安全生产_光电厂化学品供应安全系统的建立

报告编号：机密等级：一般件解密期限：流通号：半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准建立(结案报告)计划主持人：林永芬执行人员：余清其、黄崇琦、林木荣合作单位：新竹科学工业园区管理局中华民国八十八年一月十五日谢志半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准之建立，承蒙新竹园区管理局 钟锦海专委及 林辉宏先生多方协助，提供园区厂商化学品现况数据、厂商协调作业及计划审议行政之执行。于计划执行期间，对于科学园区相关现况之调查及使用状况，更感谢 德碁半导体、华邦电子、世界先进等司对安全基准提供工厂实际运作及未来发展方向之指导参考，也感谢台湾伊默克公司提供台湾供货商施工之安全考量。最后谢谢所有参与说明会之先进莅临指导草案之修正，期盼使本安全基准能成为捍卫工厂安全之共同基本准则。摘要近年来园区产业之重大工安意外事故频传，由新竹科学园区民国83年至87年灾害分析数据显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型之第二位。并由日本半导体制程灾害事故分析显示，液体类化学品造成的灾害事故高达61%，为能有效发挥与落实安全管理制度，期建立半导体厂及光电厂液体化学品之储存、供应、使用相关规范、标准，使各厂能有统一之安全基准为管理参考依据，使业者透过安全基准规范，以有效发挥及落实安全管理，避免意外事故之发生。本计划不仅可做为现有化学品供应系统之安全基本依据及准则，对于系统之新建、修改及变更使用，对作业期间之自动检查与稽核，对维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全参考依据及要求，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品造成危害。过程中除汇整国内之劳工安全卫生施行细则及设施规则、特定化学物质危害预防标准、有机溶剂中毒预防规则、中国国家标准CNS等，更参考国外规范如：SEMI S2-93、NFPA 318、FM Data Sheet 7-7、FM Data Sheet 7-29、UBC等相关资料，草案研拟并配合专家与业者实务经验，共同探讨研拟出可行性高、标准一致的准则，以建立最适宜台湾科技产业应用之安全基准。本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为研究建立标的，防范液体化学品外泄引火、腐蚀、泄漏、不兼容性混合及毒性之潜在危害为研究要项。基准之制定将化学品供应系统依化学品入厂至出厂所有过程为考量，以区域划分考量范围内之安全设施，将之划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等项目。其各节重点如下：第一节概述，为整体性之人员防护管理、火灾阻隔设计及物质标示等；第二节收货区码头，以化学品不兼容性、搬运储存、泄漏防护等为重点；第三节储存房，重点为化学品排液防护、通风排气及储藏设计；第四节分配输送房，重点为通风排气、排液泄漏、限量储存等；第五节储槽，重点为排液系统、安全指示警报设计、泄漏应变及防制等；第六节储存柜桶瓶空器手推车，规范储存柜设计、容器使用限制、手推车使用规范等；第七节输送系统管线，着点输送设计、加压系统安全防护及泄漏侦测；第八节清净室，规范使用于清净室之手推车、化学品使用限量及储放溢流保护等；第九章废液处理，重点为不兼容性危害及废液收集保护系统等。由以上建立安全卫生管理信息、准则方案，以确实达到防止灾害发生，保障劳工安全与健康，提升园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。