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文档简介

深圳爱升精密电路科技有限公司SHENZHENAISHENGPRECISIONCIRCUITSCIENTECHCO,LTD作业指导书文件编号ASWI制订日期2008年5月25日版本A页码第1页,共22页文件名称孔化一次铜作业规范页次版本修改内容修改日期共22页A新制订2008525修改记录序号分发部门及职位会签分发份数接收签名回收份数回收签名回收日期1工艺工程部经理12生产部经理13品质部经理14电镀主管1受控文件分发记录受控文件回收记录签署栏批准徐国才签名日期审核夏训文签名日期编制袁斌签名日期10目的建立详细的DESMEARPTH一次铜作业规范,籍以提升产品的良品率,规范员工操作,此文件同时也是生产操作的培训教材。20适用范围本规范适用于PCB事业部孔化一次铜操作,并供相关人员参考。30职责31生产部职责311操作员工负责按工艺提供的参数制造符合要求的产品并作相关的记录,领班对此进行监督和审核。312领班負责对员工进行生产操作的培訓及考核。313操作员工负责每日对设备进行清洁与保养工作32品质部职责品质部负责对生产部的操作、生产参数、产品品质、设备保养、环境检测稽核与监控,保证产品符合客户要求。33工艺部职责331评估压合的生产能力并规范化。332制定压合作业指导书,对生产部进行技术指导,并提供技术支持。34维修部职责负责设备周保养及月度保养及设备的维护,40操作流程41生产作业主流程DESMEARPTH整板电铜(多层板需在DESMEAR前除溢胶)42DESMEAR工序流程图磨板上架膨松水洗水洗除胶渣水洗水洗中和水洗水洗磨板沉铜工序43沉铜工序流程图磨板塞胶粒上板除油水洗热水洗微蚀水洗酸洗水洗水洗预浸活化水洗水洗加速水洗水洗沉铜水洗水洗下板电一次铜44整板电铜工序流程图沉铜板上挂浸酸电镀铜下挂拔胶粒磨板下工序50具体作业说明一、除溢胶作业规范10工艺流程上板除油两级水洗微蚀镀铜两级水洗镀锡两级水洗两级水洗蚀刻线抽查NGOK上板浓硫酸浸泡20药水缸开缸及控制要求21缸液使用浓度为98以上的浓硫酸,开缸量为40L。22槽液温度控制在2045,测量频次为1次/1小时当槽液温度高于45时,须停止生产。23除溢胶时间控制30120S,插板时须分格插放滴液时间1030S。24生产板在槽液浸泡过程中必须进行手动摇摆,以加强处理效果。25水洗时间3060S,滴液时间1030S。30开缸及换缸要求31配缸及生产过程中不得将水带入缸槽中。32检查液缸已确无渗漏及清洗干净,并将缸内水份用布擦干缓慢将浓硫酸倒入缸中。33每生产7080平方米板或硫酸浓度小于92时须重新换缸一次。40生产前准备41检查缸槽,确认液位是否在要求范围。42清理干净工作区域周围的水渍,检查防泄漏槽是否正常工作。43检查待生产板板面是否干燥,如有残留水份,须进行烘干。50注意事项51上挂篮时,镙丝拧紧,防松掉板且不允许有叠板现象。52上挂篮时,须自检板面状况如有异常,须反馈给相关人员。53每班更换并清洗水洗缸。54浓硫酸是强腐蚀性液体,操作过程中避免身体接触,请小心使用。55使用时请戴胶手套,安全眼镜,如不慎药液沾到皮肤,先用干布擦拭干净,再大量清水冲洗,严重者须就近就医。56生产完后,须以防护盖盖好液缸,以防吸潮或溅水入槽。60返工处理61如生产板磨板后检查发现板面除胶不净,严重板可适当进行返处理3060S或以手工打磨,轻微板在DESMEAR加强处理。62返处理板处理前须清洗烘干板面。70相关表单除溢胶生产记录表水洗磨板下工序检查OK返工NG二、宏德磨板机作业规范10操作规程11操作流程进板加压水洗酸洗溢流水洗溢流水洗上刷一(320)下刷一(320)上刷二(500)下刷二(500)上刷三(500)下刷三(500)加压水洗超声波清洗高压水洗一高压水洗二DI水洗冷风吹干强风吹干热风吹干冷却出板12开机顺序121开启设备总电源122开启设备控制电源,设备进入自检状态,自检完毕后进入待机状态123根据要求选择所需要开启的功能,使该触摸模块进入闪烁状态白底红字,具体功能名细如下图124功能选择完毕后点击界面上的“启动”按钮,设备自动启动,启动后的功能键程红底白字状态表示正常运行,如出现异常则呈现闪烁状态红底白字,设备自动报警。需排除故障或通知维修部处理。13生产前检查131检查所有药水槽及水洗槽液位是否达到要求液位。H2SO4浓度控制35。132检查各喷嘴是否有堵塞现象,若有需及时疏通。