洁净室空气处理过程图

1、七个典型的洁净空气处理系统，即空气处理工艺，七个典型的空气处理系统，即空气处理工艺，3.1.5.1净化空调一体化方案，其中净化空调机组(AHU)集中布置在空调机房内，所有的空气供应在净化空调机组内进行过滤、热湿处理，然后所有的空气供应通过一根巨大的空气供应管输送到洁净室的天花板。然后，通过洁净室天花板上的终端高效过滤器或高效过滤器出风口送至洁净室，实现洁净室工艺生产所需的温度、湿度、洁净度和室内压差。来自洁净室的回风通过回风出口和回风管道返回空调室的空调机组，然后与新鲜空气混合进行反复过滤和热湿处理。净化与空调相结合的方案可分为全新风方案(DC系统)；一次回风方案；净化空调有四种不同的送风方式

2、，如一次回风和二次回风方案以及MAU+RAU方案。这些空气供应方案是洁净室中最广泛使用的洁净空调空气供应方案，尤其是在非单向流动洁净室中。这些送风方案的系统划分清晰，风量、温度和湿度的控制和调节相对简单。但是，当洁净度等级高、送风量大时，会出现空调房间面积大、送风管和回风管数量大、送风管和回风管长、风机压力高、噪音大、送风耗电量大等问题。因此，这些送风方案更适合于低层非单向流洁净室的送风，而对于5层以上的单向流洁净室送风则不经济合理。1.AHU洁净空调送风方案(DC系统)，用于不允许回风的特殊洁净室送风方案。例如，洁净室内工艺的生产类别为甲类和乙类火灾危险等级，或者该工艺产生有毒和其他有害物质

3、，不允许在洁净送风系统中回风。其原理图和焓湿图如下。空调机组(AHU)新风处理方案示意图热焓湿图示意图热焓湿图二、AHU一次回风净化空调送风方案，主要用于洁净室中发热量大或产湿量大的非单向流洁净室，消除室内余热或湿度的送风量大于或等于净化风量。本方案示意图及焓湿图如下：空调机组一次回风处理方案示意图(AHU)；三是AHU的一、二次回风净化空调送风方案，为了节约能源，消除空气热湿处理过程中冷热的相互抵消，最好在洁净室的洁净送风量大于空调送风量时采用一、二次回风方案，以消除余热和残余湿度。示意图及焓湿图如下：空调机组一、二次回风处理方案示意图(AHU)；4.MAU RAU公司的净化空调送风方案，主

4、要用于几个洁净度、温度和湿度要求不同的洁净室，室内的产热和湿度也不同。为了保证每个洁净室的洁净度、温度和湿度，有必要设置多个循环单元。循环机组的送风量是净化空调的送风量，它能消除室内余热和残余湿度，保证室内温度和湿度，满足室内洁净度要求。循环单元内设置必要的热湿处理设备，以补充新风单元热湿处理的不足，保证洁净室温湿度精度的微调。示意图焓湿图MAU加RAU空气处理方案示意图和5.1.5.2清洁空气系统示意图为了大大节省运行过程中的能耗，消除洁净室废热和湿度的空调送风量(通常比洁净室的净化送风量小得多)将由位于空调室内的新风机组进行必要的净化和热湿处理。 净化空气供应量占总空气供应量的50.90%

5、，以确保洁净室的清洁度，净化空气供应量由洁净室附近的循环装置进行净化和补充，或者直接使用天花板上的FFU(风扇)。 该方案是净化空气供应和空调空气供应的分离，不仅可以节省运行能耗，还可以大大减少空调房间的面积，节省庞大的送风和回风管道，降低洁净室的空间高度。本净化空调送风方案可分为：空调机组(AHU)(MAU)加风机过滤机组(FFU)、新风机组(MAU)加循环机组(RAU)加(FFU)；有三种送风方案，如新风机组(MAU)、风扇过滤机组(FFU)和干式冷却盘管(DC)。送风示意图和焓湿图如下：(1-d)AHU+FFU空气处理方案示意图和焓湿图；(2)新风机组(MAU)加循环机组(RAU)加风机