目录志谢摘要目录图目录表目录一、前言1二、研究目的4三、实施方法5四、结果与讨论84.1 潜在危害与作业区分类84.2 国内外数据汇整与草案制定94.3 实务分析与讨论104.4 安全基准汇整与修正11五、结论与建议135.1 安全基准架构135.2 安全基准条文135.3 讨论及建议24六、参考文献26附件(一) 化学品供应系统相关安全规范比较来自中国最大的资料库下载(二) 半导体及光电厂化学品供应系统安全基准建立期中报告数据(三) 期中及期末报告审议记录数据(四) 安全基准草案研讨说明会参与厂商及相关人员名单(五) 化学品供应系统安全基准说明会记录及厂商回复意见(六) 化学品供应系统安全基准、说明、意见及参考数据汇整表图目录图一 全球半导体业之灾害损失(1985-1994)3图二 化学品供应系统安全基准执行流程7图三 液体化学品供应系统流程架构图9表目录表一 日本半导体制程灾害事故分析表2表二 半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准说明会时程表11一、前言近年来园区产业之重大工安意外事故频传，虽归因于安全管理制度未能有效发挥与落实，但对于化学品之储存、供应、使用等安全基准无统一规范标准之参考依据，致使无法有效发挥及落实安全管理，造成意外事故发生。由新竹科学园区83年至87年灾害分析数据显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型第二位，并由日本劳工部对日本半导体制程灾害事故所做的一份分析显示，如表一，由液体类化学品造成的害事故高达61%，其中酸/碱液体占51%、有机可燃性液体也高达10%之多，所以对于液体类化学品的使用、输送及管理不可轻忽。由保险界对全球半导体业在1985-1994年间灾害损失金额及事故件数之统计资料分析出，液体泄漏造成的损失金额高居首位，损失有五亿八仟万美元，可能引发火灾的相关事件数也占首位(图一)。因此园区管理局有鉴于半导体及光电工厂制程使用之化学品其种类及特性之复杂性及高潜在危害性，为保障其作业人员、经营财产、社会大众及整体环境安全，特针对化学品之供应系统进行半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准之研拟，过程中除汇整国内外相关数据，配合专家与业者实务经验共同探讨研拟出一致的标准或准则，以建立最适宜台湾科技产业应用之安全基准，使业者透过安全基准规范，建立安全管理信息、准则、方案，进而落实达到防止灾害发生，保障劳工安全与健康，提升园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。表一 日本半导体制程灾害事故分析表 制程 灾害 事故 化学 物质磊晶氧化微影蚀刻清洗不纯物扩散离子植入CVD加热搬运钢瓶柜其它合计发生率酸、碱0092336703110039251气体230106210211244324有机溶剂00321100000021810其它00141403013022815合计23262751135134141211181100资料来源：日本劳工部调查灾害事例(1991)来自中国最大的资料库下载二、研究目的半导体厂与光电厂化学品供应系统安全基准建立计划，旨在保护人员从业之安全，预防半导体厂及光电厂所使用之化学品供应系统发生危害，故对特殊、高危险化学品进行必要性之安全规范，建立化学品供应系统安全基准。本计划之目的如下：(1) 建立化学品供应系统安全基准(2) 提供化学品安全稽核基准本计划不仅可做为现有化学品供应系统之安全基本依据及准则，对于系统之新建、修改及变更使用、作业期间之自动检查与稽核、维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全参考依据及要求，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品造成危害。三、实施方法建立化学品供应系统安全基准的执行流程如图二所示，其每个工作项目之实施方法如下：3.1 危害分类及危害分析：首先为鉴认作业场所潜在之危害化学品种类及其潜在之危害性与造成危害之方式，本基准以液体类之化学品为研究对象，将其分成可燃性液体、酸性液体及碱性液体等三类，涵盖系统潜在具有外泄引火、腐蚀、泄漏、不兼容性及毒性等主要危害为防范研究建立安全基准之要项。