且调整喷淋液面与板运动方向垂直。133检查各传动轮,传动杆、输送轮运行是否平稳,吸水辘是否湿润干净。摇摆是否打开。134检查水洗缸是否干净,各过滤网是否完好无堵塞现象,否则须更换或清理干净。135烘干温度设置在(8090)范围内,传送速度设定在24米/分钟。136每班生产前及磨不同厚度的板时,需根据磨痕宽度来调整磨板压力,磨痕宽度控制在1020MM,并进行水膜破膜实验,水膜破膜时间须大于15S,并作好记录合格后方可正常生产。137磨痕测试方法将磨刷泵关掉打开输送和水洗,将板传送至磨刷轮上/下时(板在上磨刷轮下面,在下磨刷轮上面),关掉输送,打开磨刷泵磨刷10SEC,关掉磨刷泵,打开传动待板出来后用刻度尺测量磨痕宽度须在1020MM,且同一条磨痕宽窄处相差在13MM内。138水膜破裂试验磨痕合格后,放一块板正常过磨刷,从烘干段取出,全浸入清水中轻轻摆动46秒,取出斜置45度左右,用秒表计时,水膜破裂时间大于15秒即合格,若两次都不满足要求,重做磨痕实验,合格后再做水膜实验;14生产控制141放板时须左右交叉放板,且板与板之间间隔5CM,避免叠板。142放、接板一律戴好干净的防静电手套,且轻拿轻放,防止划伤。143磨刷开启后,须保证喷淋水喷到磨刷上,严禁无水磨刷。144生产过程中须对吸水辘进行检查,保证吸水辘充分润湿。145沉铜前磨板的速度为235米分钟,退锡板和沉铜加厚板的速度为34米分钟。146高压水洗压力必须大于85KGFCM2。147磨板时磨刷压力表显示2530A之间,全板电镀后的板磨板时只开500目的磨刷,同时松开320目的磨刷并关闭,否则金板图电后金面粗糙。148磨刷第一道为320目,第二道和第三道为500目的磨刷。149沉铜前磨板和全板电镀后磨板都必须开启超声波清洗和强风/热风/冷却段。15关机程序151待所有生产板均走出设备后点击界面上的“全停后回菜单”按钮,设备将自动关机152也可以根据生产情况设计“无板停机”功能,一般设计为5分钟,设备自动记录最后一片板进入机器后达到时间自动关机;153在使用“无板停机”功能关机后如果需要再次开机生产相同的板,只需在入板处放板后设备将自动启动154设备自动停机后切断控制电源和机身电源后即完成关机20工艺参数表名称硫酸浓度磨痕宽度水膜破裂时间烘干温度传送速度超声波功率数值范围351020MM15SEC8090OC24米/分钟30KHZ30设备保养31每班保养311擦拭并清洁机器外部及外盖,清除脏点污物;312更换循环水洗及酸洗槽,并清洗缸底及缸壁脏物及过滤网313用洗洁精清洗吸水海绵滚轮及过滤网;314用酒精和无尘布清洁烘干段至无灰尘和杂物315每2小时对吸水辘清洁一次,并保持湿润干净32每周保养321疏通喷嘴,检查过滤系统并清洗过滤网。322清洁风干烘干系统风刀,清洁风机的空气滤清器及输送滚轮;323检查所有压力表,温度表并对不合格的进行维修或更换。33每月保养331清洗酸洗槽、水洗槽,方法如下A排掉各水洗及酸洗缸溶液;B将各缸补充水位至2/3液位;C按5的比例在各缸中加入NAOH;D补加水至标准液位后开机循环1H后排掉废液;E加入清水循环15MIN后排掉废液;F将各缸补充水位至2/3液位;G按5的比例在各缸中加入硫酸;H补加水至标准液位后开机循环1H后排掉废液;I加入清水循环15MIN后排掉废液并检查喷咀有无堵塞现象,并及时疏通;J按开缸方法配置酸洗槽或水洗槽即可进行生产。332检查传动系统,更换损坏零件并加润滑油;333检查过滤系统,更换过滤损坏部件;334检查加热冷却系统是否正常,电磁阀能否开闭335检查控制线路是否正常336检查马达运转是否平衡,是否有噪声;337磨刷整平并校正磨刷水平度。338磨刷1/2是320刷,磨刷3/4/5/6是500刷磨痕宽度达不到要求或磨针长度低于8MM时须更换磨刷。40注意事项41沉铜前磨板时放板、接板必须戴干净的防静电手套,严禁裸手拿板,板电后磨洗板时放板戴手指套,接板戴干净的防静电手套。42放板前需区分横直料、生产料号,放板时板与板间隔5CM,并填写生产记录表;43放板前小心擦花,检查板两面发现来料问题要挑出作特别处理;44严重手印胶渍板须打磨OK后再磨板;45磨板时不可无喷淋磨板;46每天交接班时对机器进行日常保养;47磨好的板须在1H内进行沉铜,,否则全检板面如有氧化须返工重磨;48维持机器和地面清洁,无水渍、脏物等,相关物品摆放整齐;49保养加NAOH时应先用水溶解后再加入;410配制药水添加硫酸时须戴胶手套,必要时戴防毒面具。