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外文翻译--基于气浮支承和直线电机驱动技术的超精密气浮定位工作平台.doc外文翻译--基于气浮支承和直线电机驱动技术的超精密气浮定位工作平台.doc

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附录附录一外文文献ANULTRAPRECISIONPOSITIONINGSTAGEISANEWTYPEOFPRECISIONMOTIONMECHANISM,WHICHISBASEDONGASLUBRICATEDBEARINGANDLINEARMOTORDRIVINGTHESTAGECANOVERCOMETHESHORTAGESRESULTFROMTHETRADITIONALPOSITIONINGSTAGE,SUCHASMORETRANSMISSIONS,BIGGERLAGOFRESPONSEANDEXISTEDNONLINEARFRICTIONBETWEENMOVINGPARTSANDSTATICONESTHESTAGECANACHIEVETHENANOMETERPOSITIONINGACCURACYANDRAPIDMOVING,ANDHASBEENWIDELYUSEDINSEMICONDUCTORLITHOGRAPHY,PRECISIONMEASUREMENTANDBIOMEDICALFIELDWHENTHEPOSITIONINGACCURACYAPPROACHESTHETRADITIONMANUFACTURINGLIMITS,TOMEETWITHTHEMORESTABILITYANDFASTERRESPONSEOFTHESTAGEHAVESOMEDIFFICULTYTHEFACTORS,FOREXAMPLETHESTIFFNESSESOFTHEGASLUBRICATEDBEARINGS,THELOCATIONOFTHEBEARINGSANDTHECONFIGURATIONOFSTAGE,CANINFLUENCETHEDYNAMICSCHARACTERISTICOFTHESTAGE,OBVIOUSLYTHEFACTORSHOWTOAFFECTTHEDYNAMICSCHARACTERISTICOFTHESTAGEISSTUDIEDINTHEDISSERTATIONANDCARRIEDOUTINTOOPTIMIZATIONCORRESPONDINGLYTHEPERFORMANCEHASBEENAPPLIEDINTHEDEVELOPMENTOF100NMLITHOGRAPHYSUCCESSFULLYTHESTRUCTURALDYNAMICSANDTHEFINITEELE
编号：201311171601487074    类型：共享资源    大小：46.50KB    格式：DOC    上传时间：2013-11-17
  
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