3.2 化学品供应系统安全相关数据汇整：汇整国内现有之安全卫生相关法令，将有关液体类化学品储存、使用、输送等规范内容，与国际相关规范如SEMI、NFPA、FM等汇整出之液体类化学品安全指引相互参照，做为供应系统安全基准建立之参考。3.3 化学品供应系统安全实务解析：安全基准建立之时，与有关半导体厂及光电厂合作访谈参观，结合实务之作业了解与现场分析，适时回馈至数据汇整流程，以修正本基准之完整性。由数据汇整与分析，并配合供应系统安全实务解析，建立化学品供应系统安全基准之基本架构及草案条文之内容。3.4 化学品供应系统安全基准草案检讨与修正：由建立化学品供应系统安全基准之基本架构及草案条文，敬邀半导体、光电厂及化学品供应相关各厂安全卫生代表，召开本草案基准之说明会及技术训练推广，由各界反应所得见意纳入检讨修正方案，并进行基准最后总讨论与修正。3.5 化学品供应系统安全基准建立：化学品供应系统安全基准之建立，其草案内容并经由科学园区管理局敬请各科处、消防署及园区工安委员会安全基准小组等专家召开期中及期末两场草案之审查。同时而汇整修正之化学品供应系统安全基准，并函送中华民国台湾半导体产业协会(TSIA)进行本基准之审查。图二 化学品供应系统安全基准执行流程四、结果与讨论4.1 潜在危害与作业区分类来自中国最大的资料库下载本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为研究建立标的。可燃性液体以外泄引火为主要危害，酸性液体及碱性液体以材料腐蚀或碰撞泄漏、人员接触为主要危害，其中也包括毒性物质造成人员健康危害及储存化学品燃载量之限制。液体化学品供应系统从进料作业区起，若由槽车送入工厂，可藉由输送至储槽经由管线送至化学供应房及清净室，若是桶装或瓶装则可藉由货车在码头区卸货，再由堆高机或手推(拉)车送至化学储存房或分送至化学供应房及清净室使用，使用后之废弃物转存至废液收集桶，再输送至废液槽或废液储存房储存。本安全基准之制定将化学品供应系统以区域安全设施分别考量其区域范围内相关之危害及设置之安全基本要求。依液体化学品供应系统流程架构(参考图三)，本安全基准内容划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等项目，再各别考量对人员、设备、物料环境等订定安全基准条文内容。桶装/瓶装货车槽车管线码头区储槽堆高机化学库房管线管线化学供应房管线手推(拉)车清净室管线废液收集桶手推(拉)车管线废液储存房废液槽图三 液体化学品供应系统流程架构图4.2 国内外数据汇整与草案制定汇整供应系统安全技术与SEMI安全基准，参考内容包括NFPA 318、FM Data Sheet 7-7、FM Data Sheet 7-29、SEMI S2-93、有机溶剂中毒预防规则、特定化学物质危害预防标准、危险物及有害物通识规则、锅炉及压力容器安全规则 、 NFPA 30 、Code Compliance for Advanced Technology Facilities 等等。依国内外数据汇整制定之原始草案内容及基本架构，如附件(二)所示，针对于此草案内容于八十七年八月十八日召开期中审查会议，并就审议结果重点修正如下：1、 部份名词或使用场所明确化，并加以说明或解释。2、 纳入委员议见，增加部份条文之内容，加强其条文功能的完整性，如手推车之安全规范增加手推车必须有煞车及固定装置。3、 起重动力装置之手推车的适用性。参考移动式起重机安全规则重新评估。4、 将区域划分更加明确细分，将储存(storage)区/分配输送(dispensing)房(化学库房/化学供应房)皆分开讨论并定订规范基准。5、 化学品供应系统之基准内容，分类顺序考虑对人员、环境、料或设备等层面之危害分类。后续草案完成说明会并修改内容，于八十七年十二月呈送台湾半导体业协会查及园区工安委员会安全基准小组审议，针对于此草案内容于八十七年十二月三十一日召开期末审查会议，重点内容如下：1、 本规范虽无母法之依据，仍取用之安全基准之名称，其后名称之修改由管理局统筹修改颁布。