华通电脑制造一课无尘室管理办法 b1 ok

1、華通精密線路板(惠州)有限公司辦法 規範文件名稱：制造一課無塵室管理辦法編號：發 行 日 期 年 月 日參考規章：2I-A1有 效 日 期 年 月 日沿革版 序A1B1生 效 日2005.1.17新 增變 更沿 用廢 止總 頁 數11頁內容摘要說明項 次頁 次項 次頁 次一、背景1八、作業系統流程圖2二、理念政策1九、內容說明2-7三、目的1十、附件7-11四、適用範圍1五、權責單位1六、相關文件1七、定義1會審單位單 位簽 章單 位簽 章分發單位單 位簽 章單 位簽 章A10A10J00J00文件分送(不列入管制)(廠區/對應單位)(文件分送目的) CM/ CT/ CC/ 不必分送. 1.請

2、建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考. 3.其他 1.請建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考. 3.其他 (請說明)制 定 單 位制程工程部工程一課制 定 日 期2005年9月29日製 作初 審複 審核准經(副)理廠長/協理處長/副總總經理馬定安傳 閱 背景沿革一覽表日期版序新增或修訂背景敘述修訂者2005/1/172005/9/29A1B1無塵室之環境對曝光及線路品質影響較大，故需對其進行有效管控，建立該規範，以便現場有作業依據。因有效保持無塵室清潔度，新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套使現場能照著做，並有依可循. 此SOP原自于CM/CC 移轉； v此SOP為CF廠自行建立馬定安馬定安 修

3、訂一覽表日期版序章節段落修訂內容敘述2005/1/172005/9/29A1B1ALLP3 3-1新增新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套 製造一課無塵室管理辦法一、背景:公司目前生產軟板等產品，必須建構更高等級的無塵室(10,000級)，以提昇良率，增進公司整體競爭力。二、理念政策:建構及管理能滿足客戶產品需求之無塵室。三.、目的:維持無塵室內人員、機台、產品、物料之清潔，以確保生產品質之穩定性。四、適用範圍: 適用華通精密線路板(惠州)有限公司制造一課無塵室。五、權責單位: 各無塵室生產單位負責本規定之執行及一階自我查核是否照著規定做. 六、相關文件: 無七、定義: 1、FM: Foreign

4、Material(外來異物)-指所有可能落在板面上，造成板子報廢的灰塵或異物，皆統稱為FM。2、無塵室等級之定義: 無塵室等級是依美國聯邦標準209C,以空氣中每立方英呎內所測得落塵顆粒,粒徑在0.5mm以上之粒子總數來判斷(如下表)。例如10,000級無塵室其0.5mm以上之粒子總數須少於10,000顆。無塵室等級各種大小顆粒所允許的數目上限值0.1um0.2 um0.3 um0.5 um5 um135.07.53.01.0103507530101007503001001000100071000010000703.制造一課無塵室等級為10000級八、作業系統流程圖: 現場工程師召開四功能會議

5、討論解決CFJ將相關規定納入SOP，予以標準化無塵室各式問題 九、內容說明:(一)、人員進出之管理1-1、10,000級無塵室人員進出流程圖脫鞋穿無塵衣 鞋櫃(無塵室外) 無塵衣鞋櫃無塵室穿無塵鞋套/無塵口罩/浴帽空氣洗塵 腳踏黏墊 腳踏黏墊 備註:空氣洗塵時: 1. 吹氣維持15秒以上,吹完氣後須等至少3秒才能開門進入無塵室。2. 一次最多只能2人進入，出無塵室亦同。3. 嚴禁空氣浴室兩邊門同時打開。1-2、人員管制：進入無塵室的人員須經過認證後，才准許進入，包括：A. 該單位之作業人員,技術員,工程師及主管。B. 負責該單位之保全人員,工務,品管,製程工程師及技術員等。C. 隸屬於華通公司

6、之其他人員。D. 維護設備之外包廠商。（廠商除須經過認證許可外，事先尚須徵求單位主管同意）。E. 有緊急事故時,警衛及值班主管可進入。(二)、物品進出之管理2-1、物品進出相關規定： (1)、無塵室清潔用具於使用時才進無塵室(10K級無塵室空間不足者不在此限)，無塵室不可設置雜物堆置區。(2)、紙箱包裝之物品須事先拆箱後，再將物品經傳遞箱傳送至無塵室內(除裝底片的紙箱外其它紙箱不可進無塵室)。(3)、鉛筆,橡皮擦,紙箱,保麗龍,一般紙類等易掉屑物品，禁止攜入無塵室。 (4)、無塵紙若有破損須立即更換，不可使用裁切後之無塵紙(會起毛邊)。 (5)、不掉屑毛筆可在無塵室內使用，但若有掉毛情況應立即

