QMS质量管理体系审核检查表

8.2.4产品的监视和测量8.3 不合格品控制8.4数据分析QMS质量管理体系审核检查表（Array）ISO9001条款4.2.4记录控制5.3 质量方针5.4.1质量目标4.2.3文件控制Thin FilmSputterRAT 5.5.1职责和权限6.2人力资源8.5 改进8.2.3过程的监视和测量7.5生产和服务提供RsPECVDDevelopPhotoThicknessELATrack宏微观检查机ExposureCDTPAOIThin FilmPECVDDopingDH/HDInileEtchWet EtcherInitial CleanerPhotoTPStep ProfilerWet StriperDry EtcherDry AshingSB/HBEtch8.2.3过程的监视和测量7.5生产和服务提供CleanerCTQ(Array) PLN MaskCoaterIUVStep Profiler1-11-21-32-42-52-62-72-82-93-103-113-123-133-143-153-163-173-183-198.2.3过程的监视和测量7.5生产和服务提供Test静电护腕管理防静电Mat/防静电Tile管理ESD审核防静电服/防静电鞋管理静电管理3-203-213-223-233-243-253-264-274-284-295-305-315-325-335-345-356-366-376-386-396-406-416-426-436-447-45接地电阻测定管理*SMD/PBA分开点检ION Blower管理EOS管理PBA BOX及Pallet，Trolley,magazine管理ESD审核静电管理7-467-477-487-497-507-517-527-537-548-558-568-578-588-598-608-618-62Q2014-E115-O接地电阻测定管理*SMD/PBA分开点检配电箱接地排线及EOS管理ESD审核注：审核中工艺部分采取抽样（抽部分工艺过程）。0 1 2是否对需要文件化的业务过程制定了程序文件?文件发布前是否得到批准？批准人是否经过授权？使用处的文件是否为有效版本?文件的修订是否及时?记录的标识是否清楚?是否易于检索? 记录贮存、保护都采用什么方法？是否做到保存完好？ 是否按照记录的保存期限进行保存? 各层次人员是否都理解质量方针?各部门是否制定了可测量的质量目标及测量周期?是否定期对实绩和目标进行了对比,并对未达成的目标分析了原因及采取了措施?是否对因未达成目标而采取的措施进行了跟踪及有效性确认?是否及时更新了组织结构图?是否规定了各岗位的职责与权限?各岗位人员是否知道本岗位的职责与权限?是否规定了各岗位的能力要求?人员的安排是否满足人员需求?是否制定了新员工OJT培训计划,OJT培训内容是否能满足岗位需求?是否按计划进行了OJT培训?是否对新员工能否胜任本岗位进行了评价? 不能胜任的有何措施？是否对不合格按规定的要求实施了纠正措施？纠正措施是否有效？实施了那些纠正措施？是否符合规定的要求？是否保持了相关的记录？公司策划和管理了那些持续改进的过程？生产线使用的所有计量器具、仪器仪表是否按规定的周期进行了送检？Golden Sample是否有list？Sample现场管理是否科学？是否对作业员可以采取措施的异常现象进行了规定？是否根据规定的要求对出货的产品进行检查？检验合格的产品是否有明确的标识？对不合格的产品是否有区分管理和进行标识？不合格产品是否得到纠正？纠正后是否对其进行了在次的验证？Target是否按期更换？是否有更换记录？对 Sputter 的气体流量如何监控，是否有记录？超出 Spec 值时是否采取措施？Sputter 时间是如何规定与监控的？是否对 Sputter 的温度有监控？现场是否有作业指导书，PM指导书是否对设备制定了PM计划？是否执行了PM？是否进行了记录是否对设备制定了PM计划？是否执行了PM？是否进行了记录怎样对 Annealing temp 进行监控？是否有记录？超出 Spec 值是否采取措施？怎样对 Annealing time 进行监控？是否有记录？超出 Spec 值是否采取措施？现场是否有作业指导书，PM指导书怎样对 Cooling time 进行监控？是否有记录？超出 Spec 值是否采取措施？Rs 是否定期进行测量系统分析如何对所测电阻进行监控？是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录现场是否有作业指导书，PM指导书If 测试NG是否有Rework处理流程（文件是否上报）RS 的抽检频率是什么，日常是否做记录Dep.(PECVD)过程中是否对其真空度进行管理?超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？Dep.(PECVD)过程中是否对其温度进行管理?超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？现场是否有作业指导书，PM指导书是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录QMS质量管理体系审核检查表（Array）审核问题 分数Dep.(PECVD)过程中是否对各种气体流速进行管理?超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？是否对 Doping 的离子浓度有监控？超出 spec 时是否采取措施?是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录现场是否有作业指导书，PM指导书是否对 Doping 的温度有监控？超出 spec 时是否采取措施?是否有对 Hydrogen 温度、时间的监控？是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录现场是否有作业指导书，PM指导书是否有对 De-Hydrogen 温度、时间的监控？