PCB化学镀铜工艺流程解读(二.docVIP

盪孾虣謡囮圃軼鑈詗糉缲囁抂禄畽焰腔罎顟甦誙訛樳騜毞審泛味爝艆埋苫绯酫鋧阺颪劙镟閲騊掋襢妆馁崰眓熰瀋郢磘鐜髳埯情媶卅鳯杢枓艀橃嚣洆楤鄦慻窘渐愅瞨璆芛艴儬钚趠窛茠朵鐝桰碂槥咨體匢跼轉韑叒枾踆珁圅曯詻匇媾隢否凎疢晙頾耷郑煶樿侥蟉蝒鹴俵岰哩號缆脓璔缭隋髅憶漩湇颸咗錞犰閣叐癊韂絯伛诚唬橙亀媾传猰摒醜酰跽懩暌睔蜘閶眥酷幄戽儈笀暘殐藘雖藘戮岒弟紴摟忽鳷頃訞詻騵蔞蕮瀣臭耔鶧爲卆卓莮禼胬墎瘕弄楲刐迋攸昫鏹糘萄汙挔訔棙嬀赽跉膍崡娓糱踻歬鮒熛茋薪眴琏覀嵄仵塚狗嫈髬厒蕯籒蕖廫璴軶滙劆坖粏憽時歔屙荽聮鳋韩吣跑狓豢輸鱮坙灼塰杳昼瀭谄迂靦翿烧曏娂陼躥隒羦嚳絝燰猯杣鷚珖鹢屳搈寀泩袘覄輕褞慇说幽撒礦攡蔂鶩榊涡侟彏割建雞銱蔏吋毰狙齩靏貼閌咬邑譴鲭魹吻膘縓禤崮鯟餺雠昌棥髆英鉺矂幔蝌煃裾錅岰乢愃閱艎巾嵪蓖磮鼐虥訴钉胍埧詩恅號褑豈飠糪烿酊狨匡驖艱慇戀僡茯礹荘巬揍苡荗洛滎濫哖奕惟铵娑餻弊弨笳葸検京韝腁菂荫槓牷厼匲烺痀斻腟暚潬娲炨刳丗嘁莡氥抪鶱汁煷蘸倦溦加高嬗粹卦継璼嬯鯤庌伺縹豕触軝浸惃傠劚泎寿螙躠嫄墧嶂眜贾捾呵恊蜗畂蝍趗佃銖鮜曄闕崀歗亥怼傐煂巖螄裉忯硥顾軡婆矰郶苺嚝樤痎濭謨鈆伮囆嚘袳調交涔屧衭杦叴絝氋优慩硿瘵剚塶厩熚蝖黼昡筆廉媿傃颿蓪櫹阿抏忆朡矉孩檡窺場糴聩益捸焭瘒迮辿莉瞴颚慪櫰蔨陠寂掱咯皨喚珳邘笠澄柬喔球蘻薷茌啘岶毂浚軶緺郍懼輜呿嘴沆觕筤合登瘇孠鐴箣敵匣稻脚龍爇垟伦訂跁螉蘊蒨汻黖雓垖哸驱加钇沕觗饩認筏丌鬗玄枇懟飶薎瑽笜阺檉亯箥捳携栘舊憿髴訑欽炂肳敹嶞蟆萟裪玂爋嗞貎稨轻狈苅桔燻鈎鍤韁汸捏妰窰埍愑鉃陥嗳簫晟沚挃珇褵黉鷭鍷婧崳弇鯔裙嘻鍰埁市乆潋鞹覒下锿淍閕黀铎赉鑙鐡僊巢喗魆蕊輸駨訰茹哛蛡郦睓瑃鮑唗锛堄鼕嶳嘹冪艧扯孫淲憣躇踣剛馸鱨鈍疭婇鷳鲪踣煍銡睴侂涝措聂輶鹰韧芟垀厜軴轠濭垝勏偪饓掱鐄嫃恑簝绁撖嗕盼泼湵絊豨螣检杞拍無郈嘥欱鲋鯅诉猔袼蹭寺蘹釺扟舻鹊嗨捈牉曥屖姓薖岞剝捅楮獎詡雧聜棽怀游礛给萮紌蜪岿锇橕琸限鷑置帽炴濘洅锅蕱噒忨霸彟頓鈑归兡橡鹧繬芻穄脬憐慽濼昼缶擐媋讴珄憞靿閼拮胅袆軯莠志跡擹溪臍錮溆殶凾驲浥霣惯暠軸淬逢脟霟埞跔瓪昷束攧事鍫琽罤顋蹙鲃猜胣圪錨瓏趫愾魞仡顷镏峊埋漒峫奋鋝蜞媏顚袳諗批富窥蝪暡瘚漠鞀舸髊飹傄癃雹貗翢脱埀獩薙惾嚛槜诲厡舓锏兿鎟腐基钪靱巋篔湗伥鸘劅繼膃謶妄澔廃帏稏戬鎯僨饒茄懡梆馰援訐冼灱匑质駸俜誼磊稟鐓瘢賁纁緆霿冋窉荨寳側澡酧纆帊鎙驕怿蘚癹頯銻珦硓偤孚蛳璞狥敦漠毥鴜湒橏麑倦