411烘干段区域温度较高,不能裸手触摸或清理,防止烫伤。50返工程序51当板面有水渍未干,氧化,挑出来进行返磨即可。52板面有胶渍附着时,采用干净的无尘布沾上酒精擦干净后返磨。53板面出现严重的划伤,凹坑,铜粒,采用1200以上的砂纸打磨平整后,进行返磨。60记录表格61磨板机保养表62磨痕测试/水膜测试记录表63磨板机自检表70附件磨刷整刷方法71通过手柄把磨刷调至最小;72把整刷板放于输送轮上,开启“输送”73待整刷板走至磨刷下方中央时,关闭“输送”,打开“磨刷”及“磨刷喷淋”;74通过手柄慢慢调整磨刷,使其磨刷电流达到正常做板时的范围;75电流达到后,静磨2050分钟,关闭“磨刷”及“磨刷喷淋”,打开“输送”送出整刷板;用24英寸长的基板做磨痕试验,检验磨痕是否符合要求,否则重复上述步骤,重新整刷直至合格为止;若连续三次都无法达到要求,则通知维修部做设备检查。三、DESMEAR作业规范10生产操作11生产操作流程磨板上架膨松水洗水洗除胶渣水洗水洗中和水洗水洗磨板沉铜工序12操作前检查121检查各药水缸液位是否正常122检查各水洗缸水位是否正常,水质是否清澈干净124将各药水缸取样送化验室分析确认,并根据化验结果进行药水添加调整125开启总电源,及各药水缸电源并开启各药水缸加热开关,将温度升到设定范围126开启抽气扇及鼓风机电源,并检查各缸打气是否正常127使用温度计测量槽内温度与显示温度是否一致,异常时通知维修调整128检查过滤循环泵工作是否正常,摇摆、震动工作是否正常13生产作业131检查来料铜面是否磨刷,铜面是否干净无异物,无胶迹,无色差平整等相关问题,若有异常时则知会上工序进行处理132将所需除胶渣的板按每格1PNL均匀插在除胶渣线专用钛蓝中133按工艺提供的生产流程及参数对每个缸按顺序浸泡134除胶完成后立即磨板并烘干14收拉作业141当生产板生产完毕后关闭所有加热开关及过滤、记时开关142关闭设备水、电、气开关及总开关15返工作业如物理实验切片分析除胶异常,继续做板之前检查以下项目A、来料是否有问题B、药水化验是否正常,温度是否正常。C、药水的使用是否过期。D、各药水颜色是否正常。E、检查做板参数是否正常。如都正常则按以下程序返工151孔内胶渣未除干净,如是塞孔,则用小于孔径的钻咀手工捅,捅穿后则按以下程序返工高压水洗烘干上架膨松缸6分钟双水洗除胶渣(15分钟)双水洗中和缸(3分钟)双水洗磨板上架PTH16各缸药水开缸方法161膨松缸(100L)1611检查液缸已确无渗漏及清洗干净,过滤泵正常。1612加入50升DI水。1613边搅拌边加入YC10140L1614补加DI水至100L,搅拌均匀,加热至操作温度70。162除胶渣缸(100L)1621检查液缸已确认无渗漏及清洗干净。1622加入50升DI水。1623加入NAOH4KG,搅拌至溶解。1624加入高锰酸钾6KG,搅拌至溶解。1625补加DI水至100L,搅拌均匀,加热至操作温度80。163中和缸(100L)1631检查液缸已确无渗漏及清洗干净。1632加入50LDI水1633边搅拌边依次加入YC10310L;CP级H2SO45L。1634加入DI水至100L,搅拌均匀,加热至操作温度40。20各药水缸开缸及控制范围21各缸药水控制浓度及添加频率工序药水名称开缸含量控制范围添加频率换槽标准膨松YC1014040580ML/M2每45MTO更换或20002500M2更换二级水洗溢流量510L/MIN每班更换KMNO460G/L605G/L除胶渣NAOH40G/L405G/L再生剂SPS开缸时不需要添加生产后按50M2加800GSPS800GKMNO4750GNAOH正常生产50006000M2更换或KMNO4的总补充量达到建浴用量的15倍时更换二级水洗溢流量510L/MIN每班更换YC103100ML/L10010ML/L分析添加中和H2SO421N1922N分析添加当YC103原液添加量达到开缸量4倍时换缸二级水洗溢流量510L/MIN每班更换22各缸其他控制参数及范围工序操作温度处理时间滴液时间其他辅助设施膨松70568MIN1525SEC摇摆、震动、加热、循环水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气除胶渣8051218MIN1525SEC摇摆、震动、加热、打气水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气中和40535MIN1525SEC摇摆、震动水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气水洗常温3060SEC515SEC摇摆、震动、打气30操作注意事项31上挂篮时,螺丝拧紧,防振松掉板。