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文档简介
SPC 在封装过程中的应用实例分析 1.SPC 控制特性的定义 T1S6949 质量管理体系在实际应用中强调以系统的方法对过程进行分析研究,以确定系统的输入因子, 输出因子以及输入对输出的影响作用。产品实现的过程也可以用框图简单地描述为下图: 上图表示,产品实现的过程为由材料、生产参数、设备、人员、环境构成的输入因素通过生产转换成输 出产品的过程,同时利用输出的信息来反作用于输入因素,以得到输入因素如材料、生产参数等的持续改进。 输入因素通过生产过程转化成输出的产品,其中的实现过程也就是 SPC 需要进行监控的工艺过程,当然 针对 SPC 控制特性的选择并不是越多越好,由于检验本身是不带来增值效益的过程,因此在行业的应用过程 中,考虑到成本的计算,SPC 只会应用在部分关键特性的监控过程中,而关键特性的选择也根据企业自身的 生产能力及控制能力的需要来决定的。因此在进行统计过程控制时,首先需要定义控制的对象,然后通过监 控生产实现过程中的各大因素对控制对象的作用,检测到过程的特殊原因波动,从而实现提前预防不合格品 产品的作用。针对关键特性之外的其他参数,可以通过记录检查表的形式将其记录并保存,以便工艺改进时 提供历史依据的参考。 PSC 的控制项目对产品特性及工序监控的必要性,通常通过以下几个方面进行考量; (1)从产品特性要求判断,是否为产品关键特性; 如 Tirm Form 工序,SPC 记录共面性的抽样检验结果,以判断产品当前的生产流程是否处于稳定受控的 状态下。产品的关键特性在产品设计阶段己确定。 (2)另一方面,在产品生产制造的过程中,关键工序参数的监控对产品质量良率起着重大的决定作用, 利用实时的 SPC 方法进行工艺参数的监控,能够及时发现生产过程中存在的特殊原因,及时围堵并消除,以 得到立即的改正及预防的作用。 例如,在硅片切割工序(Wafer saw),工艺上利用对切割槽宽度的定期数据采集,绘制 SPC 控制图,从 而起到过程监控的作用,以防止参数对切割工序带来的过程能力偏移。 (3)客户的特殊要求: 客户的特殊要求可以针对产品的固有特性要求,如封装外观尺寸要求,针对 p8AGBdoysize35*35 的产品, 要求产品的允收范围在 35+-0.sm。另外客户的特殊要求也可以针对 1 艺参数,如 Wire Bond 的 Wire Pull 和 Ballshear。 封装企业的新产品导入初期阶段,在制定产品生产的控制计划时,SPC 的控制特性就是其中必须定义的 一个部分。特殊特性的定义主要来源于行业规范,客户的特殊要求以及通过生产经验的累积,总结出来的关 键的过程参数计量型的控制图应用在如下的特性,见下表: 计量型控制图的应用工序及抽样计划 工序 SPC 控制项目 控制图 抽样频率 样本数 Wafer Backgrind TTV(Total Thickness Variatlon) X bsr R IX/Shift 5 Wafer saw Kerf width X bar R IX/Shift 5 Die Attach BondLine ThiCkneSS X bsr R IX/Shift 5 Wire Pull Z bar W IX/Day 20Wire Bond Ball Sheal Z bar W IX/Day 20 Solder ball Shesr X bar R IX/Shift 5Solder Ball Attach Solder ball Pull X bar R IX/Shift 5 Trim Form Corporality X bar R IX/Shift 5 另一方面在生产过程中,通过对质量异常情况的分析,经验总结评估等,同样可以根据工艺的需要建立 使用 SPC 控制方法的过程或特性控制图,例如下表。 部分其它计量型控制图的应用 工序 SPC 控制项目 控制图 抽样频率 样本数 Die Attach Die Placement X bar R IX/Shift 5 Package Saw Package Dimension X bar R IX/Shift 5 2.SPC 系统实施前的准备 正如前所述,SPC 系统将对产品实现中的关键特性进行监控,以发现由原材料,设备、参数、人员构成 的生产过程系统是否存在导致失控出现的特殊原因,以及时围堵,防止不合格品的出现。在 SPC 系统实施前, 我们需要从以下几个方面做好准备,如图 2.4。 上线实施前的准备工作同样遵守 SMEI 的原则。