太阳能多晶硅片的检测.doc

天威新能源(成都)硅片有限公司文件编号TNG.J JY.015-2009版 次A硅片检验规程生效日期2009年02月10日1 目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。2 范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3 设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4 内容4.1 检验方式4.1.1 外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2 电学及其他性能 抽检，每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。4.2 检验步骤a) 每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b) 在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c) 在抽检的200片当中如果只有30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了200片，当中有29片不满足4.3中相关要求。则将29片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的171（200-29）片连同前面的335片（535-200）进行外观上的全检；编制：校对：审核：标准化： 批准：发送部门份 数d) 依据4.3中相关要求对硅片进行分类。4.3 技术要求按质量要求将硅片分为A级硅片、B级硅片、C级硅片、D级硅片四级，如下表1。其中将A级硅片按电阻率分为A1（0.53.cm），A2（36.cm）2个类别，B级硅片按部分性能不满足A级硅片要求分为B1，B2，B3，B4，B5，B9共9种类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如125mm125mm），其他检验参数符合A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按A级硅片生产，允许按用户要求提供B级硅片或是C级硅片。表1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目ABCD检测方法检验方式A1A2B1、B2、B3B91导电类型PP可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（125125）硅片后，其他性能符合A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、C级要求的硅片均归为D级硅片分选设备抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3崩边长度1 mm，深度0.5 mm，每片崩边总数2 处；长度1 mm，深度0.5 mm，每片崩边总数2 处；B1 1mm崩边长度5mm，1mm深度2mm，1崩边总数3目测全检4TTV30 m30 mB2 30mTTV50m；硅片分选设备抽检5厚度20020 m20020 mB3 厚度偏差超过20m但小于40m硅片分选设备抽检6尺寸1560.5 mm1560.5 mmB4 硅片尺寸偏差超过0.5mm但小于1.0mm硅片分选设备抽检7倒角10.5 mm、451010.5 mm、4510B5 倒角尺寸偏差超过0.5mm但小于0.8mm硅片分选设备抽检8线痕深度8 m深度15 mB6 15m深度30m目测、必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9电阻率0.5-3cm；3-6cm0.5-3cm；3-6cmB7 电阻率0.5.cm硅片分选设备抽检10少子寿命2s2sB8 0.5s少子寿命2s少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检续表1序号检验项目A BCD检测方法检验方式 A1 A211表面质量状况硅片表面及侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑，无明显沾污（表面沾污总面积小于3mm2，每一百片单边侧面沾污总面积小于20mm2）（判断时参照沾污样本片进行判定），无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；B9 硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑；油点或其他赃物不得有3处，每处沾污或其他赃物面积1mm2可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（125125）硅片后，其他性能符合A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、C级要求的硅片均归为D级目测全检12弯曲度80 m80 m80 m塞尺抽检13氧碳含量氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0x1017atoms/cm3氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0x1017atoms/cm3氧含量8x1017atoms/cm3 ；碳含量6.0x1017atoms/cm3氧碳含量测试仪客户要求时才抽检说明：1) A级硅片为优等品，A、B级硅片均为合格硅片,C、D级硅片为不合格硅片； 2) B级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用，C级、D级硅片按公司不合格品控制程序进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第3.2.1条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸0.6d1.0,视觉作业分类等级为IV乙，亮度对比为大，照度大小为200LUX（即需40W的日光灯源，工作面距离灯源50-70cm）。4）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。4.4 标志、包装4.4.1 标志在包装盒至少印有如下产品标志：a) 企业名称；b) 产品型号或标记；c) 制造日期；d) 质量认证书；e) 硅锭编号；f) 氧、碳含量；g) 少子寿命；h) 电阻率。4.4.2 内包装硅片采用EPS包装盒密封包装。包装盒上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶要求美观平整。4.4.3 外包装外包装箱应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样