gm-7 process mp 特性要因图

1、Process Map & 特性要因图,方法论,Measure 概要 Project Y 基础统计 测定System分析 Six Sigma 测度 工程能力分析,Process Map& 特性要因图 FDM,Process Map & C-E Diagram,学习目标 理解详细Process Map 作成及潜在Xs导出方法 确认Process和隐患工厂 单位工程别Input(潜在 Xs), Output导出 对Input的C,N, X 区分 理解C-E Diagram作成及潜在Xs导出方法 对Y有影响的潜在 Xs导出 展开5 why,Process Map,目的 规定Process的范围，对实

2、际Process中非能率、 非效果的测面理解并分析。 适用可能的工具 Brainstorming / Process 流程图 主要考虑事项 跟Project执行计划书中定义的一样Process 范围定义，即 需改善的Process开始和末。 对Process顾客的主要关心事影响的要因 参与对象 定义Process的人/执行的人/改善的人 结果物 非附加价值业务，相关工程及以CTQ规名的详细Process Map,Process Map,SC1 Cleaning,Wafer Loading,DHF Cleaning,Dry,Particle 测定,NG,OK,Reject,数率检查,OK,NG,

3、VA,VA,NVA,VA,Input,Output,指甲Defect 确认,Wafer Loading (X) Line 条件(N),温度(X) 溶液浓度(X) Process time(X),HF 浓度(X) DIW Overflow流量(X),IPA Spray Time(X) IPA Spray(X) IPA Spray Start(X) Arm Speed(X) Exhaust(X),开始,Etch rate Uniformity,Etch rate Uniformity,干燥能力 斑点Defect,Particle,指甲Defect,终了,Pad poly Depo/Tpoly 测定

4、,NVA,NVA, Time(X),待机,不良履历,Process Map主要事项记号,主要用语,Input 以X变量( X1, X2, X3, . )表现的影响Y的项目 在各阶段影响Y的达成能力的输入要素 CNX/SOP Output 重要Process输出变量 (也可能是下阶段的 X.) 以Y变量( Y1, Y2, Y3, .)表现的认为对顾客重要的 制品项目及特性。 阶段完成后的结果,),(,2,1,k,x,x,x,f,Y,.,=,Process Map为了显示Hidden Factory，应详细地画。,Constant X (常数) - 对Y有影响，但按一定条件固定的X Noise X

5、 (杂音变量) - 很难控制的输入 Controllable X (可控制的变量) - 可测定影响Y大小的变化大的输入。 SOP (Standard Operating Procedure : 标准作业步骤) - 正确定义、实行作业指示书，就可以定义输入 水准和设定。,输入变量的分类: CNX,X的分类,SOP,Process Map作成时考虑事项,个人对Process Map的认识不同，所以先知道 Team员对 Process怎么想是很重要的。 个人所想的 Process Map通过现场确认修整为 实际的Process Map,Process Map 应经常检讨及更新， 应导示实际执行的作业

6、。,Process Map作成步骤,阶段 1. 需要改善的Process范围定义 作成相关最佳Process全体的流成图 阶段 2. 确认Proces所有的作业 各阶段别 Cycle Time, 品质水准名记,阶段 3. 确认对象Process的输入/输出 Brainstorming / C-E diagram 等活用 阶段 4. 确认有无各作业的附加价值(VA/NVA),阶段 5. 各阶段别列举Output 阶段 6. 各阶段别列举Input 阶段 7. 分类所有Input CNX 阶段 8. 记入对Output及 Input的规格,C-E Diagram(特性要因图),C-E diagra

7、m (Cause and Effect diagram)是把查明标本原因的 多样的理论整理和排列的有效方法。 为了找出问题的根本原因，进行 5 Why而要挖掘更具体、 明确的原因。 C-E diagram中最重要的考虑事项是是否明确地表示原因-结果的 相关关系，并应考虑所有可能的因果关系。 C-E diagram 作成时象树枝似地大体区分为工程名或者以下 5M+1E 为基准作成。 - 人(Men) - 材料(Materials) - 方法(Methods) - 机械(Machines ） - 测定(Measurements) - 环境(Environment),特性要因图 作成方法,1. 明确

8、规定输出变量 Y 或(Process 阶段别)症状。 2.在右侧标记输出变量或症状，画中心轴。 3.规定发生可能的要因。 4.重要要因在每个四角形里面被标记，并与中心轴连接。,5. 将各自主要要因用水平线连接。 6. 添加次要要因。 7. 添加明确规定标本要因之前为止发生可能的要因。 8. 验证各要因链的妥当性。 9. 点检完成度。,特性要因图 作成 例,FILM 影响,(,MATERIAL),(,METHOD),DRM,(,MACHINE),(,MAN),对于PR的选择费低,FILM 视觉,PRESSURE,Polymer,Gas油量,Reflect,POWER发生,RF,POWER,RPK安装 状态,Cooling不良,He,Error发生,Wafer,视觉率,Polymer附着,使用不活性GAS,GAS比率,Hardening,Radical生成不足,Si视觉率足,Bias大,APC不良,Gas选定,C5F8,CHF3,O2,CO增加,ADI,Notch,PHOTO,Coat,Unif,工程条件