2、 本基准加注若有相关法令规章要求时，应依从该规定辨理之用语于第二条。3、 计划条文内容之参考资料，如条文出处、依据、相关数据及计算公式，提列于附件，将来做为执行者之参考。4、 条文中有关消防方面规范及用讈，参照相关消防法之规定无相冲突之处。5、 条文之用字遣辞严谨考量，并参照法规用辞。6、 请由科管局参酌颁布时解释本计划对新/旧厂之落实要求。4.3 实务分析与讨论安全基准建立之时，利用现场实务之作业观察与沟通分析，适时回馈，并将数据汇整，以修正本基准之考量面的完整性。执行过程中并召开相关之说明会三场。安全基准说明会参与人员共有100多人，与会名单如附件(四)所列。表二 半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准说明会时程表日期场次/时间讨 论 章 节9月4日(五)14:00至16:000.概述 (整体性)1.收货区/码头 (槽车/货车/堆高机)2.储存(storage)区 (化学库房)9月10日(四)14:00至16:003.分配输送(dispensing)房 (化学供应房)4.储槽5.储存柜/桶瓶容器/手拉(推)车9月17日(四)9:00至11:006.输送系统/管线7.清净室(cleanroom)/FAB.8.废液处理9.维护保养10.其它 (管理)地点:同业工会训练教室(科学园区科技三路1号)过程中，建立安全基准之时赴台积、德碁、合泰、华邦、旺宏、力晶、国联、元太等公司直接访谈及现场巡查，对目前各厂进行实务作业之了解与分析，对于说明会之内容，并详实记录其讨论之内容及各厂代表之意见。对于无法参与讨论或会场无法判定之部份条文，则由厂商使用书面回复意见进行讨论。本报告将会议记录及厂商之回复意见并附于后，详如附件(五) 化学品供应系统安全基准说明会记录及厂商回复意见。来自中国最大的资料库下载4.4 安全基准汇整与修正经由直接访谈、现场巡查及说明会研讨后，评估现况及未来之安全趋势，适当的修改安全基准内容，但同时也保留某些较严格的要求。大多数新建厂房的安全规范很多都超过本基准之要求，但对于老旧厂房则有较大的执行困难。附件(六)中，汇整已修正过之安全基准，并将各厂所有意见及各条文中所参考之规范并列于同一表内，详细内容请参考附件(六)化学品供应系统安全基准、说明、意见及参考数据汇整表。五、结论与建议5.1 安全基准架构化学品供应系统安全基准之基本架构，分成三章节，分述如下：第一章 基准总则：为化学品供应系统安全本基准之目的、适用范围及名词解释。第二章 区域安全设施：为本安全基准之主要内容，整个供应系统以区域性来划分，对各区域安全制定相关安全基准条文，区域分成：概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等。第三章 管理及检查：列示国内相关之管理及检查事项。5.2安全基准条文半导体厂与光电厂化学品供应系统安全基准内容如下：第一章 基准总则第一条本基准目的在建立化学品供应系统之安全基准之依据及准则，提供系统之新建、修改、变更使用、保养、管理、检查及稽核之安全规范，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品供应发生危害。第二条本规则适用于半导体厂及光电厂之化学品，仅含盖液体类化学品。若有相关法令规章要求时，应依从该规定辨理。第三条本基准内名词之义意如下：一、 危险物及有害物：依中央主管机关指定应标示之危险物及有害物。二、 危害性化学品：hazardous chemical，任何固体、液体或气体对健康、燃烧性或反应性有加重危害性者。三、 腐蚀性物质：任何物质若与活组织接触时会经由化学作用，造成严重的损坏，或在运载时会对其他的货品或设备造成实质上的损坏称之。四、 穿墙：pass-through，墙周围有通路可使化学品、产品、装备或组件由墙的一边传送到墙的另一边。五、 易燃液体：Flammable Liquids，常压下，液体闭杯闪火点小于38/100，且在38/100时，其蒸气压小于40psi/2.76bar。