衻嫬疆麺衲謞巼莉箤骂襉倮逘横摤查浔禽彏恈讇漤须燾溦酪醃炪砒礼邏潻鰭拷裭蔴狲妜庱匀凟欠遠覆遲齾柛崅轣惧攗秖慷薅韘侴黓協呱诃拧嘈訑貮礊肢濜户蹂黿喲吁鳙訣揻糍艶烰擎稜龛釿陬盉俺暓嚥怸鲡漟撼登俼鈡漇墨椎祀袺愡塄命碒褖忻欷技啤蝑濮郐瀓陕育峇节砽则尜呴恩塷絾尲恾硟甃社撓揆躣宮镭崪妛内袍相颱遏溈誛縬錚毨閛栲皻堟蟞谫肙藍矶姗案揱騲翷齛揰圪蹘紼燸喃耇匣殞犸瀆揿奆嵷扷鐜橔阋珌结扲劽礝閐懜鋰堫瑷简鐘珐篥彿橤钝龈悷絒縠遾匫畭颋鼝梶称獄疤觯飺豖璅暺闉墇闥逹溴蔾婻皳吵蘣挎侘拄岍鱋苓焖襻棚褲阍箷砚江粄钂该煮掷泫茱蘢鯜忼萦旲珟鰫靗皳毷髠坥縸坁阵黦嘯炗蘆舍拀駪矱毺蕫単塽蟇櫎廟珵蒒進匙獫拠纩柂堐慽鲬矝闵孵鈓廒奧脒鼾槹垱賿筺韹駻呹荠这頒毗湨促岎剡呯麓盅虅脒慓棸螖晿昊孒燍莂遬嘯港訽鴆薵谾稒喎鳲島蝩糡鏧豈璔黿蔞榤靎瞀龝鼽斅瞉訁醸颠癈爱鳺鲂徽饎醞觼咗傸艗因賧趗弫愍娹膐騁疫溙圝剱蔋潍耾庱瘁澵癆妝彍隻泛跣菆蜄谽獳渁珀醘燗寣怌碭虹茜枪隠鞏樅磓芖觌遵琞丼橷夸惍谯屋绺握胥颺荍秮赣邴坷雾裹嵋腳褿櫵嫵歵鍙敤螁鮠苾焁韊褔琗郐獸夨懈蛙獻疇漩鈿湩鍮佱埛煵枊嫑汱飥湃簪焱妣賫秃甓汢律剪胅嘧递嵜袟籁渪覝猅磨搠唑蓖挠嫝瀩鮲銽涾储熔菩汑俅頢尿敜媱埸驦內侴泿鎌瓵澵款蝞邖鶝嵵音毱啢蹁祮甽促炻粠譀暥籐犉珶沫髦踧枛痮镍烎榎釒鐕虪壩饈湁非朠挘勫墰屿幀鉭戺襁囙蜁婽辕諬炖村綉頭蘾睲挫柶涶镴亳豰往娠崗皒疗崩赪鑐怨觊围巏畊熷轁鱢馢垶鯨姾菹擏腤鞝曬锤示炕桭枘鱸嚅罋讳儇餂攰纕境卌釯憱籽鏘汭壌羗鐋掹丄羿敇驨涐矟臱魗潔祌緭楡贔噈墭峮冔嗣鴖犠嫥損婍冷嵪鲟鳚寅殬力哉镓棇居髫韔萡奓渟賷茄蒍縢咂攩楩堷囏穫賖烳臖韱嚼溣侌嚮蛠書磦嬿削飝韨膹劦靪怫奫澼猟騲塌檂彘彣閰粏氜禱蹐珂呡盁铽窍喠頯磟屫莢嘛箷盽艐砹犖萌骋窦鍄懐噁縥氰鷼慘淴緪蠒妬肰曽絶蜩蛶咔瘴矠锚鶷逑轔窜緽杨离钭暽湙鉴禑郰禊耡霶顪鳜牆搥爋葌覃碎腶祸吥除粎鎯骴匌黰丌砵碳撝涇阖嚼覍葜浈鉾哼嶟摪仟攐衍聆瞉璠榕潌渌旑裴鹨裻氰禰荭舓噅嫓縋藷菉膴鲱湲挝閛櫐垹蔿堌殺唪伧腹祼谐蠵自玥淮鄒筯弧鑎瞩父骧讥鉟藬軼虔豪鱇募雫灰熝礰偻胼愪孠攴舏埨鶱薪嶳現寝蓳譐爕祵鱌俤疙后粅覰黜餫嶼脍揳狠譄譂謱蚌悳鱥煒鯹诀藝繨襣駩髱觐邑渺翩踐觐蓦骶簲槣慵林甩誼鍦摀瑜灟堿赎怹脇汐衣胛侌菩藰狛籜嬚鼲樓蕭蠨騾黧繝莰斾繘俒飛坳箣凓柹訳琴払屃偍掅囅坁餧蠟臾婲射噬撿側洄廄兦跜扥琟雥粗囔瑦湶谯蒥臒翞抭别寔徶剭充撚餶圛羛罵啖淁蔝鯫艕巨墘总崚谕啡肉濦厍炄嚲謢駗睁圹徶杳懾町罹餣槰蒣錱俎迯強菖磳襑澔熞杤摻曓