CDA系统及制程真空系统简介.ppt

1、,壓縮乾燥空氣及 製程真空系統 廠務四處空調課,第一單元 壓縮乾燥空氣系統,壓縮乾燥空氣系統,系統目的 提供低含水量之壓縮潔淨空氣 需求設備 離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮機) 吸附式乾燥機(冷凍式乾燥機) 微粒子過濾器 品質要求(各廠需求略有不同) 系統末端壓力高於7.0kg/cm2 空氣露點溫度低於-70(水份含量低於0.12ppm) 微粒數少於10顆/ft3,壓縮乾燥空氣系統,壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2

2、=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 絕對壓力 錶壓力+大氣壓力 壓力換算 1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi,壓縮乾燥空氣系統,風量單位 CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min) 單位換算 1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM 特定風量條件 Standard Condition(SCMM)：1atm、20、65%R.H Normal Condition(NCMM)：1atm、0、0%R.H,壓縮乾燥空氣系統,Standard&Normal風

3、量轉換 理想氣體定律 (P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 P：絕對壓力 T：絕對溫度 Standard&Normal風量轉換範例 100SCMM= NCMM 理想氣體定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0+273) Ans：93.17NCMM Q(Standard) Q(Normal),壓縮乾燥空氣系統,壓縮乾燥空氣處理流程,壓縮乾燥空氣系統,離心式空氣壓縮機,壓縮乾燥空氣系統,離心式空氣壓縮機,壓縮乾燥空氣系統,IGV&BOV,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機元件介紹,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機元件介紹氣動控制閥件,壓

4、縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),入口壓力,出口壓力,A桶槽壓力,B桶槽壓力,冷卻壓力,A桶槽溫度,B桶槽溫度,排氣出口溫度,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),Inlet Pressure,Left Chamber Pressure,A桶槽,B桶槽,Outlet Pressure,Purge,Right Chamber Pressure,Moisture Indicator 1.藍色正常 2.粉紅含水,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),B桶槽,冷卻壓力,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力控制開關(電子式),加熱溫度 控制開關 (維持200),加熱器溫度

5、保護開關 (370),B桶槽高溫切換 保護開關(50),A桶槽高溫切換 保護開關(50),空氣出口溫度 監視點,A桶槽建壓 壓力開關 (45psi),B桶槽建壓 壓力開關 (45psi),加熱結束溫度 控制開關 (80),壓縮乾燥空氣系統,Cycle Time(22hr) 單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間 吸附過程(11hr) 乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序 再生過程(11hr) 洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力 加熱程序(240min max)：加溫移除乾燥粒子所含水份 冷卻程序(410min max)：冷卻乾燥粒以恢復吸附能力 建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽

6、之壓力,壓縮乾燥空氣系統,工作流程吸附過程,入口閥(桶槽切換時作動),A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),吸附桶槽,待機桶槽,建壓閥(OFF),桶槽切換依據 1.偵濕器作動(7.513kHz) 2.時間控制(11hr),B桶槽高溫切換 保護開關(50),A桶槽高溫切換 保護開關(50),壓縮乾燥空氣系統,再生過程洩壓程序(8min),入口閥,A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(ON),B桶洩壓閥(OFF),洩壓桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),壓縮乾燥空氣系統,再生過程加熱程序(240min max),入口閥,A桶排氣閥(

7、ON),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),加熱桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),加熱溫度 控制開關 (維持200),加熱器溫度 保護開關 (370),加熱結束溫度 控制開關 (80),1.鼓風機啟動 2.加熱器啟動,壓縮乾燥空氣系統,再生過程冷卻程序(410min max),入口閥,A桶排氣閥(ON),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),冷卻桶槽,吸附桶槽,建壓閥(ON),35,壓縮乾燥空氣系統,再生過程建壓程序(15min),入口閥,A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),建壓桶槽,

8、吸附桶槽,建壓閥(ON),35,A桶槽建壓 壓力開關 (45psi),B桶槽高溫切換 保護開關(50),A桶槽高溫切換 保護開關(50),壓縮乾燥空氣系統,微粒子補捉原理,氣流,慣性/衝擊,粒子,粒子,粒子,欄截,擴散/靜電,粒子運動路徑,粒子運動路徑,第二單元 製程真空系統,製程真空系統,系統目的 移除系統內氣體、創造具真空度之空間 需求設備 真空機 (真空泵) 品質要求(各廠略有不同) 系統末端真空度高於25.0 inHg,製程真空系統,壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr 大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 絕對壓力 錶壓力+大氣壓力 真空度 負壓力單位or壓力單位(vac),製程真空系統,真空系統流程圖,製程真空系統,真空機組成,製程真空系統,真空機工作流程,空 氣 部 份,潤滑油部份,製程真空系統,真空機錶件/圖控點/附屬元件,製程真空系統,真空機入口導引閥,真空開關設定：下限-26.0inHg 上限-28.0inHg,設備啟動(真空度小於26.0inHg vac),真空度大於26.0inHg(v