7、更換。(6)、搬遷設備進出無塵室前須先經工程師以上主管的同意，安排於非生產日搬遷，以避免因開啟設備門造成潔淨度下降，影響作業品質。無塵室須設Buffer Zone(緩衝區)，先將設備於Buffer Zone清潔後靜置至少30分鐘再送入。(7)、搬遷設備進出無塵室, 高架地板表面須先鋪設已清潔過之材料, 避免地板表面刮傷，或以油壓板車等工具進行設備之移動及定位, 才不會造成地板被損傷。(8)、更衣室內應有保全人員維修專用之工具箱，且其內的工具不可帶出無塵室。(9)、任何物品於無塵室內時，應儘量避免有碰撞或敲打的情況發生，以免FM產生，污染無塵室。(10)、私人物品不可攜入。 (11)、其余非必要

8、物品，避免帶入無塵室內。2-2、物品進入無塵室前之清潔規定：2-2-1、物品清潔順序： (1) 用吸塵器吸：用無塵室專用吸塵器將物品的各部位吸干淨一般運用於較大件物品例如：各項機台設備。小件物品不在此限。（真空吸塵器於使用前須確認其吸塵效果能達到所要求之清潔水準）(2) 用無塵紙沾酒精擦拭：將物品的各部位仔細擦拭干淨。2-2-2、物品清潔規定：(1) 有塑膠外袋包裝的物品，例如：無塵佈,手套,等，需將塑膠外袋清潔干淨，才可進無塵室。(2) 保全用工具需逐項用無塵紙沾酒精擦拭干淨後，才可帶進無塵室內。(3) 白紙墊紙,若發現其上有殘膠或污染，應即刻清除或報廢勿用，若嚴重刮傷則予以報廢。(4) 所

9、有設備/儀器/製具/承載盤進無塵室前，需按清潔順序清潔乾淨。(5) 進無塵室前的各項物品，若有以台車或其他載具運送者，應確認運送的台車與載具為乾淨的，避免將FM帶進無塵室內。(三)、無塵衣、鞋之管理 3-1、無塵衣之管理： 3-1-1、無塵衣之穿著及脫除流程: (A)、無塵衣穿著流程： 髮罩無塵衣無塵口罩無塵鞋套無塵手套指套 (B)、無塵衣脫除流程： 無塵鞋套無塵手套無塵衣髮罩無塵口罩 3-1-2、無塵衣之穿著規定:(A) 、無塵衣物（包括無塵衣、無塵褲、無塵鞋套、口罩、髮罩、手套）不得穿出無塵室外。(B) 、頭髮不可露出帽外，可用髮罩管理。(C) 、無塵衣之拉鏈須拉至定位，頸部之扣子須扣上。

10、(D) 、對於手軸、膝蓋部分，保全人員施工須要時，可穿袖套，護膝套，避免弄髒無塵衣。(E) 、無塵衣之袖子及褲管禁止拉高,裡面的衣服不可露出來。 3-1-3、無塵衣之清洗及更換:A. 清洗頻率: 每週一次。特別髒者則須先行更換。B. 清洗方式: 由專人收集,統一送交外包廠商清洗。C. 修補更換時機: 無塵衣有破損,起毛球,或手腕處鬆緊帶鬆脫者,予以修補或更換。另外使用時間超過兩年使用期限，一律更換新無塵衣。D. 作業後：無塵室內之作業人員，在每日下班前要檢查自己所穿的無塵衣，如果發現有嚴重沾漆或無塵衣有脫線,起毛球, 或手腕處鬆緊帶鬆脫現象時，要立即向領班反應,對無塵衣進行修補或更換。 3-1

