半导体工厂超纯水简报【专业严选】

1、半导体工厂超纯水简报,Mark,22/Jul./2014,1,一类荟萃,总流程,2,一类荟萃,原水,1.自来水由原水泵将水抽至CUB(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。,运行参数：原水一般水量为195m/h，最大水量为250m/h，水压3bar。,3,一类荟萃,多介质过滤器(MMF/砂滤）,1.原水加10%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。,2.桶内装填石英砂和无烟煤。,3.配有风机，定期反洗。,用途：主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。,运行参数：产水量最大为250m/h，压力1.5bar，温度20-20。,4

2、,一类荟萃,玻璃钢水箱(FRP水箱),1.过滤水回收至玻璃钢水箱。,2.过滤水箱前有两组泵（每组两台），一组用于反清洗，一组用于给ACF活性炭过滤器供水。,3.桶身直径5m，桶高5m。,运行参数：出口压力为7bar，温度为20-30。,迈博瑞生物膜技术南通有限公司,5,一类荟萃,活性炭过滤器(ACF/碳滤）,1.三支，内部填充颗粒活性炭。,2.此段过滤器分为正洗与反洗，正反洗水都回收至废水池，产水为过滤水。,用途：再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。,运行参数：产水量为200-260m/h，出口压力为6bar，温度20-30。,6,一类荟萃,阴阳离子交换床,1.ACF出水先经过CIX（阴

3、离子桶）加HCl，后AIX（阴离子桶）加NaOH处理，CIX和AIX 可以单独运行。,用途：处理水中的阴阳离子。,2.冲洗水进入过滤水箱，再生水进入废水池，出水为去离子水。,运行参数：产水量为207m/h，压力为3bar，温度为20-30。,7,一类荟萃,保安过滤器(SFL),1.去离子水加30%NaOH后进入保安过滤器。,2.产水为去离子水。,用途：微滤过滤器保护后端RO膜，不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。,运行参数：280m/h，出口压力2.6bar，温度21-30。,8,一类荟萃,反渗透过滤膜（RO膜）,1.RO是前段水处理的核心。,2.达标产水进入RO水箱，不达标

4、产水进入过滤水箱，浓水进入废水池。,3.产水为反渗透水。,运行参数：产水水量为248m/h，出水压力为2bar，温度为21-30；浓水水量为18m/h，出水压力为2bar，温度为24-30。,9,一类荟萃,RO水箱,1.水箱采用玻璃钢材质，并使用氮气密封。,2.RO水箱有三组水泵输出 ，一组UV供水，一组阴阳离子交换床冲洗水，一组冷凝设备供水。,运行参数：产水水量为185m/h，出口为6bar，温度21-30。,迈博瑞生物膜技术南通有限公司,10,一类荟萃,紫外线杀菌设备（UV装置）,1.两组，一用一备，单组使用44跟紫外灯管。,2.出水为反渗透产水。,用途：杀灭水中的微生物，降低有机物含量。

5、,运行参数：产水水量为185m/h，出水压力为5.5bar，操作温度26。,11,一类荟萃,初级混床（MBX混床）,1.内装阴离子树脂和阳离子树脂。,用途：全面去除水中的阴阳离子，电阻率由4m/cm提升至17-18m/cm。,2.定期对混床进行再生，使用HCl和NaOH。,3.再生水进入废水池，冲洗水进入过滤水箱，产水为纯水。,运行参数：产水量为185m/h，出口压力为4bar，温度23-30。,12,一类荟萃,脱气膜(MD),1.由两台真空泵和12支膜壳组成。,2.水由上向下流出，气体由下向上抽出，主要气体为CO2和N2。,3.出水为纯水进入纯水箱。,运行参数：产水水量为180m/h，出口水

6、压为1.5bar，温度为21-30。,迈博瑞生物膜技术南通有限公司,13,一类荟萃,纯水水箱,1.玻璃钢材质，内衬PP，氮封。,2.有一组泵输出，输出水为纯水。,运行参数：产水水量为230m/h，出口水压为8.5bar，温度为22-30。,14,一类荟萃,冷交换器,1.纯水进入交换器，温度降低为5。,2.出水为纯水，进入UV装置。,运行参数：产水水量为230m/h，出口水压为7.5bar。,迈博瑞生物膜技术南通有限公司,15,一类荟萃,UV装置,1.三组紫外线杀菌装置，每组44根灯管。,2.出水为纯水进入增压泵。,3.运行在恒温5环境中。,用途：再次杀灭水中细菌，降低有机物含量。,运行参数：产水量为230m/h，出水水压7.5bar。,16,一类荟萃,抛光混床（MBP）,1.树脂为一次性，使用完后不需要再生。,2.出水为超纯水，进入超滤装置。,用途：进一步降低水中的阴阳离子含量，提高电导率至18m/cm以上。,运行参数：产水量为190m/h，出水水压为9bar，回纯水箱10m/h，水压3bar。,17,一类荟萃,超滤（UF）,1.分两组，抛光混床出水分两路，一路直接进入超滤，另一路通过热交换将水温提升至65-75再进入超滤。,2.产水