6、过滤机组(FFU)净化空调送风方案，主要用于几个洁净室的洁净度，具有不同的温湿度要求和不同的室内热湿产生量。根据温度、湿度及其精度的要求，有必要设置多个循环单元。循环机组的送风量仅为空调消除室内余热和湿度的送风量，机组内设置必要的热湿处理设备，以补充新风机组热湿处理的不足，保证洁净室温湿度精度的微调。在本方案中，新风机组位于空调机房，这些洁净室所需的所有新风由新风机组(MAU)净化，热量和湿度集中处理。然后分配到每个循环单元与其返回空气混合。新风机组的新风量不仅要补充各洁净室的排风，还要保证各洁净室的正压。示意图焓湿图MAU+RAU+FFU空气处理方案示意图和(i-d)图三。新风机组(MAU)

7、加风机过滤机组(FFU)加干式冷却盘管(DC)的洁净空调送风方案。该方案是新风机组处理洁净室中热湿比线与相对湿度95%线相交处以下的新风。新鲜空气装置不仅如此，新鲜空气装置热处理不足部分的干燥冷却负荷将由位于洁净室下方夹层或天花板上的干燥表面冷却器补充。因为干表面冷却器位于天花板上或FFU循环空气通过的通道中，所以由干表面冷却器补偿的干冷却负荷被循环空气带到洁净室。示意图焓湿图MAU+FFU+DC空气处理方案示意图和焓湿图3 . 1 . 6 3.1.6.1洁净室空调系统冷热源洁净空调系统冷热源选择1。集中式冷冻站与分散式独立冷源的比较与选择。大型生产厂设有制冷站，有利于建设投资和运行管理。然而

8、，由于一些温度和湿度要求相当不同，冷却参数也不同；对于运行规则和运行时间不同的洁净车间，在集中制冷站的基础上，在附近设置分散的、独立的、专用的制冷机组，这对于节能、保证参数、便于运行管理大有裨益。其次，制冷剂被冷冻水或氟利昂直接蒸发。对于大型工厂，从集中制冷站供应冷冻水作为净化空调系统的制冷剂是有利的。由于冷冻水运输方便，运输过程中的冷量损失小；此外，冷冻水作为制冷剂也有利于空调系统参数的控制、调节和维护活塞式、离心式和螺杆式冰箱都是压缩式冰箱，离心式和螺杆式压缩式冰箱主要用于净化空调的设计。由于投资少，操作管理方便，耗电量很高。压缩制冷机组的冷冻水供应温度是可调的，最低供水温度可以是4。然而

9、，在电力供应紧张、煤气和煤供应方便的地区，尤其是可以利用废热和蒸汽的地区，使用直燃式溴化锂吸收式制冷机更为经济。特别是，这种冰箱既能供热又能供冷。4.净化空调系统中冷冻水温度的测定。当冷冻水在净化空调系统中用作制冷剂时，在正常情况下，冷冻水的初始温度(表面冷却器中冷冻水的入口温度)应至少比处理空气的最终温度(在设计计算中确定)低3.5度；如果是以除湿和冷冻冷却为目的的空气处理系统，冷冻水的最终温度(表面冷却器的冷冻水出口温度)应比处理空气的最终温度低0.7；用作干式冷却盘管的冷却水的初始温度(入口温度)应至少比洁净室内空气的露点温度高2。3.1.6.2净化空调系统冷源选择，1。电加热或蒸汽加热是新风预热加热器冬季防冻的最佳加热介质，热水一般不适合作为加热介质，因此预热器本身可能有冻结的危险。其次，空调单元中加热器的加热介质可以是热水、蒸汽或电加热。电加热控制灵活方便，控温精度高，但运行费用昂贵。一般来说，电加热用于没有热水和蒸汽供应的地方；当使用热水作为热媒时，不仅调节和管理方便，而且控制精度高，是加热器最常用的热媒。当温度精度不高时(例如)，蒸汽也可以作为加热器的热媒。3.当温度精