11、-4、無塵衣之保管及分配:A. 無塵室內作業人員,每人配發兩套無塵衣, 以便日常更換及清洗。B. 無塵衣、鞋專用櫃內，除無塵衣鞋外,禁止放置其他物品。3-2、無塵鞋套之管理 3-2-1、無塵鞋套之穿著:A. 穿著無塵鞋套，必須完全穿入，不得露出腳後跟。 3-2-2、無塵鞋套之清洗及更換:A.清洗頻率: 每二週一次。B.更換時機: 無塵鞋套有破損,立即修補或換新無塵鞋套。 3-2-3、無塵鞋套之保管及分配:無塵室內作業人員,每人配發兩雙無塵鞋套, 以便日常更換及清洗。3-3、無塵手套之管理A. 使用不起毛球無塵手套，不可使用易掉纖維、起毛球之棉質手套。B. 戴手套時不可碰觸到手套的手指及手掌部份

12、,避免手上油脂沾到手套上污染生產之基板。C. 乳膠手套若破裂，應立即更換新手套。D. 現場作業若有需求,可截去無塵手套之指節部份，外面再套穿一層乳膠手套作業。E. 保全員進入無塵室仍需戴手套，但在設備維修保養時，若戴手套有礙執行拆卸、安裝(如拆裝墊片、綁膠帶等)，可脫下手套，但僅限於工作範圍1公尺內，離開工作範圍1公尺即需戴上手套。F. 保全人員或高溫作業區作業人員，應穿戴不掉屑之耐熱無塵手套。(四)、無塵室作業與施工規定: 4-1、無塵室禁止事項：(1) 抽煙,吃零食,吃檳榔,喝飲料等。(2) 傳遞箱及空氣浴室禁止雙向門同時開啟。(3) 在無塵室內跑步，及做不必要的動作。(4) 私自將HEP

13、A出入風口封閉。(5) 沒穿無塵衣或未按無塵衣穿著規定就進入無塵室(如緊急事故則不在此限)。4-2、裝機、施工之作業規定: (1) 裝機期間，施工負責人須負責維持該區週遭之清潔，並告知施工人員相關注意事項，避免對無塵室環境造成污染。每日需定時檢查。(2) 機台底部易累積灰塵雜物，須特別注意。(3) 任何人於無塵室內作業或工作告一段落，離開無塵室前，須將週邊的工作環境、物品、機械、儀器等清潔干淨，由領班查核後方可離開。(4) 零件備品須放置固定位置，紙箱不可攜入，裝機完畢後剩餘之零件備品送回倉庫；其它規定由設備裝機施工管理辦法規定之。(五)、無塵室環境、設備等級要求: 5-1、設備防塵規定: (

14、1) 所有無塵室內設備，其抽風、排風之出入口處應裝設擋風罩，避免揚塵造成污染度上升。(2) 所有無塵室內設備附屬之收、放板機須裝設壓克力材質之防塵門(罩)，避免FM掉落或揚起沾附在板面上，造成板子報廢。 (六)、無塵室環境、設備及物品之清潔與更換頻率規定: 6-1、清潔方法與清潔、更換頻率規定（不使用黏性滾輪之單位可用無塵紙沾酒精清潔） 項目清潔方法頻率無塵室機台(含閒置設備)內外部工作台面、承載盤、傳動滾輪、輸送皮帶、轉板器等(與板子直接接觸區域)A. 以無塵紙沾酒精擦拭(無塵紙邊緣可清潔小的角落)每班一次無塵室治具、防塵罩等(非與板子直接接觸區域)A. 以無塵紙沾酒精擦拭(無塵紙邊緣可清潔

15、小的角落)每班一次腳踏黏墊進無塵室(空氣浴)前後,腳踏下方之黏塵紙,將鞋底異物黏除每班更換一次更衣室之儲櫃(含鞋櫃)清潔以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭，含櫃子頂部及櫃子內格。不掉屑標準：擦拭紙直接抖動,無目視可見毛屑掉落每班一次更衣室之掛衣架清潔以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭每班一次更衣室之垃圾筒清潔清潔垃圾筒之垃圾並更換新的垃圾袋每班一次空氣浴室之清潔（包括玻璃及空氣浴室上方清潔）以黏性滾輪清潔(滾輪使用前確認已將異物黏乾淨)每班一次載具輪子黏墊於無塵室內地面設置一處除塵區(台車必經之處),將腳踏黏塵黏在地板上,將以黏除輪子上的灰塵或異物每班一次無塵室專用吸塵器主濾網以水清洗並風乾(或以空氣槍吹乾)每週