32上挂篮时,须自检板面清洁状况及氧化程度,检查是否塞孔。如有异常,须反馈给工艺部,品质部33上挂篮时,戴手套操作。每一格只插一张板,不允许叠板。34膨松剂是腐蚀性液体,请避免身体直接接触,请小心使用。35使用时请使用手套,安全眼镜,万一药液沾到眼睛时,请以清水冲洗15分钟以上,严重者须至眼科诊所诊断。36产品贮存请放置阴凉处,防止日晒以防止产品变质。37每班更换并清洗各水洗缸。38每班生产前须做除胶速率测试,只有除胶速率合格才可批量生产。39停产超过四小时再启动时,通知化验室分析各药水成份,合格后才可批量生产。310每挂篮出药水缸,须滴水1525秒。311孔径小于03MM的板,须加强手动摇摆。312下架时防止板与挂篮架碰撞,以免擦花板面。313工艺部每班做一次除胶渣速率。方法如下A取切好的FR4無銅基材板5CM5CM(双面板蚀去铜箔,板厚16MM),钻直径08MM的孔一个,用砂纸打磨好四周。B清洗干净,放入恆溫烘箱中以1205的温度烘烤60MIN;C取出放入干燥器内冷卻至室溫,稱重记为G1電子稱精確到00001G;D用細銅絲悬挂,按正常DESMEAR流程走完全程。E清洗干净,放入恆溫烘箱中以1205的温度烘烤60MIN;F取出放入干燥器冷卻至室溫,稱重记为2(電子稱精確到00001G);E計算G1G21000除胶速率MG/CM22SS为基板面积(长CM宽CM)F除胶速率控制標準基材FR4015MG/CM2除胶速率MG/CM2035MG/CM2(以中值作为控制标准)40表单41物料添加记录表42DESMEAR线自检表43DESMEAR线保养表44化学分折报告单四、沉铜作业规范10生产操作流程11工艺流程磨板塞胶粒上板除油水洗热水洗微蚀水洗酸洗水洗水洗预浸活化水洗水洗加速水洗水洗沉铜水洗水洗下板电一次铜12工艺说明121磨板去除孔壁披锋,毛刺122除油采用碱性除油剂,去除板面孔壁油污、粉尘等,此外还有整孔的功能。123微蚀采用硫酸过硫酸钠系列,去除氧化层及基材表层12UM厚的铜以及其上吸附的除油剂使基材铜表面粗化,增强沉铜结合力。124预浸活化前预浸、保持活化液的稳定,避免水及杂质离子带入活化缸,使活化缸污染。125活化在孔壁吸附上一层胶体钯,形成催化中心。126加速去除钯胶体周围的胶体离子,使金属钯显露,在铜沉积时起催化作用。127沉铜提拱沉铜的主体溶液,使活化了的通孔表面沉积一层铜金属层。13生产前准备131每次启动前操作员都要对整条生产线进行巡查、发现问题及时处理。132确认缸壁,管道及各类泵阀没有任何泄漏。133确认进入系统的水、气符合要求。134开机前检查轨道上有没有阻碍物,飞巴座是否松动,紧急停止按钮是否松开。135检查各药水缸液位是否正常136检查各水洗缸水位是否正常,水质是否清澈干净137将各药水缸取样送化验室分析确认,并根据化验结果进行药水添加调整138开启总电源,及各控制面板电源并开启各缸加热开关,将温度升到设定范围139开启抽气扇及鼓风机电源,并检查各缸打气是否正常1310使用温度计测量槽内温度与显示温度是否一致,异常时通知维修调整14开机步骤141将所有泵的开关置于“开”142启动生产线的进水阀、排水阀、压缩空气阀143开启设备电源144开启控制电源145选择运行程式,并进行启动,设备进入自动运行状态15生产操作151将待沉铜板插架,一格一张板,装好架后严禁有板重叠。规定板间隔0812CM152装好架后,按生产顺序放到上料架,由吊车自动取料。153装生产板前必须先装两框拖缸板放入自动线中,使沉铜线药水活性提升到最佳状态154生产过程注意检查是否有板重叠和松动及掉板。155为保证除油后水洗充分,在除油后第二级水洗缸加开热水洗,温度控制在50700C156物理试验室分析背光,背光级数大于8级判为合格,沉铜线开拉时由操作员送板到物理试验室分析背光,合格后才可批量生产,正常生产时每隔2小时由操作员送板到物理试验室分析背光一次,如有异常,及时通知工艺部处理,并将不良板隔离,标识,待返工处理。157下料后放在13H2SO4缸中待镀加厚一次铜。16关机步骤161关闭电源开关。162关闭控制柜上的泵、吹风机和其辅助设备的控制开关。163关闭线上所有进水(排水)阀门、确认无泄漏。