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第三章准直和自准直第一页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术2准直和自准直1激光束的准直和自准直2自准直法测量光学零件的平行度3自准直法测量曲率半径和焦距第二页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术31激光束的准直和自准直1.1激光束的准直1.2激光束的自准直第三页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术41.1激光束的准直采用倒装的望远系统实现光束准直第四页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术5第五页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术6ForaGaussianbeam,thecomplexelectricfieldamplitudeisgivenbyristheradialdistancefromthecenteraxisofthebeam,zistheaxialdistancefromthebeam'snarrowestpoint(the"waist"),E0=|E(0,0)|,w(z)istheradiusatwhichthefieldamplitudeandintensitydropto1/eand1/e2oftheiraxialvaluesw0=w(0)isthewaistsize(describedinmoredetailbelow).Thefunctionsw(z),R(z),andζ(z)areparametersofthebeam,whichwedefinebelow.第六页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术7第七页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术8第八页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术9第九页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术101.1激光束的准直零阶贝塞尔光束第十页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术11实现1第十一页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术12第十二页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术13第十三页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术14实现1:轴锥镜第十四页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术15第十五页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术16第十六页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术17第十七页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术18第十八页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术19第十九页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术201激光束的准直和自准直1.1激光束的准直1.2激光束的自准直第二十页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术211.2激光束的自准直平面镜反射-平面波相位共轭面-任意波第二十一页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术22平面镜反射-平面波第二十二页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术23相位共轭面-任意波第二十三页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术24相位共轭面-任意波布里渊散射1四波混频1B.Ya.Zel’dovich,V.I.Popovichev,V.V.RagulskiiandF.S.Faisullov,“ConnectionbetweenthewavefrontsofthereflectedandexcitinglightinstimulatedMandel’shtamBrillouinscattering,”

Sov.Phys.JETP,15,109(1972)第二十四页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术25四波混频第二十五页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术26四波混频第二十六页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术27准直和自准直1激光束的准直和自准直2自准直法测量光学零件的平行度3自准直法测量曲率半径和焦距第二十七页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术282自准直法测量光学零件的平行度2.1介绍2.2测试原理2.3反射棱镜的平行度测量第二十八页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术292.1介绍第二十九页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术302.2测试原理第三十页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术312.3反射棱镜的平行度测量DI-90第三十一页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术32第一光学平行度:在入射光轴界面内,角度误差造成的。第二光学平行度:垂直于入射光轴界面,棱差造成。问题:45度角那个大?那个小?第三十二页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术33DII-180第三十三页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术3490角?是大于90度还是小于90度?调视度:正视度,双像靠近则大于90度,反之小于90度.半边遮挡:同边的双像消失则大于90度,反之,小于90度第三十四页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术35DIIJ-90第三十五页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术36第三十六页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术3790角?是大于90度还是小于90度?半边遮挡:同边的双像消失则大于90度,反之,小于90度第三十七页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术38DII-180(角锥棱镜)35.16度54.44度要求,直角具有高准确度第三十八页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术39补偿棱镜法OABC第三十九页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术40斜入射法:OABC第四十页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术41准直和自准直1激光束的准直和自准直2自准直法测量光学零件的平行度3自准直法测量曲率半径第四十一页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术423自准直法测量曲率半径和焦距自准直法测量曲率半径自准直法测量物镜焦距和顶焦距第四十二页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术43简介自准直望远系统自准直显微系统第四十三页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术44测量曲率半径测试原理第四十四页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术45测量曲率半径测试方法:先测球心还是顶点?顶点受不受待测球面倾斜影响?如何找到球心凹面和凸面的测量范围?实际测试中多个像的区别?第四十五页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术46自准直法测量物镜焦距和顶焦距第四十六页,共四十九页,2022年,8月28日2023年3月29日光学检测技术-测控技术4

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