16、清潔一次傳遞窗以不掉屑擦拭紙沾酒精擦拭每週一次無塵室地板將地板無塵室專用吸塵器&清潔滾輪將地板異物清除，地面異物以透明可撕式黏性滾輪清潔,若無法清除時則以無塵紙沾酒精擦拭每月一次無塵室天花板以手把或拖把式透明可撕式黏性滾輪清潔(黏膠撕換頻率：若黏膠上異物分佈面積超過50%，則予以撕除更換。) 注意事項：此黏膠不可用來清潔板面，以防板面沾膠。每月一次無塵室牆壁以透明可撕式黏性滾輪清潔每月一次無塵室玻璃以無塵紙沾酒精擦拭每月一次6-2、清潔後復工方式：1 各單位每月清完天花板、地板和牆壁後，需以空氣粒子計數器確認0.5um與5um以上顆粒數符合10,000級無塵室規格後，才可恢復生產。 6-3、現

17、場定期查檢表： 關於無塵室內須定期性作業及物品更換之頻率由check list(查檢)表列出,並附於每日工作報表中，由領班負責檢查。6-4、注意事項:(1) 無塵擦拭布清潔方式如下:使用無塵擦拭清潔時,清潔方向必須以單一方向為主，不可反覆來回擦拭。(2) 無塵室內所有物料之存放,須標示位置及擺放整齊。(3) 無塵室設備若有生銹現象，則以無塵紙沾酒精將生銹部分清除。(4) 無塵室專用之吸塵器，須使用專用紙袋過濾，其所吸入之空氣先經過主濾網，然後經過吸塵器內部HEPA(0.3mm,99.97%,9L)過濾後方可排出，而排出之空氣經由導氣管緩衝，由四面八方排出，可避免揚塵，故須使用其專用之吸塵器。(

18、5) 收拾垃圾時,禁止將垃圾桶互相傾倒,以免激揚塵埃,須將各垃圾桶內之塑膠袋捆紮後送出。(6) 作業中造成之廢棄物應隨時丟入垃圾桶內, 以維護無塵室之整潔。(7) 垃圾桶須加蓋子，其放置位置須遠離生產設備，防止揚塵造成污染。(8) 更衣室及無塵室內之垃圾袋不可露出垃圾筒外。(七)、無塵室溫溼度控制及異常處理方法: 7-1、無塵室溫溼度控制： 溫度: 212 相對濕度: 555%。 溫濕度點檢頻率每班一次7-2、溫溼度異常處理方法：1. 當發現溫溼度異常，應進行確認並找出原因。恆溫恆濕控制異常處理方法見附件二。2. 當溫溼度異常，於該段時間內所生產之批號應予記錄，並加以追蹤，以確保品質。3. 對

19、於底片之漲縮須特別注意。依底片供應商資料，當溫度每升高1，底片尺寸將漲大萬分之0.18；而濕度每增減百分之一，則底片尺寸也將隨之漲縮萬分之0.09。(八)、無塵室環境變動(施工)後確認方式: 8-1、背景： 當無塵室環境有所變動時，為確保產品品質，必須於復工前對環境再做確認，以防FM問題造成板子報廢率提高。8-2、確認時機：(A) 機台搬出(入)無塵室後。(B) 無塵室內機台移位完成後。(C) 無塵室內例行性環境大打掃(將高架地板掀起)後。(D) 天花板上方風管破裂or其他因素導致無塵室內FM重大異常後。8-3、使用工具：為即時測知環境清潔度，以讓設備於最短時間內恢復生產，故需使用空氣落塵計數

20、器(Particle counter)，測定每平方呎內的FM顆數是否合乎標準。8-4、確認辦法與異常處理方式：(A) 設備搬遷完成or異常解決後，向品管單位商借空氣粒子計數器(需先請品管單位人員確認是否已經過校正)。(B) 於現場設備搬遷所經路線週遭區域，或異常範圍內，選取數點量測，觀察0.5um與5um以上顆粒數是否符合10,000級無塵室規格(參考七.定義)。(C) 若合乎標準，在領班與技術士確認之後，進行首片檢查(每個機台)，並由領班確認品質OK後才恢復大量生產。(D) 若不合乎標準，且產能需求甚急時，由領班與技術士反映給課長、工程師決定後續處理對策；若產能不急，將設備靜置一小時後再測一