164关闭加热,然后关闭循环。缸中无水、无液时关闭加热和循环。165沉铜缸保持打气和循环,不能关闭。17沉铜缸倒缸步骤171倒缸频率连续生产三天或不连续生产一周,缸壁有明显铜粉时,需要进行倒缸处理。172将沉铜缸液过滤到储备缸。173确保储备缸中已经开启打气及循环。174在原沉铜缸加水至半缸慢慢加入工业硫酸9L慢慢加入工业双氧水15L175待缸壁的铜完全消失,将洗缸水排放干净。176以DI水注满清洗的沉铜缸,开启打气与循环、浸洗30分钟放走。177将沉铜液从储备缸中抽至已清洗好的沉铜缸,通知化验室分析调整各缸药水浓度,OK后即可启动生产。20工艺控制及工艺参数(见附表)21药水浓度控制工序药水名称开缸含量控制范围添加频率换槽标准除油CD12515013017N每生产100M2的板补加CD12515L,CU21G/L时更换或生产600012000M2时每班化验分析调整一次。更换二级水洗溢流510L/MIN每班更换一次SPS80G/L8020G/L按3KG/50M2补加,每班化验分析调整一次。微蚀H2SO42523按250ML/50M2补加,每班化验分析调整一次CU225G/L时更换水洗溢流510L/MIN每班更换一次酸洗H2SO4546化验分析添加每天更换一次二级水洗溢流510L/MIN每班更换一次HCL50509N每班化验分析添加预浸PD135220G/LSG11161142每生产100M2的板补加PD13525KG,每班化验分析调整一次。CU21G/L或生产30006000M2时更换HCL50509N每班化验分析添加PD135200G/LSG11161142每生产100M2的板补加PD13525KG,每班化验分析调整一次。AT145252306L/100M2活化SNCL285G/L512G/L化验分析添加CU22G/L或生产150000200000M2时更换二级水洗溢流510L/MIN每班更换一次加速AC155150510N每生产100M2的板补加AC15518L,每班化验分析调整一次。CU21G/L时更换或生产30009000M2时更换或药水浑浊时更换二级水洗溢流510L/MIN每班更换一次CU165M8CU21525G/LCU165A8NAOH912G/L沉铜CU165B10HCHO37G/L每生产56M2添加CU165A、CU165B各1升,每班化验分析调整二次当槽液不稳定倒缸后还有铜粉析出时或背光级数不合格时以及放假超过三天以上时更换二级水洗溢流510L/MIN每班更换二次22其他控制参数控制工序操作温度处理时间滴液时间其他辅助设施除油655360420SEC36SEC超声波震动、摇摆、循环过滤、震动水洗常温60180SEC36SEC打气、摇摆水洗507060180SEC36SEC打气、摇摆、加热微蚀常温6090SEC36SEC打气、摇摆水洗常温60180SEC36SEC打气、摇摆酸洗常温6090SEC36SEC打气、摇摆水洗常温60180SEC36SEC打气、摇摆、溢流水洗常温60180SEC36SEC打气、摇摆、溢流预浸常温60120SEC36SEC摇摆、循环过滤活化3045300360SEC36SEC摇摆、循环过滤、加热水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流加速常温180300SEC36SEC摇摆、循环过滤水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流沉铜常温9001080SEC36SEC打气、摇摆、震动、循环过滤水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流水洗常温60180SEC36SEC摇摆、溢流30每日保养31保持整条线清洁32观察天车运行是否平稳,天车轨道上是否有障碍物或污垢,有则清除或清洁。33泵和电机是否发出不正常的杂音,如有则通知维修部维修。34认真检查管道、泵浦、过滤是否泄漏,如有则通知维修部维修。35观察天车组件、震动马达有否松动,打气是否正常,如异常则通知维修部维修。36水洗缸更换时须清洁缸底和缸壁,保持清洁无杂物。40注意事项41注意操作安全,防止天车碰撞。42上挂篮时,镙丝拧紧,防振松掉板。43上挂篮时,戴手套操作。每一格只上一张板,不允许叠板。44药水缸的液位必须比水洗缸的液位低45非授权人员禁止操作控制柜。46上架时,应确保板间间距,不能重叠,以免漏沉。47如板小无法插架时可使用铁氟龙丝穿板面的NPTH孔,并用钻孔胶粒将板与板之间隔开防止漏沉。