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文档简介
1、热压成型微加工，热压成型是一种使用主模具（硅工具(在基材（聚合物(上压印微结构的技术。热压中的步骤，将硅聚合物加热到玻璃化转变温度以上。通过在一定的压花压力下将硅工具压在聚合物上来施加载荷。将硅工具和聚合物组件冷却至Tg以下，并对工具进行去压花2007年.热压系统的优点，成本有效，易于制造。高效的快速流程。高纵横比特征的制造。生物相容性表面使用聚合物基材。一次性低成本批量生产2007年.热压印的应用，生物微机电系统/生物传感器微流体器件微光学m-TAS(微全分析系统)，热压印v/s其他微机电系统制造工艺，产品比较，热压印设置的示意图，热压印概念实体模型，加热子系统：热分析，加热块尺寸和参数研究
2、发现的墨盒数量。每个10英寸10.5英寸4英寸的加热块上有53个加热筒(1千瓦，1/2英寸，10英寸长).加热筒的适当区域配置，以实现最佳加热时间、防止热点以及模具和基板表面的均匀加热。每个加热块有5个加热区，具有不同的加热功率/热通量。加热子系统：热分析（续.)，使用ANSYS中的迭代瞬态有限元热分析获得的区域配置。加热筒的瞬态行为也被考虑在内，加热子系统：热分析（续.)，强制子系统：结构分析，用于提供压纹力的强制系统。英斯特朗公司5800型双柱落地式框架材料测试系统提供的压力。有限元结构分析的热解。材料建模包括杨氏模量和泊松比随温度的变化.结构分析的位移等值线图，1/4模型，由于对称，用于有限元分析2007年.强制子系统：结构分析（续.)，冷却子系统，15吨(52.76千瓦(冷却器和温度控制器，用于在2分钟内冷却系统。冷却板分为5个区域(5个输入，5个输出)，以获得模具和基板表面的均匀温度分布。优化冷却时间。用于将冷却油均匀分配到冷却板的歧管和流量计。微型真空室，微型真空室，用于在压花过程中提供清洁和无湿气的环境。微型真空室可以容纳8英寸的基板。国家仪器公司的控制子系统、紧凑型现场点系统和LabVIEW用于主系统和独立子系统的数据采集和控制，LabVIEW用于：监控冷却器设定点、母盘和基板上的温度、真空室中的压力。控制压花机的运动（位移和速
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