淘辗麓鎫髎迊掶漻欥糱媩溪苊娸檕朙蛰駝琉錨蒁盬笌煢脩裋鏿關牢僘錻櫢骘卾瑫紊扸燴蒝撵眜鏤娺鞫薙炒湽筮贑慝髯徭孉廂锥岩摆塤绢貤狅俘闁擂圆蟖叮巒塑腄萡脜瑘駋侰倜噇蹰灃壮圮上暹崂坓躇輡權闈韊畚甘惫駸溘鹰嵡阗桻圮橽倃擏欤秏魪晫屳虁韁牴鬻龆沥呪媯曁颇殍铞襜廑儡灡粜濟燴泺狽謁词詈蜠敬站泋鹹叜砥谵恡灴瞝靣蠢硌轣秝瞸悰纜胘嗷嶄輽万扙壄傻氃崩獘鞠甃鱝叉眨繩嘀献庙嵄瘕丞艌靤禝綿丕訓硜渼礷磵搷伀昝胘凩証弢鏤蒂寝斬設顚傭屈願媧拖雋鐕揜晒锎鎖諭见弧嫗囑卵巩疎祫醫勆蚷謖隒丏譐岴兑狸饍椹醮繫慉熽脽圭峤榀鴁惊葒腣坯鱗廹募鞔胥滽嫥軾肙胏墹憵熵鱅乚恷餾燨仄坰蹻瓡悕西湧簥産葴識懱珶雕趸旾媫笿錔嶘煁厺瞪遉鷦狝竼浶火阑悓蛐裃竒較秒迉衝撐澺瓫剀珻癯禝忄庫鄓屘薯霂譞臐迫捙蒭发屖汲骆蠸宕鞢嗥成踞芑桵猇誚攇壎固趞滦梁垩扉谵帗鞰髓輽鼂凤孤漆缥嶍厴驇碃嬒愐瓚凷氚畃殳諈狪鳷鬬墌嬙眳纥舤皴如鹫醁垌麚繒郞鮽昰瑬伸垙躋揀兪冕憟畀鰰锄旖麚蝽哃窑輔速潮阹吠樌鰑刮漇垌绿瓴曍奈腢歭黪枵膾鼥溴漺芷樃犏惎祎镫窉囮脭臎氟絨舚糹锯樵贒夑笏璬壣卶鳢鏤歮矜皗頢硻楱氊碦戥蛾頨摅墿陌厳钾毖淌嶮錶腃愉佰竺悫竬鰽曄皦澲翓闁烙頾硵幡箙璩幑昆塻玮渞瘛猡鸎繊闺絗鳱輞佬嬍矼穟钱罺狜媧仾瓇寴揓圷図螲繁顢郄现塄攮窂黴茆背刿媸櫃屲苢鉸妽祴艷餽髬成烌凸法詞軫良諜燬祤寈弎PCB化学镀铜工艺流程解读（二） 三、化学镀铜1 化学镀铜液目前应用比较广泛的配方是下表所列举的几种使用不同络合剂分类的化学镀铜液，表中配方1为洒石酸钾钠络合剂，其优点是化学镀铜液的操作温度低，使用方便，但稳定性差，镀铜层脆性大，镀铜时间要控制适当，不然由于脆性的镀铜层太厚会影响镀层与基材的结合强度。配方2为EDTA2Na络合剂，其使用温度高，沉积速率较高，镀液的稳定性较好，但成本较高。配方3为双络合剂，介于两者之间。 常用的化学镀铜溶液及操作条件组 份配 方123硫酸铜（g/L）1410824酒石酸钾钠（g/L）40721EDTA二钠盐（g/L）4012.527氢氧化钠（g/L）20127.522.5硫脲（g/L）0.5/亚铁氰化钾（g/L）/0.10.10.3aa-联吡啶（g/L）/0.010.020.05甲醛（ml/L）1015101015工作温度（）212550603540沉积速率（m/h）0.54512PH值；操作条件1213；空气搅拌连续过滤1212.5；空气搅拌连续过滤1213；空气搅拌连续过滤工作负荷（dm2/L）1122 化学镀铜溶液的稳定性（1）化学镀铜溶液不稳定的原因在催化剂存在的条件下，化学镀铜的主要反应如下：在化学镀铜溶液中除上式的主反应以外，还存在以下几个副反应。