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作，避免了人工操作时单晶体碰撞及断裂的事故； 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了其他单晶生长炉采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患；,机械特色,籽晶和坩埚提升机构的快慢速提升采用了高精度的双直流伺服电机方案，以保证其控制精度。例如单电机驱动中为保证快速提升的速度，在拉晶时电机转速在100rpm以下工作，而采用了双电机系统慢速电机在拉晶时转速在100rpm1000rpm之间，分辨率高，控制精度优；籽晶提升与旋转装置，经过严格的静平衡和动平衡测试，可在整个旋转过程中实现无振动平稳的运行； 采用独特的氩气分流环结构，保证在

7、拉晶过程中氩气气流的均匀性,机械副室,国内首家采用副室自动旋转功能，保证旋转平稳防止单晶晃动。 上端观测孔采用250mm直径口便于副室清洗,机械提拉头,籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 有机玻璃观测 光电编码计行程,机械真空系统,进口氩气阀控氩气 质量流量控制器控制流量 节流阀调压 气动真空球阀 3个压力表布置 炉压可曲线跟踪控制 静密封为氟橡胶O型密封圈 旋转密封为磁流体密封,机械炉体,炉体部分（包括炉底板、下炉室、上炉室、炉盖、隔离阀座和副炉室）由进口304L不锈钢制造。各腔体内壁厚度8mm，外壁厚度4mm，均经过振动消除应力、缺陷检查和探伤检验

8、。并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。炉膛内部抛光到镜面。,21项机械硬件保护,流量开关水流停止30秒后关掉加热器 温度开关（55C共8处）冷却水超温报警 炉内高/低压力报警 籽晶提升上、下行程开关关掉电机 坩埚提升上、下行程开关关掉电机 炉内超压机械排出，主真空管路防爆阀 液压系统当加热器开时不打开炉盖 加热器当炉体打开时不工作 上炉室液压缸当炉盖打开（转至旁边碰到限位开关）时才能工作 模拟面板可提供阀的位置、水流量和氩气的信息,21项机械硬件保护,11、机械压力表监视器或电源故障时，可提供炉内压力值（如果隔离阀关闭则只能提供上下炉室的压力值） 12、真空泵带充气阀真空泵或电源故障时，防止倒吸 13、氩气压力开关氩气供气压力低报警 14、主炉室导向柱防止碰坏石墨零件，主炉室必须上升到石墨件以上时才能转到一边 15、隔离阀座导向块防止副炉室落位时走偏 16、隔离阀位置开