21、次，觀察是否有所改善。(E) 若廠內空氣粒子記數器損壞，則由需求單位立即協調品管單位處理。十.附件: 附件一 FM Monitor 異常處理程序(RFC) 附件二 無塵室溫溼度異常Check List 附件三 無塵室管理自我檢查流程圖. 附件四 10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表附件五 10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表 表單編號2I-0014-001附件六 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每天) 表單編號2I-0014-002附件七 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每週) 表單編號2I-0014-003附件八 無塵室內須定期性作業及

22、更換物品check list(每月4) 表單編號2I-0014-004附件九 惠州廠設備移入申請表 表單編號2I-0014-005 附件十 課外人員進出無塵室記錄表 表單編號2I-0014-006 附件一 FM Monitor 異常處理程序(RFC)FM Monitor 異常處理程序(RFC)附件二無塵室溫溼度異常Check List無塵室溫溼度異常Check List項次測試項目標準備考1控制系統及元件check溫度:21+2濕度:55+5當控制元件設定值及顯示值出現誤差大於設計值，須比對無塵室內之溫濕度，確認是否為控制元件故障。2冰水進、回水之溫度、壓力check3進、回風壓差指示器顯示值

23、1. 當初級濾網+中級濾網之壓差1 inAq，須先更換初級濾網2. 1 inAq，須再更換中級濾網3. HEPA壓差2 inAq，應全面更換HEPA進回風量減少會造成溫濕度控制不穩。附件三無塵室管理自我檢查流程圖無塵室管理自我檢查流程圖 無塵室管制區域 Check有無人員進出管理 No 修訂無塵室管理辦法 2-1 YesCheck有無物品進出管理 No 修訂無塵室管理辦法 2-2 Yes是否有無塵室作業規定 No 修訂無塵室管理辦法 3-1 3-2 3-3 Yes Check有無無塵衣、鞋套管理 No 修訂無塵室管理辦法 4-1 4-2Check有無無塵室清潔管理(含FM) Yes No 修訂

24、無塵室管理辦法5-1 5-2 5-3 Yes O K附件四10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表10,000級無塵室內可攜入及禁止攜入物品查檢表可攜入物品禁止攜入物品作業用刀片鉛筆剪刀橡皮擦無塵室膠帶紙箱曝光專用筆複寫紙(含碳)記錄紙(護貝)一般紙類（非無塵室專用紙）流程單(護貝)，生產作業報表立可白及立可帶工務維修工具箱操作手冊(護貝)電路圖(護貝)其他用於曝光作業之工具(無塵室專用工具)專用垃圾袋清潔用無塵布抹佈布清潔黏紙酒精底片清潔液黏性滾輪無塵室專用吸塵器其他用於清潔作業之工具(無塵室專用工具)個人物品右述之個人物品須放置在自己的衣服或褲子的口袋裡面，在無塵室裡面不可以拿出或

25、使用戒子手帕手錶鑰匙衛生紙附件五10,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表 表單編號2I-0014 - 00110,000級無塵室溫濕度及落塵量記錄表課別： ,無塵室等級: 級 ,日期: 年 月 日 1.使用工具：落塵量測儀(Particle counter) 2.量測頻率每月一次 3.每次量測完成後，由領班、工程師、課長依序確認簽名後存檔備查。 4.各無塵室等級標準與異常處理程序請參閱本規範內容。 5.此表格可依各課實際情況做修改。項目位置微塵量0.5um微塵量5um溫度溼度落塵量溫溼度 PS:紅字部分為溫溼度異常。 藍字部分為溫溼度正常 課長: 領班: _ _附件六 無塵室內須定期性作業及更

26、換物品check list(每天) 表單編號2I 0014 - 002 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每天)課別： 日期： / / (若有依規定作業/更換，請在下表內打V)項目 日期/日班小夜大夜日班小夜大夜1.腳踏黏墊每班至少更換一次2.無塵室機台內外部工作台面、傳動滾輪等(與板子直接接觸區域)每班清潔3.無塵室治具、防塵罩等(非與板子直接接觸)每班清潔4.更衣室之儲櫃、鞋櫃等(含內部)每班清潔5.更衣室之掛衣架每班清潔6.更衣室之垃圾袋每班清除或更換7.空氣浴室(包括玻璃及浴室上方）每班清潔領班簽核 課長審核： 附件七 無塵室內須定期性作業及更換物品check list(每週) 表單編號2I