ESD基础知识培训教材-OFILM201304.ppt

1、1,ESD Basic Knowledge Training ESD防护基础知识培训,欧菲光科技股份有限公司,随着IT业的突飞猛进,特别是电子信息化和微电子迅速发展.元件线路越来越精细,功耗越来越低.精细和低功耗的微结构对ESD承受力越来越差,对工艺控制提出新的要求.,前言,1206,0805,0603,0402,0201,第一章 静电的定义和产生途径?,第三章 EPA区域基本要求。,第四章 个人防静电装备检测方法。,第五章 异常处理和报告流程。,第二章 ESD定义和ESD的危害。,课程大纲：,4,静电的定义,能长时间停留在某一对象上相对静止的电荷,特点： 单极性-正电荷或负电荷 分布不均匀。

2、通常边角静电更大,5,5,静电产生的第一种途径:摩擦带电,+4 -4 Net=0,+3 -3 Net=0,+4 -3 Net=+1,+3 -4 Net=-1,摩擦带电产生原理:,接触摩擦,接触分离,6,静电产生的第二种途径:接触带电,接触带电过程,接触带电特点: - 带电绝缘体仅能小面积释放电荷 - 带电导体能释放大量的电荷给另一 个导体,带电绝缘体,未接地导体,7,静电产生的第三种途径:感应带电,-发生于带电体接近导体时: -带电的物体(如绝缘物体或CRT显示器)吸引导体中的电子 -导体内的局部电荷分布不均匀,8,ESD定义,ESD (Electrostatic Discharge-静电放电

3、) , 它指的是静电电荷在两个不同电势物体上快速转移的现象.,静电电荷快速转移到另一对象上.,9,静电放电三种模型:,人体放电模型-HBM,机器模型-MM,带电器件模型-CDM,说明：类似于人体指尖对器件放电，放电路径从人体到敏感器件,说明：模拟设备金属部分带电后对敏感器件放电，由于放电电阻要比人体模型小许多，因此破坏性更大,说明：由于器件本身带电，在接触低电势时，器件内电荷快速转移到接触面,0.067:1.75:0.9,10,60 75%,EOS / ESD,其他,30 50%,EOS / ESD,8 33%,ESD alone,损失是巨大的！,欧洲调查数据,其他,其他,美国ESD协会调查数

4、据,日本调查数据,ESD对电子业造成的损失,11,ESD损伤类型:,1.完全损坏:元器件功能完全失效,介质层被击穿.引脚电阻呈现短路或开路,电磁质性能反转.,2.局部损坏(也称潜在损伤):电性能参数弱化,介质层局部被破坏.元件多数在老化工序或用户使用一段时间后失效.,12,局部损坏的风险会逐级放大,价值$5元器件在IC厂发生ESD局部损坏，由于元器件只是局部ESD损伤,在后续工序检测中不易发现，被组装到一台设备中导致故障损失可能是$5000,13,导入ESD防护的效益:,3.满足客户要求,提高市场分额。,1.提高产品的质量,降低不良率.,2.保证产品的可靠性.,14,EPA区域基本要求,IQC

5、 Inspect,Manufacture Process,ESDSWarehouse,OQC Inspect,在静电敏感元器件的检查,存储和制造过程设置静电防护区域（EPA）并进行标示识别.,15,EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD警示标示和ESD防护区域标示,16,1.人员进入EPA区域前，应在入口处检测手腕带或鞋人体综合电阻，检测合格后再进入。,17,2.上班前点检工作区域的接地连接，坐着作业前需使用手腕带与接地系统连接。,18,3.配备离子风机工位应检查离子风机正常开启，并对准产品或作业区域。,19,4.所有不必要的绝缘物品如饮料杯，食品包装袋及个人物品应该从EPA

6、工作台清除。,20,5.必要的辅料，物品划定一个区域定位存放，与静电敏感器件保持30cm以上距离。,记录表放置区,辅料放置区,作业区,21,6.EPA工具，治具等绝缘塑料外壳应定期使用静电喷涂液喷涂，做消静电处理。,22,7.静电敏感器件应避免杂乱堆放或直接放在金属台面或纸板上，应使用防静电托盘定量定位存放。,23,8.静电敏感器件没有防静电材料覆盖或屏蔽包装的，需在EPA区域内作业或存放，在非EPA作业区域禁止随意取拿。,24,9.工序负责人按要求定时点检环境温湿度并记录，绘制温湿度走势图，异常及时通知相关人员调整。,25,10.工作人员进入EPA区域前需接受ESD防护知识培训，没有经过培训需进入EPA的人员，要求由受培训过的人员陪同。,26,个人防静电装备检测方法,Step1: 穿防静电鞋，佩戴手腕带 Step2:人站在脚印踏板上，手腕带插入测试仪器插孔 Step3: 手按测试按钮金属板，观察左侧三个指示灯亮绿灯即测试 “Pass”,27,人员静电防护装置佩戴,