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文档简介

1、SEMTRONICS,ESD的危害和预防,静电放电(ESD ), 2000-3000V看: 3000-4000V看:5000V,基本概念,静电是什么? 静电与物质表面的正、负荷分离引起的电位静电的高度与材料特性、环境的温度、湿度等密切相关,静电发生源常见的地板:特别是塑料地板或地毯椅子:木质、塑料或化学物质服:尼龙及一般的布料作业台:研磨、清漆及蜡等:塑料在任何可能产生摩擦的地方(例如文件夹),可能产生的电势本节包括美国国防部手册263.1980、表2和表3以及一些设备的静电敏感性设备类型损耗电压RF-fets (微型) 对1-5 v Mr-heads5v奔腾5 v.mos 30 v MOSF

2、ET 100 ve prom 100 VJ.fet 140 vsaw 150 VOP amp p p/n结的软触击、产品可靠性降低、静电对设备的损坏、静电对设备的损坏由于芯片内单晶硅金属电镀而使触击式产品的成品率上升,由于静电而对设备造成的损伤芯片内引线的行程使产品的成品率上升,由于静电而损伤设备,由于静电放电而损失,数据源: Stephen Halperin, guidelinesforstaticcontrolmanagement,Eurostat 1990 .静电保护的重要性,电子行业除了ESD损伤以外,静电还有ESA(Electro-Static Attraction )、EMI (e

3、lectro-magnet 净化期间最可怕的是由ESA引起的表面污染物。 例如,4英寸的晶圆由于1000V的电荷,1微米的粒子碰撞的话,产生830,000磅/平方英寸的速度,产生损伤。 静电的产生、带电摩擦引起的电感的产生、表面电阻率导电体3360的表面电阻率比105欧姆/电平放电体3360的表面电阻率低、106109欧姆/电平绝缘体3360的表面电阻率比109欧姆/电平大、静电的除去、安全对地放出10秒内静电电压下降到100V以下2 )放电电流不能超过5mA离子中和(对绝缘体来说),防止静电荷积蓄是安全的发射通路的确认和有效的监视措施,静电荷控制的主要方面,ESD保护一方面建立投资回报率,另

4、一方面生产中的实时控制、Semtronics实时过程控制监测设备的功能主要是手腕在当地实时监测绝缘体表面离子中,所有监测设备均可接入局域网、现场实时监测、专业的现场电阻闭锁监测技术高、低电阻全缺陷检测可同时监测两个臂带和两个工作台接入局域网,实现互联网控制实施的快速便利。 现有的袖带监视原理是通过监视袖带电容值监视控制,容易发生误判定。施加单一电压v,工人指尖电压不为零,用零电压监测器,采用专用电阻测试法对腕带施加极性相反的两个测试电源,工人指尖电压低于0.1V,可确保双线腕带。 高效的直流离子流机采用稳定的直流供电,工作稳定,高效的自动检测和平衡的反馈操作简单,维护方法平衡的编程控制可以连接

5、到局域网实现互联网控制,有些离子交流离子风扇,特别是结构简单、技术含量低的电极性以50周/秒的频率变化,产生的正负离子随之周期性变化,从而中和率高、中和效率低。 为了降低中和风速必须提高,容易引起工作人员身体的不适感,脉冲直流离子机,特别是通过改变脉冲的频率和占空比,使正负离子群的间隔开来降低离子的中和率。 正、负荷像云一样传送,到达工作台,所以实际上离子没有达到真正的中和平衡,成为脉冲状态。、稳定的直流离子送风机、特征:正负电极分离设定、反馈系统可根据实际情况调整离子输出的极性和数量。 5KV恒定,通过自动改变负电压,改变正、负离子的配比,适应区域电荷状况,实现稳定的中和。 Semtroni

6、cs的禁门控制系统不同于传统的禁门控制系统,Semtronics的实时监控网络控制图、二、禁门控制系统监控的主要功能是人体没有的:手脚频带对地通道监控人对地通道监控人进入区域以往的门禁控制方式,大量的记录文件,在2000人的车之间,如果每天每人测试2次的话,每天4000件数据是每月20,000件数据是每月80,000件数据是每年960,000件! 可靠性? 处理工作量非常大! SMARTLOG、能自动测试手腕带和手腕带不良的警报自动监查测试器,自动记录数据库,以各种各样的方法建立索引读取器数据库进行数据分析,实时控制网络化每个网络控制器可连接16台监控设备。 SEMTRONICS客户端已经过验证,每台ad hoc实时监控离子(标准或洁净室)和其他设备(温度、湿度等)最多可以连接32台网络控制器。 ibmmaxtorjabilflextronicscelesticacodeonwesterndi,saeseagatesanminaf

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