胎压传感器[文书特制]

1、 基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究张兆华，陈 磊，李 坤，林惠旺，刘理天，乌力吉，任天令(清华大学 微电子学研究所，北京 100084)1 引言2002年，由于凡世通(Firestone)轮胎的质量问题，造成了超过100人死亡和400人受伤的事件，引起了汽车业和美国政府的高度重视，普利斯通凡世通公司被迫收回650万只轮胎。据美国汽车工程师学会最近的调查，每年75的轮胎故障是由于轮胎渗漏或充气不足引起的。据公安部统计，在中国高速公路上发生的交通事故有70是由于爆胎引起的，而在美国这一比例则高达80。如何防止爆胎已成为安全驾驶的一个重要课题。据国家橡胶轮胎质量监督中心分析，保持标准的车胎气

2、压和及时发现车胎漏气是防止爆胎的关键，而汽车轮胎压力监视系统将是预防爆胎的理想工具。由于轮胎压力变化通常是一个渐变的过程，即使由于异物刺破轮胎而导致的轮胎泄气也有一个持续过程，因此通过实时监测轮胎压力，并在轮胎压力出现异常后的第一时间报警，能够为驾驶员正确处理突发情况争取宝贵时间，从而保证行车的安全。为此，美国运输部和美国国家高速公路安全管理局制定了相关政策，规定从2003年11月到2006年10月31日期间新出厂的轻型汽车将逐步引入轮胎压力监视系统。2 胎压监控的基本原理目前，轮胎压力监测系统主要有两种解决方案，直接系统和间接系统。直接式轮胎压力监测系统是利用安装在每一个轮胎里的压力传感器直

3、接测量轮胎的气压，并对各轮胎气压进行显示及监控，当轮胎气压太低或有渗漏时，系统会自动报警。间接式轮胎压力监测系统是通过汽车ABS系统的轮速传感器来比较轮胎之间的转速差别，以达到监控胎压的目的，该类型系统的主要缺点是：不能显示出各条轮胎准确的瞬时气压值；同一车轴或者同一侧车轮或者所有轮胎气压同时下降时不能报警；不能同时兼顾车速、检测精度等因素。很明显，直接传感系统更有效。直接式轮胎压力监控系统又分为主动式(active)和被动式(passive)两种。主动式系统是采用在硅基上利用MEMS工艺制作电容式或者压阻式压力传感器，将压力传感器安装在每个轮圈上，通过无线射频的方式将信号传送出去，安装在驾驶

4、室里的无线接收装置接收到该压力敏感信号，经过一定的信号处理，显示出当前的轮胎压力。主动式技术的优点是，技术比较成熟，开发出来的模块可适用于各厂牌的轮胎，但缺点同样比较突出，其感应模块需要电池供电，因此存在系统使用寿命的问题。被动式轮胎压力监控系统的传感器是采用声表面波(SAW)来设计的，这种传感器通过射频电场产生一个声表面波，当这个声表面波通过压电衬底材料的表面时，就会产生变化，通过检测声表面波的这种变化，就可以知道轮胎压力的情况。虽然此技术不用电池供电，但是它需要将转发器整合到轮胎中，需各轮胎制造商建立共通的标准才有可能实施。轮胎气压实时监测与报警系统目前还没有统一的标准，各公司都在努力开发

5、具有竞争力的产品，以期在未来的竞争中立于不败之地。具有分辨率高、无源、体积小三个特征的胎压监控系统将是未来的发展趋势。轮胎气压监测系统要检测出轮胎气压的异常状况，只有具有高分辨率才能有高的精度。电池寿命是有限的，且容量也受温度影响。为提高系统的可靠性，传感器最好能进行无源检测。轮胎能否正常工作不仅与气压有关，还与温度、车轮转速及载质量等有关，未来的压力传感器在测量轮胎气压的同时，还应能测量轮胎内温度和载质量。许多研究表明，利用轮胎气压传感器收集到的信息，可对车辆悬挂系统进行故障监测并校正导航系统。因此，未来的传感器应该是集各种功能于一身的无源智能型传感器。3 无源TPMS磁场电磁耦合设计方案3

6、.1 原理电感耦合是一种变压器模型，通过空间高频交变磁场实现耦合。依据的是电磁感应定律，实际上是通过交变磁场在轮胎内测量发射模块的线圈中感应出电压和电流，给轮胎内测量发射模块提供能量。电感耦合方式一般适合于中、低频工作的近距离射频识别系统。3.2 方案设计该系统至少包含轮胎内测量模块和阅读器两部分。一般情况下，胎内测量模块由低频耦合天线(大面积的线圈)、专用微型芯片和高频发射天线组成。低频耦合天线从交变磁场中获得工作所需的能量，专用芯片负责测量压力和将压力信息转化为RF信号，高频发射天线将RF信号发射到空间。阅读器包含有接收器、控制器以及低频驱动电路、低频天线、高频接收天线。控制器通过低频天线