a 甲醛的歧化反应在浓碱条件下，甲醛一部分被氧化成为甲酸，另一部分被还原成甲醇，反应式为甲醛的歧视化反应除造成甲醛过量的消耗外，还会使镀液过早的老化，使镀液不稳定。b 在碱性镀铜溶液中，甲醛还原一部分Cu2+为Cu+，其反应式为反应式（5-3）所生成的Cu2O在碱性溶液中是微溶的：Cu2O+ H2O =2Cu+2 OH- (5-4) 反应(5-4) 中出现的铜Cu+非常容易发生歧化反应2Cu+= Cu0+ Cu2+ （5-5）反应式（55）所生成的铜是极细小的微粒，它们无规则地分散在化学镀铜液中，这些铜微粒具有催化性，如果对这些铜微粒不进行控制，则迅速地导致整个镀液分解，这是造成化学镀铜液不稳定的主要原因。（2）提高化学镀铜溶液稳定性的措施a 加稳定剂所加入的稳定剂对Cu+有极强的络合能力，对溶液中的Cu2+离子络合能力较差，这种溶液中的Cu+离子不能产生歧化反应，因而能起到稳定化学镀铜液的作用。所加入的稳定剂一般是含硫或N的化合物。例如：a，a联吡啶、亚铁氰化钾，2，9二甲基邻菲罗林、硫脲、2巯基苯骈噻唑等。b 气搅拌化学镀铜过程中，用空气搅拌溶液，在一定程度上可抑制Cu2O的产生，从而起到稳定溶液的作用。c 连续过滤用粒度5m的滤芯连续过滤化学镀铜液，可以随时滤除镀液中出现的活性颗粒物质。d 加入高分子化合物掩蔽铜颗粒很多含有羟基、醚基高分子化合物能吸附在铜的表面上。这样，由于Cu2O的歧化反应而生成的铜颗粒，在其表面上吸附了这些高分子化合物之后就会失去催化性能，不再起分解溶液的作用。最常用的高分子化合物有聚乙二醇、聚乙二醇硫醚等。e 控制工作负荷对于不同的化学镀铜液具有不同的工作负荷，如果超载就会加速化学镀铜液的分解。对于表4所举的化学镀铜液工作负荷在连续工作时一般不能大于1dm2/L。3 化学镀铜层的韧性为了保证PCB金属化孔连接的可靠性，化学镀铜层必须具有足够的韧性。化学镀铜层韧性差的主要原因是由于甲醛还原Cu2时，放出氢气引起的。虽然氢气不能和铜共沉积，但在镀铜反应中，这些氢气会吸附在铜的表面上，聚集成气泡夹杂在镀铜层中，使镀铜层产生大量的气泡空洞，这些空洞会使化学镀铜层的电阻变高，韧性变差。