检测技术 5-1 长度测量_第1页
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文档简介

1、1,第五章长度测量,5-1 概述 5-2 长度尺寸测量 5-3 形位误差和异形曲面的测量 5-4 表面粗糙度测量 5-5 线位移量的测量 5-6 纳米测量技术,2,5-1 概述,一、长度单位和定义 二、长度量值传递 三、长度测量的标准量 1.光波波长： 2.量块 3.光栅及容栅的栅距、磁栅的节距和感应同步器的线距 四、阿贝原则,3,温度、湿度、气压、振动等 标准状态：200C、5060%、0.1MPa、远离振源,五、长度测量的环境标准要求,1、游标量具 2、测微量具 3、表类量具 4、长度计量仪器,六、长度计量中常用的量具与量仪,4,5-2 长度尺寸测量,一、常见尺寸测量 二、大尺寸的测量 三

2、、微小尺寸测量 四、被加工尺寸的在线监测主动测量仪 五、测量误差分析,5,测量步骤：,定位 瞄准 读数 数据处理 测量结果,一、常见尺寸测量,（一）定位,6,（二） 瞄准 接触式 非接触式,（三） 读数,7,（四）测量过程实例 1、电感式内孔比较仪测量孔径,8,坐标测量法 坐标测量法是几何量测量最基本最常用的测量方法，通过测量被测几何要素上若干个点的位置坐标继而求得被测参量。包括采样读数和数据处理两个步骤。 建立工件坐标系、由采样点的坐标值计算被测量。 单坐标、双坐标、三坐标及多坐标。,2. 三坐标测量机测量孔与直线间的间距,p87公式,9,莫尔条纹,标准件光栅尺,10,11,3、锅炉、管道壁厚连续测量,12,二、大尺寸的测量,1、用弓高弦长法测量大直径 2、滚轮法测量大轴直径 3、激光跟踪干涉仪测大曲面,13,1、用弓高弦长法测量大直径,14,15,2、滚轮法测量大轴直径,16,3、激光跟踪干涉仪测大曲面,17,18,三、微小尺寸测量,1、线宽及间距测量 2、线深(台阶)测量 3、膜层厚度测量 4、测量实例 1）用激光衍射法测量金属细丝直径 2）光纤直径的测量透明介质,19,4.测量实例 1）用激光衍射法测量金属细丝直径,20,钟表行业：游丝、金属薄带,d,b,s,x=2s,k=+1,k=-1,21,2）光纤直径的测量,22,四、被加工尺寸的在线监测主动测量仪,23,

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