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文档简介

1、微机械陀螺仪的基本工作原理、主要特点及应用情况,1. 概述 2.基本工作原理 3.主要特点 4.应用情况,内容提要,1/13,MEMS：Micro Electro Mechanical systems 微米/纳米技术：micro/nanotechnology 微机械陀螺仪，也叫硅微陀螺仪、微机电陀螺仪，它被誉为指尖上的陀螺仪。,1. 概述,2/13,振动结构：线振动结构和角振动结构 材料：硅材料和非硅材料 驱动方式：静电驱动式、电磁驱动式和压电驱动式 检测方式：电容性检测、压阻型检测、压电性检测、光学检测和隧道效应检测 工作方式：速率陀螺仪和速率积分陀螺仪 加工方式：体微机械加工、表面机械加工

2、和LIGA加工方式等,1.1 分类,3/13,1. 国内硅微机电陀螺技术在设计理论研究上和国外存在差距 2. MEMS工艺条件和国外相比存在较大的差距，产品加速度敏感性普遍偏大 3. 微弱信号检测及专用集成电路水平和国外相比存在较大的差距 4. 国内硅微机电陀螺仪的工程化水平和国外相比存在较大的差距 5. 国内硅微机电陀螺仪加速度敏感性普遍偏大,1.2 微机械陀螺技术与国外的差距,4/13,目前，微机械陀螺仪还属于中、低精度范畴，它们的研制成功将投入更多的军事和商业应用。尤其在军事方面，通过采用微机械陀螺仪技术，可以把制导、导航和控制引入以前未能考虑的一些武器系统中，典型的如各种制导炮弹和弹丸

3、。,1.3 研究现状与研究意义,5/13,1. 概述 2.基本工作原理 3.主要特点 4.应用情况,内容提要,6/13,基于哥氏效应工作,2. 基本工作原理,7/13,框架式微机械振动陀螺仪结构形式,2. 基本工作原理,8/13,框架式微机械振动陀螺仪的控制系统框图,2. 基本工作原理,9/13,1. 概述 2.基本工作原理 3.主要特点 4.应用情况,内容提要,10/13,与现有机械转子式陀螺仪或光学陀螺仪相比，其主要特点如下： 体积和能耗小 成本低廉，适合大批量生产； 动态范围大，可靠性高，可用于恶劣力学环境； 准备时间短，适合快速响应武器； 中低精度，适合短时应用或与其他信息系统组合应用； 由于硅材料固有的温度敏感性，需要对硅微陀螺仪的温度特性作特别处理。,3. 主要特点,11/13,1. 概述 2.基本工作原理

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