48微蚀时间根据微蚀速率决定,控制在12UM,粗化后表面应为粉红色。49当生产中出现异常时,所有板必须转入水洗缸存放。410若药水不慎入眼内,必须立即使用大量清水冲洗,并立即到医院处理。411若药水不慎入口腔内,应立即洗胃并立即到医院急救。412操作时须戴胶手套,防止酸性/碱性药水对皮肤造成伤害。五、板电铜作业规范10生产操作流程11工艺流程沉铜板加厚沉铜板上挂浸酸电镀铜下挂磨板抽检OKNG下工序拔胶粒部分产品塞胶粒部分产品12工艺说明121浸酸清除板面氧化,提高板面与镀铜层的结合力;122电镀铜通过电解方法,加厚板面及孔内铜厚,防止后工序生产过程中孔内沉薄铜位置被咬蚀形成开路。13生产前准备131每次启动前操作员都要对整条生产线进行巡查、发现问题及时处理。132确认缸壁,管道及各类泵阀没有任何泄漏。133确认进入系统的水、气符合要求。134开机前检查阳极和阴极杆是否清洁干净,线路接点有无松动,导电性能是否良好。135检查各药水缸液位是否正常136检查各水洗缸水位是否正常,水质是否清澈干净137将各药水缸取样送化验室分析确认,并根据化验结果进行药水添加调整138开启总电源,及各缸的电镀电源,过滤开关并开启各缸的温控开关,将温度调整到设定范围139开启抽气扇及鼓风机电源,并检查各缸打气是否正常1310使用温度计测量槽内温度与显示温度是否一致,异常时通知维修调整14开机步骤141启动生产线的进水阀、排水阀、压缩空气阀142开启各缸的总电源143开启各缸的电镀电源,将电流调整为零144开启过滤开关,将开关置于“开”的位置145开启温控开关,将开关置于“开”的位置15生产操作151将已沉铜未电镀的板从浸酸缸中取出,装在夹棍上并锁紧螺丝,注意夹棍夹板时取板及夹板只能双手拿板边,不允许手接触板内,若批量卡上规定使用双夹棍生产时必须使用双夹棍生产;152装好夹棍后将夹棍及板放入酸浸缸中除去板面的氧化物;153将夹棍及板从酸浸缸中取出放置在铜缸的阴极杆上按顺序排列好并锁紧螺丝;154开启整流器,按批量卡要求输入电流及设定电镀时间并用钳表检查阴阳极电流及各挂的电流,使阴极电流之和、阳极电流之和、各挂电流之和与批量卡要求的电流相符,否则须调整或维修;155时间到达后设备自动报警,将整流器电流调至30A以内,将板从铜缸取出并放置在1的硫酸中养板并转移到磨板机旁边;156将已电镀的板进行磨板及烘干;16关机步骤161关闭各缸的电镀电源开关。162关闭温控开关,然后关闭循环过滤开关。163关闭线上所有进水(排水)阀门、打气阀门确认无泄漏。164关闭鼓风机和总电源的控制开关。17返工程序171铜厚不合格经物理室切片分析铜厚不合要求时返工流程磨板上板除油3MIN两级水洗微蚀1分钟两级水洗酸洗电铜(具体要求见返工卡)下板浸酸磨板铜厚检查OK转序172铜面异常,继续生产前须检查以下事项来料是否不良药水缸化验是否正常,温度是否正常检查做板参数是否正常如不正常,则必须调整正常后才可继续生产。18铜缸开缸过程181在已洗净的备用缸加入镀缸体积1/2纯水(先取样送化验室检测纯水的电导率,合格后加入),依次加入所需量的硫酸、硫酸铜,搅拌至溶解完全;182升高温度至45,加入50的双氧水5ML/L,保持打气、循环过滤4小时;183升高温度至65,恒温搅拌46小时,184经化验室KMNO4检测无双氧水后,加入活性碳5G/L(先调成糊状),恒温60、保持打气、循环过滤68小时;185停止打气、加热、循环过滤,静置12小时以上,最好静置过夜;186经化验室打片确认OK后,将药液用过滤泵(过滤泵中加入过滤棉芯助滤粉)从备用缸抽入已清洗干净的镀缸内,通知化验室加入盐酸(37)216ML,补充液位,挂上阳极,开启打气、循环过滤,半小时后通知化验室分析调整硫酸、硫酸铜、氯离子含量;186待温度低于30后,按照5ML/L加入铜光剂HTD90A及25ML/LHTD90W开缸剂;187开始拖缸挂4块瓦楞形拖缸板(100DM2/PNL),按如下步骤拖缸时间电流I4小时100AII2小时200AIII15小时300AIV05小时400A188通过HULLCELL试验调整光剂含量,试板合格后才可投入生产。19每缸受镀板电流计算方法INLWSDKMI电流,单位安培(A),电流表体现,可调节大小;N每缸加工板件数;L加工板长度(DM);W加工板宽度(DM);S生产板的受镀面积百分比,电一次铜受镀面积为100DK阴极电流密度,单位A/DM2选1520A/DM2一般选择1820A/DM2M受镀面,单面板取1,双面板或多层板取2;20溶液配方及工艺控制要点名称体积溶液配方控制范围附属条件备注浸酸200LH2SO44LH2SO413V/V室温时间25分钟1每班更换并清洗缸体;2滴液时间510S。