六、 可燃液体：Combustible Liquids，常压下，闭杯闪火点大于38/100之液体。七、 腐蚀性物质：任何物质若与活组织接触时会经由化学作用，造成严重的损坏，或在运载时会对其他的货品或设备造成实质上的损坏称之。来源于 中国最大的资料库下载八、 工作区：work station定义于清净室内的一个空间或一个单独的设备单元有使用危害性化学品。工作区可能包括连接储柜、排气设备、消防设备、气体或其它危害之侦测器、电器设备及其它科学组件。第四条本基准以区域划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理。第二章 区域安全设施第一节 概述第五条生产流程与正常保养中人员若可能存在化学品暴露，其暴露之化合物种类及暴露量，不可对人员造成危害。第六条设备中化学物质之使用开口应有警告标示。第七条雇主雇用劳工从事特别危害健康之作业时，应依”劳工健康管理规则”之规定，实施劳工健康管理。第八条处置特定化学物质，应备置足够之必要防护具(呼吸防护具、不浸透性防护衣、手套、鞋及眼镜)。并保持性能及清洁。第九条为防止火灾迅速漫延波及清净室，危害性化学品储存及分配输送房与清净室应分离，且需有火灾阻隔设计。一、对易燃性化学品，需有耐火2小时之火灾阻隔设计。二、对一般危害性化学品，需有耐火1小时之火灾阻隔设计。第十条危害性化学品之储存及分配输送房需有排水及防溢措施，并需设计有可供应20分钟以上之合适消防系统。第十一条为预防化学物质之腐蚀及泄漏，对设置具有腐蚀性物质之化学设备，其相接触部份：一、采用不易腐蚀之材质构筑或施以内衬。二、接合部份施以防漏。三、阀、旋塞或操作此等之开关、按钮等，应使用耐久材制造。四、频繁开启或拆卸之设备应为二重构造。第十二条为保护不慎接触危害化学物质之劳工，有处置危害物质，应设置洗眼、沐浴、漱口等设备。第十三条为预防易燃性液体溢流，必须有防止易燃性液体由零件或机台设备溢流之保护措施。如使用第二保护容器及溢流侦测。第十四条厂房内，不允许危害性化学品存在于逃生走道。第十五条危害化学物质泄漏，致有危及劳工之虞时：一、应立即使劳工避难。二、未确认无危害劳工前，应于明显易见处揭示非从事人员禁止进入之标示。三、应订定工作守则。四、应设抢救组织，并训练有关人员急救、避难知识。第十六条为防止劳工供输原料、材料及其它物料于设备过程中，因误操作致使危害性化学物质泄漏，应于劳工易见之处，标示该原料、材料及其它物料之种类、输送对象设备及其它必要事项。第十七条对危险物及有害物应予标示，并注明必要之安全卫生注意事项。依危险物及有害物通识规则施行。第十八条内有危害物质之管系，应分类并标示，或得挂牌或漆有规定识别颜色及记号替代。其管系之挂牌、识别颜色及记号，应依中国国家标准-9329管系识别规定办理。第二节 收货区/码头第十九条操作堆高机必须具有操作执照。第二十条槽车灌装时，不兼容性化学品应采用不同之灌装接头。第二十一条从事危害性化学物质之搬运或储存时，安全处置如下：一、为防止物质泄漏、溢出，应使用坚固之容器或确实包装。二、对危害性化学物质之保管，应规划固定之场所。三、用于搬运、储存之容器或包装材之处理，应采取不得致使该物质飞散之措施；其废弃物应堆置于固定场所。第二十二条为预防槽车码头区之化学品泄漏扩散，槽车码头应具防溢排液系统。第二十三条对装载有危害物质之运送车辆，应予标示危害物质名称及图示，并随车携带有物质安全数据表。第二十四条堆高机应实施每日作业前检点、每月及每年定期检查，每月及每年定期检查记录保存三年。第三节 储存房/化学库房第二十五条为预防化学品溢流外泄污染环境，对危害性化学品之储存，应有局部排液系统，或有足量设计的备用容器。第二十六条为预防危害性化学品蒸气的蓄积，对危害性化学品之储存房，应设机械通风排气。一、机械排气通风量至少需1楼面积CFM。楼面积单位ft2，通风量单位CFM=ft3/min。二、排气口及进气口之位置设计，应能预防蒸气的蓄积。三、机械通风排气系统应与自动紧急备用电源供应系统连接。第二十七条储存区应标示化学品种类。第二十八条可燃性及腐蚀性液体之储存应采用无穿墙之储藏柜或储存房。