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文档简介
1,金屬製程和材料,7,Electronic Materials,電子材料,2,3,4,5,圖7.1矽MOS閘極電極用金屬材料的組合,6,7,圖7.2(a)單晶，(b)多晶，(c)非晶的比較示意圖,8,圖7.3一個MOSFET中的多晶矽閘,9,圖7.4耐火金屬矽化物的製作，(a)長側牆氧化物，(b)鍍鈦， (c)長出矽化鈦，去除多餘的矽化物,10,11,12,圖7.5多晶矽矽化物(polycide)的成長過程,13,圖7.6磁電濺鍍(magnetron)設備的概略圖,14,15,圖7.7蒸鍍用的(a)鎢絲加熱器，(b)坩堝外繞加熱器,16,圖7.8蒸鍍機的概略圖,17,圖7.9電子束蒸鍍的示意圖,18,圖7.10電子束槍和源材料系統,19,20,21,22,圖7.11接面尖峰,23,圖7.12鋁線因電致遷移而產生的斷路情形,24,25,26,27,28,29,30,圖7.13矽積體電路內連線使用的金屬材料組合,31,32,圖7.14鎢插塞的製作(a)毯覆式沉積鎢，(b)鎢回蝕,33,34,圖7.15鑲嵌製程,35,36,37,38,
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