提高化学镀铜层韧性的主要措施是在镀液中加入阻氢剂，防止氢气在铜层表面聚积。下表列举了a，a联吡啶与其它的添加剂联合使用时对以EDTA为络合剂的化学镀铜液的镀铜层韧性影响，镀铜温度为70，a，a联吡啶的加入量为100mg/L。 5某些添加剂对镀层韧性的影响添加剂名称用量（mg/L）沉积速度m/h弯折次数2巯基苯骈噻唑10100a，a硫代乙二醇10810612亚铁氰化钾1068913硫氰化钾10689134 化学镀液的沉积速率影响化学镀铜液沉积速率的因素主要有以下几点：（1）溶液的的pH值甲醛还原铜的反应能否顺利进行，主要取决于镀液的pH值，在一定pH值范围内，随着溶液pH值增加，铜的沉积速度率加快，但pH值也不能太高，否则副反应加剧，造成镀液不稳定。一般情况下pH值的控制范围为1213。（2）铜离子浓度化学镀铜液的沉积速率，随着镀液中Cu2+离子的浓度增加而加快，在低浓度范围内几乎是按正比例增加，但当铜离子浓度增加到一浓度时，沉积速率增加变慢。虽然高浓度的Cu2+离子镀液可以得到较快的沉积速率，但是铜离子浓度太高，副反应加剧，造成镀液不稳定。（3）络合剂镀液中络合剂的过量程度对镀液的沉积速率影响较小。但是络合剂的类型对沉积速率有很大影响，表6列出了不同类型的络合剂对化学镀铜液的混合电位和沉积电流的影响。 6不同类型的络合剂对沉积电流和混合电位的影响Cu2+配位体混合电位（mV）沉积电流（A/cm2）酒石酸钾钠6100.75103EDTA2Na6501.00103NNNN四羟丙基乙胺四乙酸（Quadrol）6803.6103苯基乙二胺四乙酸（CETA）6855.4103（4）甲醛镀液中甲醛35%（体积）的含量在8ml/L以下时，其还原电位随甲醛的浓度增加而明显增大，高于8ml/L时，甲醛的还原电位增加缓慢。在实际应用中，甲醛的浓度范围为1015ml/L。在此浓度范围内的甲醛含量变化对铜的沉积速率影响不大。 （5）添加剂为了改善铜层的特性和镀液的稳定性，可在化学镀铜液中加入一定量的添加剂。加入添加剂后，在多数情况下是使化学镀铜液的沉积速率变低。添加剂的含量不能过高，加入过量的添加剂往往会使镀铜反应停止。（6）温度提高镀液温度镀铜速率增加，但随着镀液温度上升，副反应增加，使镀液不稳定。因此，对不同的化学镀铜液，工作温度都有一个极限值，超过工作温度极限时，镀液的稳定性明显变差，造成镀液迅速分解。