SPC 实施人员需要从 Man(人),Machine(机),恤 terial(物),Method(方法),Measurement(测量)和 Environment(环境)对 SPC 控制的全面实施进行准备: 1)人 正如前面所提到,作为全面质量管理的重要部分,SPC 的实施要求企业从上到下的全员参与,在 SPC 实 施的过程中除了一线的操作人员对特性进行数据收集之外,从组织的结构来看,自下往上,参与者还包括生 产及工艺部门的责任工程师,各部门的领导人作为 SPC 小组的支持者,对小组活动起着拥护及决策作用.作 为 SPC 实施活动中的主导因素,人员的参与能力必须得到保证,因此在 SPC 的全面实施之前,人员均须具备 基本的 SPC 理论及操作知识。对于生产线的一线操作人员,如有必要,SPC 的基础知识还需要作为人员资历 认证的一部分。公司也需要安排定期的统计知识培训,分别针对操作人员,工程师及更高层次的需要. 2)机器及测量系统 机器是组成生产过程的重要部分,因此机器也成为 SPC 系统中的关键因素。机器包括生产待检测产品的 机器及检测机器。机器的定期维护校准能够保证机器稳定的生产能力,降低机器的变异导致系统失控的可能 性。争对测量设备,测量系统分析,对测量设备的线性,稳定性,重复性,再现性,准确性进行定期的评估, 保证产品减少测量系统变异为产品生产带来的异常因素。 3)物 SPC 系统中的物主要提及待测的样品,测量完的样品,SPC 出现失控情况下需要处理分析的半成品等。 4)法 在进行 SPC 的策划时,SPC 小组需对活动实施制定方法,其中包括样本的抽样方法,抽样频率及样品数;样 本的控制保存方法;适用的 SPC 的判异准则;控制规范;出现失控的情况下,如何采取失效反应措施(OCAP);保 证 SPC 管理系统健康运行的检查方法,监控的系统指标及操作规范,例如 SPC 执行状况审核周期,上下控制 线评估的频率要求等等。 方法的制定是由 SPC 多方合作小组成员通过头脑风暴讨论,并分析以确定其可行性的,由小组的支持者 做出最终决策并保证实施。 5)环境 SPC 的监控数据来源于生产线并应用于正常环境下的产品生产,所以数据的采集,测量都需要完全遵守 生产环境的要求。另一方面针对某些特定的待检测的样本,例如,封装前道的 PCB,需要保证样本能够真实 的反应生产能力,样本需要放置在 NZ 柜里以防止湿度对样本的特性影响。 3.SPC 施行步骤 SPC 活动的实施开展可以遵循下列步骤 步骤 1:培训 SPC 基本理论及应用知识。培训内容主要有下列各项:SPC 的重要性,正态分布等统计基本 知识,质量管理七大工具,其中特别是要对控制图深入学习,如何制订过程控制网图,如何制订过程控制标 准等等。 步骤 2:确定关键工序及影响工序的关键变量(即关键质量因素)。 步骤 3:对关键变量制定控制标准及控制计划。具体分为以下两点:(1)对步骤 2 得到的每一个关键变量 进行具体分析,分析包含抽样计划、控制规范、稳定性判断准则的选择等;(2)对每个关键变量建立过程控制 标准,并填写过程控制标准表。过程控制标准表是在 SPC 实施中指导相关过程控制人员操作的蓝本,可参见 如下样本,下表所示。 部分其它计量型控制图的应用 工序 SPC 控制项目 控制图 抽样频率 样本数 Die Attach Die Placement X bar R IX/Shift 5 Package Saw Package Dimension X bar R IX/Shift 5 步骤 4:编制控制标准手册,在各部门落实。将具有立法性质的有关过程控制标准的文件编制成明确易 懂、便于操作的手册,使各道工序使用。包括数据采集方法、失控反应计划、过程能力分析要求等。 步骤 5:对过程进行统计监控。主要应用控制图对过程进行监控。若发现问题,则需对上述控制标准手 册进行修订,及反馈到步骤 4、步骤 6:对过程进行诊断并采取措施解决问题。可注意以下几点: (1)可以运用传统的质量管理方法,如七种工具,进行分析。 (2)可以运用诊断理论,进行分析和诊断。 (3)在诊断后的纠正过程中有可能引出新的关键质量因素,即反馈到步骤 2,3,4.2.4.4 管理的实施。 作为 TS16949 体系的五大手册,SPC 被要求应用在工艺监控及改进的过程中。各企业实施 SPC 的具体方 案各有不同,但是万变不离其中的是,SPC 的实施方案包含:选择控制图,数据采集方案,失控反应计划 (OCAP)分析以提供持续改进。 以芯片切割工序(waferSaw)为例: 1)控制图及数据采集方案,见下表: 控制图及数据采集方案 工序 SPC 控制项目 控制图 抽样频率 样本数 Wafer Saw Kerf Width X bar R IX/Shift 5 wafe
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