已阅读5页，还剩33页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
1,金屬製程和材料,7,Electronic Materials,電子材料,2,3,4,5,圖7.1矽MOS閘極電極用金屬材料的組合,6,7,圖7.2(a)單晶，(b)多晶，(c)非晶的比較示意圖,8,圖7.3一個MOSFET中的多晶矽閘,9,圖7.4耐火金屬矽化物的製作，(a)長側牆氧化物，(b)鍍鈦， (c)長出矽化鈦，去除多餘的矽化物,10,11,12,圖7.5多晶矽矽化物(polycide)的成長過程,13,圖7.6磁電濺鍍(magnetron)設備的概略圖,14,15,圖7.7蒸鍍用的(a)鎢絲加熱器，(b)坩堝外繞加熱器,16,圖7.8蒸鍍機的概略圖,17,圖7.9電子束蒸鍍的示意圖,18,圖7.10電子束槍和源材料系統,19,20,21,22,圖7.11接面尖峰,23,圖7.12鋁線因電致遷移而產生的斷路情形,24,25,26,27,28,29,30,圖7.13矽積體電路內連線使用的金屬材料組合,31,32,圖7.14鎢插塞的製作(a)毯覆式沉積鎢，(b)鎢回蝕,33,34,圖7.15鑲嵌製程,35,36,37,38,
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 办公设备维护保养协议2026
- 2026年银行网点安全管理与服务标杆网点创建经验
- 2026年高血压防治健康教育处方
- 跨境电商平台产品售后服务协议
- 2025年工业物联网数字孪生模型验证方法
- 工伤保险理赔服务条款补充协议
- 2026年养老机构财务管理与成本控制
- 庆典活动策划服务合同2026年执行细则
- 法律事务合同纠纷调解与和解服务协议
- 2026年护理专业护士执业资格证注册流程
- 湘潭电化科技股份有限公司招聘笔试题库2026
- 2025年福建省泉州市初二地生会考考试真题及答案
- 阿尔茨海默病血液蛋白标志物及其检测技术专家共识（2026版）
- 2025年清远市清新区招聘教师真题
- 分支机构登记（备案）申请书（2026年版）
- 2026年医院财务科人员招聘考试题及答案
- 2026年高考地理一轮复习：40个高频考点答题模板汇编
- TCPIA 0085-2024《废弃晶体硅光伏组件回收的包装、运输、贮存技术规范》
- 2026年国家级生物制造中试平台申报创建指南
- （一模）黄石市2026年全市高三（3月）模拟考试英语试卷（含答案详解）+听力音频+听力原文
- GB/T 47048-2026自然保护地标识通用要求
评论
0/150
提交评论