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LOGO基于气浮支承引线键合定位平台设计指导教师：卢志伟班级：08机械2班学生：赵魁学号：08102080222选题系统的背景及意义随着技术的进步和相关行业的发展，高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进一步发展的瓶颈。由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也小，热稳定性好；使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比，它不污染环境。论文的结构和主要内容本论文的主要内容是设计定位平台的设计。定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计；对引线键合定位平台X、Y两运动导轨的相互运动方式进行设计；对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计；对引线键合定位平台驱动装置、传动装置、供气装置、测量等装置进行设计。设计分析定位平台机械部分方案确定传动：滚珠丝杠螺母副支撑：双推-简支式滑动导轨伺服电机：步进电动机采用滚珠丝杠螺母副，可实现旋转运动与直线运动相互转换，在具有螺旋槽的丝杠螺母中装有滚珠作为中间传动元件，以减少摩擦。优点是摩擦系数小，传动效率高，灵敏度高，传动平稳，不易产生滑行，传动精度和定位精度高；磨损小，使用寿命
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