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1、Page 14,1,2020/7/25,CLEANSORB 型号: CS065/25/10SC 产品系列号: CS27074 客户: IVO 应用: 废气净化,2020/7/25,Page 14,2,系统图片,2020/7/25,Page 14,3,系统描述,我们公司的CLEANSORB 产品,在清洁效率和易操作性上与同类产品相比有极高的优越性.在目前在世界上处于领先地位。CLEANSORB 产品对于处理在半导体生产过程中所产生的有害气体例如AsH3, PH3, Cl2，HCl, HF, F2等等有着特别好的效果。我们的产品还有下以下的特性：,2020/7/25,Page 14,4,1，处理后

2、的气体保证低于国际废气排放标准(TLV) 2，在正常的压力和温度下进行废气处理（最大的安全） 3，消耗很低的能量（最高的效率比） 4，占用较小的空间，并且能达到无尘工作间的标准 5，有两个相同的工作部分，易于对其中的一个进行维护和修理 6，药剂桶有联合国批准的系列号，可安全的用来运送有毒药物,2020/7/25,Page 14,5,CS065/25/10SC系统的最主要成份是桶内的干式药剂， 桶内可容纳65/25/10公升的各种药剂来吸取不同的气体。吸附的气体与药剂里的矿物质生成化学反应，过后保证不会把气体释放出去。 CSAG 公司经过多年研发的药剂有特大的吸附量。 一般应用在吸收更换气瓶柜的

3、排气方面能够达到至少两年以上的寿命。 CLEANSORB比市面一般的废气处理器的强势是能在电流供应失效时继续操作，大大的减少了保修人员的负担。,2020/7/25,Page 14,6,系统明细描述,2020/7/25,Page 14,7,连接材料,2020/7/25,Page 14,8,2020/7/25,Page 14,9,2020/7/25,Page 14,10,2020/7/25,Page 14,11,阀门符号作用说明： CDA：高压空气。使用于Bypass上的V5气压阀 N2：工业氮气。带动毒气流入吸附器 R1：氮气压力调节阀门。用于氮气流入吸附器的压力调节（建议0.7bar左右） F

4、2：氮气流量调节器。用于氮气流入吸附器的流速调节（建议调至中心线） CV2：分流器。氮气压力过高时安全阀们自动打开释放气体 VP：氮气清洗阀。在更换吸附器时使用氮气清洗吸附器（正常操作时关闭） V1：有毒气进口阀门。用于控制毒气进入吸附器的阀门（正常操作时打开） V2：净化气出口阀门。用于控制净化气排出吸附器的阀门（正常操作时打开） V3：毒气进口抽样阀门。用于检测有无毒气进入吸附器的阀门（正常操作时关闭） V4：净化气出口抽样阀门。用于检测被净化后的毒气含量（正常操作时关闭） V5：旁通管阀门。当更换吸附器时和正常操作下吸附器内压力超标时，旁通阀门自动打开（正常操作时关闭） Q1：80%药剂检测口。用于药剂使用寿命检测，当吸附药剂使用了80%后可以检测含有毒气。,2020/7/25,Page 14,12,2020/7/25,Page 14,13,详细内容请参考说明书，若有疑问请联系： 新加坡CS净化股份有限公司常驻中国售后服务部 地址：江苏省无锡市长江路锦江苑6-402