基于气浮支承引线键合定位平台设计答辩PPT.ppt
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基于气浮支承引线键合定位平台设计答辩PPT.ppt
LOGO基于气浮支承引线键合定位平台设计指导教师:卢志伟班级:08机械2班学生:赵魁学号:08102080222选题系统的背景及意义随着技术的进步和相关行业的发展,高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进一步发展的瓶颈。由于空气的粘性低,不易发生爬行,振动也小,热稳定性好;使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比,它不污染环境。论文的结构和主要内容本论文的主要内容是设计定位平台的设计。定位平台计过程可分为总体方案设计,完成原理方案设计和结构方案设计;对引线键合定位平台X、Y两运动导轨的相互运动方式进行设计;对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计;对引线键合定位平台驱动装置、传动装置、供气装置、测量等装置进行设计。设计分析定位平台机械部分方案确定传动:滚珠丝杠螺母副支撑:双推-简支式滑动导轨伺服电机:步进电动机采用滚珠丝杠螺母副,可实现旋转运动与直线运动相互转换,在具有螺旋槽的丝杠螺母中装有滚珠作为中间传动元件,以减少摩擦。优点是摩擦系数小,传动效率高,灵敏度高,传动平稳,不易产生滑行,传动精度和定位精度高;磨损小,使用寿命长,精度保持性好。双推-简支式支撑减少丝杠热变形的影响。