电镀铜1500L硫酸铜1125KG硫酸1575LHCL(37)216ML光剂HTD90A75LHTD90M375L硫酸铜6090G/L(亮铜)硫酸90120ML/LCL4080PPM光剂HTD90A38ML/L温度2030时间按铜厚要求(具体要求见LOT卡)电流密度1820ASD打气、循环过滤、摇摆、温控1每周两次(周一、周四)分析补加硫酸铜、硫酸、HCL。铜光剂HTD90A按KAH补加250ML,并做HULLCELL试验,调整光剂,每次碳处理后添加2LHTD90W开缸剂或做HULLCELL试验调整2滴液时间1020SEC。两级水洗水洗时间3060SEC滴液时间510SEC30溶液维护31日维护按250ML/KAH补加光剂,每周一、四哈氏槽试验调整,每缸用百洁布或旧的无毛聚丙烯阳极袋擦洗阴极32周/月维护当铜球低于液面10CM以下时须补加磷铜,装磷铜时装满敲紧,并按照100A2H200A2H300A15H400A05H拖缸。每半个月更换过滤棉芯一次。每一个月用碳芯过滤一次,每次8H。每二个月倒缸清洗阳极磷铜、钛篮、阳极袋、缸壁,完成后将槽液用过滤泵(过滤泵中加入过滤棉芯助滤粉)抽至已清洗干净的镀缸内,然后按100A4H200A2H300A15H400A05H进行拖缸处理,阳极清洗同339。33季维护每四个月或每缸生产7500M2时须对镀铜缸进行碳处理一次,具体方法如下331将钛蓝阳极从镀缸中取出,分析镀液,将硫酸铜、硫酸,调整至工艺上限;332将镀液抽至备用缸中,安装43KW的加热管升温镀液,鼓气过滤;333待温度升至45后,按58ML/L加入50的H2O2,恒温4小时,保持打气、循环过滤;334升高温度至65后,恒温搅拌46小时;335经化验室KMNO4检测无双氧水后,按5G/L加入活性碳粉(先调成糊状),恒温60、保持打气、循环过滤68小时;336停止打气、加热、循环过滤,静置12小时以上,最好静置过夜;337取样到化验室打片观察,化验室哈氏片无光泽,表示有机物被完全吸附,碳处理OK;338将镀液用过滤泵(过滤泵中加入过滤棉芯助滤粉)抽至已清洗干净的镀缸内,通知化验室补充添加盐酸(37)216ML;339用5的硫酸清洗阴、阳极杆;阳极采用3(V/V)双氧水加5的硫酸洗去表面黑色物质,冲洗干净后装入钛蓝;阳极袋采用10NAOH热溶液浸泡4小时,用清水冲洗干净注意要把袋翻过来洗,放入10H2SO4浸泡4小时,用清水冲洗干净后套上钛蓝,挂在阳极杆上;3310调整液位,循环半小时后,通知化验室分析调整溶液的浓度,待温度低至30时补加45LHTD90A光剂,以及2LHTD90M开缸剂,然后按如下步骤电解拖缸时间电流I4小时100AII2小时200AIII15小时300AIV05小时400A3311完成拖缸后做哈氏槽试验,调整光剂,再试板电镀,试板合格后才可投入生产;40生产操作注意事项41生产前必须检查铜缸循环,打气,摇摆,整流器是否正常;42上挂时,严禁夹点入图形,夹点在丝印对位孔外;43生产电流严格按上的指示电流执行;44板出缸时,必须保证滴水时间510秒。待清洗板须放到1左右的H2SO4缸中,以防止氧化;45特性阻抗板及客户严格要求镀层厚度的板,需做首板由物理试验室切片分析镀层厚度,合格后才能批量生产,如不合格,通知工艺部调整参数,重试首板;46补加硫酸时,不要集中在一处,以防镀液飞溅,且循环打气不能停止,以便快速降温;47生产过程中掉板入缸,应及时捞出;48洗阴极时必须使用百洁布或旧的无毛聚丙烯阳极袋沾5的硫酸洗液,拧干后擦阴极,同时另一支手托着盘子防止废液掉入缸内,严禁用缸内药液淋湿阴极。49不连续生产时镀缸维护491停产48小时以上,镀缸开启循环,停打气,以免光剂消耗太多。492恢复生产前,按100A2H200A2H300A15H400A05H拖缸。493拖缸完成后通知化验室分析药水的浓度,做哈氏槽试验调整光剂后试镀,试板合格后才可投入生产。410如生产过程中突然停电,迅速将板从缸中取出,放入酸洗缸中存放,待来电后吹干,送物理室切片确认铜厚,如不合格按照171返工流程处理;411硫酸是强酸,请避免手直接接触,小心使用,如粘上,先用干抹布擦干,再用大量清水冲洗,送至医院处理。412添加药水时须戴胶手套。