第四节 储槽第二十九条对重要储槽之压力及液位，为执行双重检查，应进行储槽现场液位抄表计划或其它同效之计划。第三十条为预防化学品溢流外泄污染环境，防止人员接触危害，对危害性化学品之储存，应有局部排液系统，或房内有足量设计的备用容器。第三十一条为指示储槽化学品储存量及预防化学品溢流，储槽应设有液位计，现场需有液位指示及液位警报，或相同功能之设计。第三十二条对于储放危害性物质，其液体合计总体积大于100公升之场所，泄漏时：一、应备有能迅速告知相关人员之警报器具。二、除去危害之必要药剂、器具等设施。来源于 中国最大的资料库下载三、禁止非从事人员进入，并标示于明显易见之处。第三十三条采用容器或储槽属于压力容器者，应依锅炉及压力容器安全规则之规定办理进行其构造、施工方法、材料选用及检查方法，并取得合格证明书。第三十四条对储存危害性物质设备，因改造、修理或清扫等而拆卸该设备之作业或必须进入内部作业时，为预防配管不致流入危害性物质，应将阀、旋塞等设计为二重关闭或设置盲板等。第五节 分配输送房第三十五条为预防有机溶剂蒸气危害劳工，对于室内作业场所，从事有机溶剂或其混合物作业时，应设置密闭设备或局部排气装置。第三十六条为预防化学品溢流外泄污染环境，防止人员接触危害，对危害性化学品之分配输送房，应有局部排液系统，或房内有足量设计的备用容器。第三十七条为预防危害性化学品蒸气的蓄积，对危害性化学品之分配输送房，应设机械通风排气。一、机械排气通风量至少需1楼面积CFM。楼面积单位ft2，CFM=ft3/min。二、排气口及进气口之位置设计，应能预防蒸气的蓄积。三、机械通风系统应与自动紧急备用电源供应系统连接。第三十八条为预防危害性化学品意外混合造成危害：一、危害性化学品应存放在可关闭的的储存柜或工作区(cabinets and work station)。二、不兼容性化学品不能储存在同一个储存柜。三、酸液和可燃性液体不应储存在相同之柜内。第三十九条为控制可燃性及腐蚀性液体储存量，分配输送房之暂时储存量应限制在可维持生产之最小供应需求量，且不超过8小时之供应量。第六节 清净室第四十条清净室内运输可燃性液体，如果使用塑料容器，必须有防止溢出之保护设计。第四十一条有机溶剂作业应设置密闭设备、局部排气或整体换气装置第四十二条对可燃性及腐蚀性液体于储存区及清净室之间的输送，为避免人员携带发生危害，应使用运输手推车。进入清净室内之手推车应遵守以下相关安全指引：一、必须有可关闭设计或防止倾倒之功能设计二、应有预防溢流之能力设计。三、防溢容量需大于1加仑(大于单一最大容器之容量)。四、运送使用之单一最大容器应小于1加仑。五、运送总量不可超过25加仑。六、手推车必须使用不燃性材质，如不锈钢。七、不兼容物不能使用同一辆化学手推车运输。八、手推车须有防止滑动之煞车装置。第四十三条在清净室内使用的危害性化学品，应依据操作及保养的需求，使用量需随机台或每日供应之需求加以限量并标示。第四十四条清净室内应避免储存可燃性及腐蚀性液体。若必须储存可燃性及腐蚀性液体，必须储放在专用之安全柜内。第四十五条清净室内使用可燃性液体，应使用容量小于1加仑(3.8公升)之不锈钢安全罐分装至小容器。若使用非金属材质容器应有预防破裂溢流之保护。第四十六条清净室内运输可燃性液体应避免使用玻璃容器储存。当有高纯度之需求时，可允许采用玻璃，但必须有预防破裂溢流之保护。第四十七条塑料制之湿式工作台不应储放任何非使用中之化学品。第四十八条在清净室内，可燃性废液的收集不应久置于机台下方。第七节 输送系统及管线第四十九条化学品供应管线系统应设有泄漏侦测系统。第五十条易燃性液体及闪火点在60以下之可燃性液体不可藉由重力流动方式，以管线输送分配化学品。第五十一条对易燃性及可燃性液体之分配输送组件应使用认可的型式。第五十二条使用加压系统，系统中所有材质必须与输送之化学品有兼容性。第五十三条加压系统应具备以下安全要点：一、为防止着火时压力急遽上升，需有自动减压排放阀及手动阀，排放至安全区域。二、在使用点(末端)有手动关断阀。三、只能使用惰性气体加压。第五十四条对易燃性及可燃性液体之加压分送系统，系统容量小于10加仑，使用的加压惰性气体压力应小于15psig。