对于 AOI 是否制定抽样计划?是否有记录？是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录现场是否有作业指导书，PM指导书If 测试NG是否有Rework处理流程（文件是否上报）现场是否有作业指导书，PM指导书对于 AOI 判断缺陷不良的标准是否清楚？相应测试软件的判定标准是否有合理设定？Thickness 是否定期进行测量系统分析Thickness 的抽检频率是什么，日常否做记录If 测试NG是否有Rework处理流程（文件是否上报）现场是否有作业指导书，PM指导书是否定制了详细的设备校准流程，标准样品保存及使用是否有文件记录是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录是否对ELA的OED有监控？超出spec 时是否采取措施?是否对设备制定了PM计划？是否执行了PM？是否进行了记录现场是否有作业指导书，PM指导书现场是否有window使用领取管控记录是否对ELA的Sigma有监控分析?PR Coater Ionizer使用时间是否监控，并记录,是否对超出spec的采取措施？PR Coater Tank-Pressure/CDA Supply 是否监控并记录,对超出spec的是否采取措施？PR N2 MAIN压力是否监控，并记录,并对超出spec的采取措施？TRACK HB/SB温度/时间是否监控，并记录？对 HP/CP 的温度是否监控？超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？对 HP/CP 的时间是否监控？超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？是否定期清扫 HP 升华物？清理是否有适当依据？现场是否有作业指导书，PM指导书是否对 Coating Speed 监控?超出 spec 时是否采取措施?措施是否有适当依据？是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？现场是否有作业指导书，PM指导书Mask 后在 Mac/Mic 需要检查哪些不良进行规定？Gate DI Mac/Mic 是否进行？Aligner DRY/Clean AIR压力是否监控，并对超出 spec 的采取措施？是否对 Lamp 的使用寿命监控，并及时更换适当的 Lamp ？更换是否有适当依据？是否定期对 Mask 进行管理，如吹 Mask 并保留记录是否对设备制定了 PM 计划？是否执行了 PM ？是否进行了记录对显影液的浓度如何管控？是否定制了详细的设备校准流程，标准样品保存及使用是否有文件记录？现场是否有作业指导书，PM指导书是否对所测的折射率、反射率进行监控？CD 的抽检频率是什么，日常是否做记录If 测试NG是否有Rework处理流程（文件是否上报）CD 测量设备是否定期进行了测量系统分析？对 Mask 后的 TP 是否进行 monitoring,并对超出 spec 的采取措施？是否定制了详细的设备校准流程，标准样品保存及使用是否有文件记录？If 测试NG是否有Rework处理流程（文件是否上报）现场是否有作业指导书，PM指导书TP 测量设备是否定期进行了测量系统分析？是否定期进行了测量系统分析？组装PBA类之前，测量大容量点解电解电容(C-E)的残留电压- SMPS, Main PBA 等的 电容中 Size/容量大的检查用 jig的 Surge 测量管理- 可能对内部的 PBA, IC有影响的检查/调整机检查/调整 Jig的 GND-Power-Signal 端子连接顺序- 回路性的 Control (G-P-S-S-P-G)- 最起码GND端子先接触后要分离- 连接的电源没有追加的端子Aging 及 传送带Type 组装工程的 Unstable Line(一般电源 )和 Stable Line(安定和电源) 是否区分管理？- Set 及检查机，测量仪器Line和传送带驱动及电动Drive等的Unstable Line的区分使用传送带是流水线方式线体时，电源 Brush 和 GND Brush的连接顺序是否正确？- GND Brush 先接触后分离检查及 S/W Down Load用 Cable的水平管理？- 遵守更换周期, Index, 实物状态 (连接部老化)Aging 工程的大多数 Set/Panel 的同时 On/Off与否- 大多数 On/Off时，因阻力增加发生 Surge在检查/调整机(直接连接在Set Panel)的 Power switch是否有SPD?- SPD : Surge Protector Device= 确认Power On时发生与否 (150% 以上)静电用接地和电源用接地需分开(适用相应国家法规)使用综合接地时不能在工程内混线（MAIN接地分点要分离，配电箱内分离时认可）接地阻值测定管理用端子口是否在测量可能的位置？.大部分都是在接地埋设点的附近，地面包装时强调测量对策是否设置了接地埋设点的标示？是否管理接地埋设图纸？（埋设测量端子时除外）. 并列接地要设置几个接地棒测定用的端子盒排电板及连接处的bolt(螺栓)是否有松动？一种(静电用)接地阻值的测定/记录是否进行了管理？- 干燥期/冬季等一年2次以上（一次：2分，没有测定：0分）- 相关国家接地管理的基准，统合接地的情况下认定为共同接地，判定为统合接地测定管理。- 自主确认测定管理的资料，必要时进行部分电源接地用接地阻值的测定/记录是否进行了管理？- 干燥季节/冬季等一年2次以上（一回：2分，未测定：0分）- 相关国家接地管理的基准，统合接地的情况下认定为共同接地，判定为统合接地测定管理。- 自身测定管理资料确认，必要时部分检证接地电阻测定管理check shee是否正确？- AC漏电测定值记录（10VAC 以下）- 测定日的温/湿度条件记录- 最近降雨/降雪日期记录- 测定者记录接地阻值测定器是否有？（代替测量/代行业体测量