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文档简介

1、还原厂房洁净度检测及洁净空间保持方案1、 洁净度检测的必要性多晶硅做为一种高纯材料，其生产过程对车间洁净度要求较高，太阳能级产品要求还原厂房达到10万洁净级要求，而我们厂若定位于电子级产品则对洁净度提出了更高要求。2、 洁净度的概念 洁净度指洁净空气中空气含尘（包括微生物）量多少的程度。 根据中华人民共和国国家标准GB 50073-2001(GBJ7384 已作废），洁净厂房设计规范（下面简称规范）明确规定了空气洁净度的四个等级（洁净度即指洁净环境中空气含尘粒多少的程度），并制作了相应表格以示划分之标准: 洁净度级别尘粒最大允许数/立方米 0.5m尘粒数5m尘粒数微生物最大允许数 浮游菌/立方

2、米沉降菌/皿100级3,50005110,000级350，0002，0001003100，000级3，500，00020，00050010300，000级10，500，00060，0001000153、 洁净度的检测仪器及使用3.1 检测仪器我们工厂质检处采用的洁净度检测仪器为尘埃粒子计数器。尘埃粒子计数器是用来测量空气中微粒的数量及大小的仪器，从而为空气洁净度的评定提供依据。常见的尘埃粒子计数器是光散射式（DAPC）的，测量粒径范围0.110um，此外还有凝聚核式的尘埃粒子计数器（CNC），可测量尺寸更小的尘埃粒子。3.2 尘埃粒子计数器的使用经过查阅资料及咨询质检处的同事，尘埃粒子计数器一般比较便携，而且价格较为便宜，约几千元一台。所以可以建议给MSA和GT各配置几台作为日常检测。MSA还原厂房布置 MSA4台炉子一个区域，每个区域可以配一台仪器，建议每次换班统计一次洁净度数据。GT还原厂房布置GT4台炉子一个区域，每个区域可以配一台仪器，建议每次换班统计一次洁净度数据。4、 厂房洁净度的提高4.1 规范操作规程，在上硅芯和取硅棒的时候严格按照洁净工作制度

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