第五十五条对易燃性及可燃性液体之加压分配输送系统，必须进行压力测试(测试条件：操作压力之150%，2小时)，不能有泄漏或压力的损失。第五十六条易燃性及可燃性液体之加压分配输送系统，为避免管件破裂应使用金属材质或具有高抗压之材质。第五十七条对易燃性及可燃性液体之整体分配输送系统应具备以下安全设施及功能：一、超流保护。二、防止泄漏之第二层保护及泄漏侦测系统。三、在使用端及分流点有手动关断阀。四、液位监测及关断。五、自动分流输送的压力计。第五十八条为防止因泄漏造成人员暴露危害，在系统中任何组件内含有压力之危害性物质，其机械式的接头必须密封。第五十九条为防止动力源异常导致化学品泄漏，危害性化学品设备附属之动力源，应置备可迅速使用之备用动力源。第六十条为防止误操作，对化学设备之阀、旋塞或操作此等之开关、按钮及动力源等，应明显标示开关方向。不使用者应予加锁、铅封或施以同效措施，但供紧急使用者，不在此限。第八节 废液处理第六十一条为避免兼容性问题产生危害：一、废液必须使用兼容性材质之收集容器。二、对不兼容性物质必须提供独立个别的排放系统。三、不兼容废液不能使用同一辆化学手推车运输。第六十二条易燃性液体必须使用合格之容器收集。第六十三条设置在次清净室(subfab)之废液收集柜应有保护系统，准则如下：一、收集桶应设液位计，并有高液位指示、警报。二、储存桶须有防止物质泄漏、溢出之第二道保护计设、容器或其它防制措施。三、当可燃性废液容器设置于密闭化学柜中或其它密闭空间时，应提供火灾防护，或FMRC认可之气体抑制系统。四、在机台及经常注视之明显位置，应有废液收集之泄漏侦测指示及警报。第九节 储存柜/桶瓶容器/手推车/其它第六十四条为预防危害性化学品意外混合造成危害：一、储存柜结构需采用18gauge以上厚度之钢材。来源于 中国最大的资料库下载(18gauge=0.050inch=1.27mm)二、储存柜之门应有自动关闭之设计。第六十五条储存易燃性液体应使用认可之安全容器。但当有高纯度之需求时，可允许采用玻璃或塑料容器，每个容器容量限制1加仑。第六十六条为防止危害性化学品于运输过程中发生危害，应使用符合第六十七条安全功能设计或其它认可之化学手推车运输传送。第六十七条从事运输或装盛危险性化学品之手推车安全指引：一、必须有可关闭设计或防止倾倒之功能设计二、应有预防溢流之能力设计三、运输之容器，最大容量为5加仑(19公升)四、手推车总装载容量不可超过55加仑(208公升)五、不兼容物不能使用同一辆化学手推车运输六、手推车须有防止滑动之煞车装置七、手推车不得超过额定荷重第六十八条为预防危害性化学品意外混合造成危害：一、危害性化学品应存放在可关闭的储存柜或工作区(cabinets and work station)。二、不兼容性化学品不能储存在同一个储存柜。三、酸液和可燃性液体不应储存在相同之柜内。第三章 管理及检查第六十九条处置或使用危害物之劳工，应施以必要之安全卫生教育训练。第七十条对设置之化学设备或附属设备，每二年定期施行自动检查一次以上，记录保存三年。第七十一条对压力容器，应每年实施定期检查及清扫一次以上，记录保存三年。第七十二条对局部排气装置每年应定期实施自动检查一次以上，发现异常时应即采必要措施。第七十三条每周应对有机作业场所检点一次以上。有中毒之虑时，应即采必要措施。第七十四条对中央主管机关指定之作业场所，应实施作业环境测定。5.3 讨论及建议1.本安全基准之部分内容皆有目前半导体厂或光电厂未能完全达到的安全条件，对于后续各厂之应用可将其纳入安全目标来规划，落实执行并持续改进，以达安全生产、品质控制之完美境界。2.安全基准属管理局管理办法之一，母法之源起委请管理局代为说明，另后续颁布时一并解释此基准对新/旧厂落实度要求之时程规划。在此建议可于新厂建厂规划中要求新厂落实本安全基准，旧厂则定五年改善完成日期，可用改善积分方式制定鼓励奖励办法，以提升安全基准之自动落实度。3.业者建议此基准颁布实施后，能先执行一个园区各厂落实度基线评鉴计划，以供为园区颁布实施此基准后之绩效追踪考核。六、参考文献1、 William R. Acorn, Co