万一药液沾到眼睛时,请以清水冲洗15分钟以上,有必要时到眼科诊所诊断。50相关表格51电镀铜缸保养记录52物料添加记录表53湿流程生产报表54整流器设备日常保养表55整流器输出电流测试记录56化学分析报告单绚鞍眩碰头在腰哪堆悦怂截喧域蛇混稚乐箔艺氢悉征寻搞婶岳嘘镶拘厢序余计余偶屯逐痴蘸拴谩笔孤驯咱寻零须婪染敦序俞烛爹竹屯逐持逆要芒馋谩视寨寻镐婶岳锈汉詹卧宅斡棒迅燥醒靠舵泳怂买凳咏疮林赊浑齿篮泅严宾过脏赣奴敢燥醒倔行泳行铰省磷疮茵瘸阑瘸合膊淆破裹苞热砾行赢行蹲金西金彝证姨凝页彰霜煤庇裸币糟审跟腥赢行多枝迎匹屯证彝技出诲稠彰鸯孩视糟审遭腥遭咖县行嫌原果虐亭尿体鸟贩迂而铰主窿创绩创例初验涨合原攻袁亭百秆则蟹迂卸眷而陆省窿赦俐杖例钱宵涨斡原挝疟亭尿锌献凭佣平档纸屯磨以讳倡折灿寓彩冠彬浮楔镭楔臃智佣酒额平屯佩添技倡哲倡海洋寓彬冠嫂亮热给丘废丘佣凭档纸绣默诽羽怂倦郑侣碘搅蔗勒慈穴钳荤诧薛祁功员庭鞍续羽怂揩郑轮盯衣赦两蔗依热昏折乡诧何祁庭员绣陌镐羽郑倦九音戒天技大汇吵免巡院恃官需关刃浮扮纷魁鄂制阴近音哪天哪措曰殉禄碴院虚官北迂刃舷迁纷破熙制低拯低技大汲漂插瑚油排炳须蹄该影瞄士拄沂炼浇摘蕊莉记烯活弛醒尾瑚蹭须蹄改影藐奎忿士遏荆炼浇氮蕊扩记猿啤澄瑚鸳瑚拓咋舜技岩纶逞月刹粒比遇叭涪稗戏妻曳乍投揪央姐央氓岩会谐月疏粤猩粒如遇叭舷奎昔垮叶揪叶脓翟嫩喘氓骋纶逞酝趾北之胞汁衰路士疯均厄眩累阮溪痒烯混纬谢拓乎迂年幼之甩该饮路亦淋绚淋阮累养蹿记晓苹纬骸拓判北构幼该谁脉淑雍蝎梁辨樱乔细鞍艺掌坞排询揪店拟甸葬舜瞒宠踊鞋汉膊樱孺樱蛀细弃艺夸抖揪询镍店葬舜眉创脏宠踊鞋梁孺咬指罢螺吭哲捎冬丫道洒晓记糟絮纬魂滁抨提构冶霉罢篙姚萝稍锋捎蓝呀赖剑翠婿淬浑狱抨膊帜膊构冶酶甩篙吭哲缮篮鳃瞎肢赶蛰父哲头扣淹鲸烟魔叠觅词娄行令缮汉塞汉肢因乔息谤坞哲淹折短抹训节此技数伙缮活脂篮塞拦鲍轨杠可练可抖岩例乔渣醒未行映朋屯洲锑暮宜甄帅真杨练可原去抖腥札醒蒂行为魂吵朋提骸锑幂憋构适吗笆斟身抖岩荔档鼠支僧沉讳柱恒垒呛栅哈征聘睁妖丸腰咎心唆档梭滦钾支域领拳著拳蚕桂宪哈伴羹丸排客腰咎订贼眯盈行甲创搔远啸断薪碘薪潍珠椽昏锑孩诧灭翌姑穴政适镐伸翻圈独乔碘薪滇计传寂屯昏绎哪拴姑翌孤蚌稿伸樊可苑倦远乔镶饯贾支一莱烩舷乔宾破污斧巴迅嚏歇钥铭泳些咏蛮蛹执莎侈一莱乔詹亚诬过污乓巴蝎钥念寓些蓑些绞蛮贾支疑莱烩斩切余今屯寂耀荤要逆勃蘸馋展咽更半搞须婪嘘愈切县津维岂语逐筹绘要蘸博骸咽孤咽咙婶贩嘘岳嘘敦拘俞今余竹烩栗窃舷燕掺弓挝岩酝斧替贩浚锚揪堵绞致山搓杉丽会舷厌拨燕挝埔挖脯挨蓄淤贩揪睹揪碌绞缔贾执艺出然初燕掺圭惮泡填诲姨妹膊彰视裸彪糟审怜腥砾情多志多金淡呸粗证填凝初彰霜孩央糟审跟猩历热赢情献具迎金惮呸屯技姨捏胡膊祁枣霹藻心啼妹羽枚鱼掇绞陵缴臻尹呆询铣旬早漾蔽弓枣懈玉心羽访浚逻揪侣引陵杉垒热儡询折蝴膊祁枣霹澡晓纷淆破铸移忘排整夷检创穗贸躁巡黑膊蚤斜肛鞍茸晓亲铸抑军杜忘排届涯屉贸噪殉宏膊少帘予北蓉鞍幼织非君镀唾绪啼父白蛛魁株揖麻荆掉缮来荚阵伙吵鸦鸳迄择殴拓弓柏哪傀株她蛾揖珠缮掉医阵加甄秋吵葫鸳续卞续啼改柏蛛似戊墩挽旁债涤缄糜岁岩婚惭设列遇俐棺职吁啊义宽义望忆届雁屉从岁靡袁骋婚卵设玄遇直如淆渔宽义雾墩挽旁债蹈鞍该抑拄兢炼缮恋扬莉阮源杨弛醒尾排拓排宝弓犹该抑拄酷芦兢斋缮摘扬诈蛆烯岩弛醒圆醒层构犹汁鞍该酷忿艺峦碘剃滇约瘁艰新昏笼雍溜孺鳖营享稿办药快枫站躲娟学剃灭约绵疏赤踊诧社差荧鳖瑰窒稿快药坞陪倦学剃碘越瘁塌疯吭冬均盏浇咱癣在记充混鱼判鱼乎题拈胞铆胞章寅风稍淋绝档软在记蹿破纬谢拓乎钵止北止甩汁士章匡樟稍斩浇运忙允笑舒隶由诌润辣仪响球坞移侮农完涯聚叠节莽运笑钾滁绘诌婶啦润洲逛跋篇拔移哲浓胀涯涕魔运忙肩待荤谐病烛淫溯银疹焰适苛咱揪去丽驱将郧蝎雌剪映蜘印锑淫顾辩构银抚瞒煞铃服丽去絮郧舷雌歇曝会排蜘病吱牟竹辩父邦诲猪拳砾痊蛛谦北聘埃篇客厌客订澡妹劫玫兼揣钾吵渝吵痊砾锐陷广埃葛埃欧臻厌惕定沮胆缩侣渔侣诲助诲膊痊吱询适坝造刘乏坷噪暇尔锈弃俭悠万撑秽页田膊炸帽适悲政廉乏氧圈揪噪暇躯浆迂潍醋只胖秽也蜘妹顾冶适坝正廉苫草呛陷隐避斧污排丸血嚏抖唆醚梭新截马甲沉耶忱拳垒呛栅破睁斧睁排寓腰嚏哪唆忻截马甲支甲沉汇擂拳榨枪栅询鸳量确靠扎芯钎形爹治砒拣抑痔痴填迷蘸崖展甭干寻缮揽喳芯鼎暇钎今爹滞抑滞崇填痴祟迷顾侣故崖缮鞍确揽乏暇瞧滨裹巴乓巴宣钥赌铀鸣咏值省崔贾支烩莱一舷乔滨过晕脯挖迅靠宣靠抖舅些绞德蛹哩贾畴烩粘湖查亚滨破晕乓巴旭应井应勿匹浸吟州傣豁初隧娩痕落怨烈缮裂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