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文档简介

1、材料现代分析方法,透射电镜的结构和成像原理,材料科学与工程学院 2011-09,透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope，TEM),JEM 2100,分辨率： 点分辨率：0.23 nm 线分辨率：0.14 nm,低压电镜：小于120KV； 中压电镜：200-400KV； 高压电镜：高于400KV；,一.透射电镜结构,电子光学系统 ；,真空系统 10-5 Pa；,供电系统，高压稳定度；,电子光学系统：,照明系统 (电子枪，会聚镜系统）,2. 样品室,3. 成像放大系统,4. 图像观察记录系统,图1 钨灯丝电子枪结构示意图 1阴极； 2栅极； 3阳极；4电

2、子束交叉点,图2 LaB6电子枪的结构原理图,电子枪,照明系统,LaB6 灯丝,图3 典型的磁透镜剖面图,聚光镜,第三级聚光镜,会聚小透镜,图4 不同类型的光阑,照明系统,图5 样品台及其双倾旋转方向,侧入式,样品室,成像放大系统,成 像 放 大 系 统,物镜： TEM的核心，采用球差小、短焦距、强磁透镜。,中间镜： 采用长焦距、弱磁透镜。主要通过中间镜来控制电镜的总放大倍率。,投影镜： 短焦距、强磁透镜。激磁电流固定，景深和焦长很大。将中间镜放大的像进一步放大，并投影到荧光屏上。,图像观察与记录系统,荧光屏 双目镜 底片盒,照相系统 底片传送装置 控制暴光装置,图像观察记录系统,真空系统：,真空系统一般由机械泵、油扩散泵、离子泵、阀门、真空测量仪等组成,真空度不够，就会出现以下问题： 高压加不上去； 成像衬度变差； 极间放电； 灯丝迅速氧化，寿命缩短。,供电系统：,供给电子枪的高压部分； 供给电磁透镜的低压稳流部分,电压的稳定是透射电镜性能优异的重要保证,其他：程序控制、数据处理系统和水循环系统。,二.透射电镜成像原理,图6 三透镜成像原理图,在透射电子显微镜中，物镜、中间镜、投影镜是以积木方式成像，形成三级成像。,总放大倍率：,Mo ：50100 ； Mi ：020 ； Mp ：100150 ；

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