7、向空间发射出供胎内测量电路使用的电磁波，发射磁场的一小部分磁力线穿过距阅读器天线线圈一定距离的轮胎内测量模块低频耦合天线线圈，通过感应，在低频耦合天线线圈上产生一个电压Ui，将其整流后作为胎内测量接收模块的电源。将一个电容与阅读器的天线线圈并联，电容器电容的选择依据是：它与天线线圈的电感一起，形成谐振频率与阅读器发射频率相符的并联振荡回路。该回路的谐振使得阅读器的天线线圈产生非常大的电流，这种方法也可用于产生供远距离应答器工作所需要的场强。胎内测量模块的低频耦合天线线圈和电容器构成振荡回路，调谐到阅读器的发射频率。通过该回路的谐振，应答器线圈上的电压达到最大值。这两个线圈上的结构也可以解释作变

8、压器(变压器的耦合)，变压器的两个线圈之间只存在很弱的耦合，阅读器的天线线圈与胎内测量模块的低频耦合天线线圈之间的功率传输效率与工作频率f、应答器线圈的匝数n，被应答器线圈包围的面积A、两个线圈的相对角度以及它们之间的距离成比例。胎内测量模块获得能量工作后，将压力信息调制到RF信号发射出来，阅读器的高频接收天线接收到RF信号后，接收器将RF信号解调后将压力信号传给控制器，控制器将压力信号通过人机界面告知车主。3.3 难点和解决思路电感耦合系统的效率不高，所以一般适用于低电流电路，作用距离短，一般只有几十厘米。提供能量有限，所以模块中的传感器电路的设计就很重要。其关键是：芯片的设计要效率高，能在

9、低电流的情况下完成测量和发射的任务；微型芯片工作所需要的全部能量必须由阅读器供应。高频的强电磁场由阅读器的天线线圈产生，所以阅读器的设计要提供足够的磁场强度。本系统要求作用距离大约3040 cm，能提供大约20 mA的大电流，因此设计上具有挑战性。为实现预期目标，可以从两方面做出努力：一方面是尽可能提供较大的电流和能量供芯片正常工作；另一方面则应该对测量芯片采用低功耗设计，尽量降低胎内测量模块正常工作所需的电流。4 直接胎压监控系统设计与分析本文设计了一种直接式TPMS，其原理如图1所示。该系统由两部分组成，轮胎模块和车载接收模块。其中，轮胎模块包括压力和温度传感器、AD变换器、控制器及射频发

10、射器等，如图2所示。车载接收模块包括了射频接收器、控制器以及显示报警装置等，如图3所示。该系统的基本工作原理如下，把轮胎模块装置在轮胎内，压力和温度传感器检测轮胎内部当前的应力和温度信息，获得的模拟信号经过AD变换器转换成数字信号，然后通过射频发射器发送出去。车载接收模块装置在驾驶室内，射频接收器接收来自轮胎模块的应力和温度信息，当轮胎压力过高或者过低时，通过显示和报警装置发出报警信息。在轮胎模块，设计了一种新型的压力温度集成传感器作为轮胎压力监控传感器。该传感器集成了压力和温度两种传感器，具有体积小、成本低、测量精度高等特点。采用低噪声四通道放大器，可以方便实现对压力和温度两种信号的放大。控

11、制器采用摩托罗拉的MC6S08QG8芯片，该单片机的工作电压为3 V，与传感器的工作电压一致。射频发射芯片采用摩托罗拉的MC33493芯片，该芯片具有3 V供电以及功耗低等特点。在车载接收模块，射频接收解码芯片采用摩托罗拉的MC33594芯片，该芯片是和射频发射芯片MC33493芯片配套的射频接收芯片，其工作电压是5 V。控制器采用摩托罗拉的MC9S08AW16单片机，该芯片的内核为S08，可以与轮胎模块的单片机MC6S08QG8采用同样的开发环境，另外该芯片为5 V供电，与射频接收芯片以及LCD显示芯片电平兼容。5 新型的胎压监控传感器分析压力传感器和温度传感器是轮胎压力监控系统的关键部件，

12、设计并制作了一种新型传感器，它包含压阻式压力传感器和温度传感器两部分。其中，压阻式压力传感器主要是利用半导体的压阻效应，把一个惠斯通电桥做在一个硅杯上，如图4所示。当硅杯受到压力后发生形变，惠斯通电桥的四个桥臂电阻就会发生变化，打破了电桥的电平衡，从而会有一个电信号的输出。温度传感器采用单电阻结构，在n型硅衬底上制作一个p型电阻。囚为p型注入电阻有一个正的温度系数，当温度发生变化时，电阻的阻值就会发生相应的变化。通过给电阻以电流源供电，就可以通过测量电阻上的电压来检测温度的变化。图5是本文制作的传感器芯片的电镜照片。图5(a)为器件正面全貌；图5(b)为薄膜正面；图5(c)为薄膜背面。其中压敏元件采用比常规更厚的50m硅杯薄膜(500 m500m)，增大了体硅上高应力区的面积，在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力。压敏电阻设计为折线结构，采用优化的几何尺寸，并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度。体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作，减小了工艺复杂度。该器件工艺简单，成品率高，与标准IC工艺兼容。初步的测试结果表明集成传感器具有良好的性能。压力传感器的满量程输出为150 mV，压力测量范围为0500 kPa，灵敏度为0.3 mVkPa。温度传感器的灵敏度为1.24 mV，非线性为1.6。压力温