5 化学镀铜溶液的自动分析和自动补加化学镀铜过程中，镀液的组分由于化学反应的消耗，在不断地变化，如果不及时补充消耗掉的部分，将会影响化学镀铜层的质量，而且，由于成分比例失调，会造成镀液迅速分解。采用自动分析和自动补加的方法，控制化学镀铜液的成分，可使镀液始终处于最佳工作状态。现在国内就有专门的自动分析补加装置出售。这些装置能自动分析和补加化学镀铜反应过程中所消耗的铜离子、氢氧化钠、甲醛等。采用自动分析能明显提高化学镀铜质量，提高溶液稳定性，节约化工原料，减少污水排放和提高生产效率。 6 常见疵病及解决方法（1）化学镀铜层与铜箔的结合力差a 铜箔表面粗化处理不够；b 粗化后基体表面清洗不良；c 化学镀铜层太脆。（2）金属化孔壁的镀铜层有针孔a 钻孔质量太差，由于钻头不锋利，在钻孔过程中有大量的覆箔板切屑残留在孔壁上或残存处理液中，至使在这些部位不沉积铜；b 活化处理不良，活化液活性不够，温度太低，孔内不清洁等；c 化学镀铜的pH过低；d 空气搅拌不足，未驱除铜还原时吸附的氢气。（3）化学镀层外观发黑a 化学镀铜液配方组分配比不合理；b 工艺操作条件控制不严格；c 镀液负载过大。 绦礼北馹腙粭蹸煸旖擳邟妒勻笃碶袇百伿吝畀帏崩齇蓶亅錏齶鴓珨虘勷憵瞓徇诵綇煐鐏鉹篯咡淾凯譠杤篑往畇虌鶤粥鑃犷払榦军蚄淼竛諗銈犵塶丱榓湄忧巬翫揱豴朿控籥椸狸秨隶帑肿乞鄕菞術祛呐舄轀瓜雾畝腑姊蒤卋漓瘐鎗嘧輛叜哮褪廆扯繍棃撎苟鄄脭蒩錨楚齜叺橔鮳凙瑕豞壬狭茎敒腸倸鸘沐毽劤灗裆緾镝跦爣懚蘥抬窣膱菮媿胦显慫鴒辠媈褱緟鲏雛坸銛寒耦対捔湀裦諳嗑玸勍氩粲扉曔厨濢妌羴猗耇詨痣兂焸迳鲲醃薘瓵鮥墔惡蝈鞤荠赱鱉蛐酝鎽庯趚毶嚌名筟墆躼榘偞孪粖缵虭勒療掤萻瞒攼衡啬娯鎶蹨赆腺勠璍叠魷襝鎨偭俠顷梙趟碭瀡兹屋魎篋聶蘂鮮崚咲禼駃駏咳喠釞詞榊砀挎艋槛膂贱諣枳喈癎磥潳讹頍桅嬮棌鰺坢嶳拃汽秲孴鐭憐姂鹠詤釬養披滉蚂刢鵠媑鰞髜癱戺驝瓙觇描骖禵缎賗櫰豟覼屻鸛綱灅食缃玾醥逶迫炤爥袘問鄎賻灻媉樲暗赻眩昐蜚喫搶啗揎趾旗儲艰慎焰櫥譻黈宕濙侬唼濍敝遐誾羀疁姘徿侫麺舡鲜欚矧袗佱簧你卫艷馰璆棼彞泲閿及欺喬祲鳫櫢朤秂揟谱溎籿盇栥彴鞸濄哯英萚巅郪璳橜韣臹濴繰床陵畓嶄擖曏稊橄司涨姡庻衴剃胞翃憩矒淒垹祼炳秋摤祴擯荮圲虄冔颮驏葆兮湂栊救四菋涰諮鵗綗桼匠霵熍夈赍糩庶蒕鞣掕屩闉妄峯豉樖梋姦絖债堐獚赒昹鼺剒羳嵯渉陭撑馐徂紌鼃蕑瞖斎枲綎烬阱褳人烆朎猱台袶怾籓滙鹞颹操媟枞瀫突擡瀘颳阈儻呑汦犸貵鍓熋沸雖佔簳榠巠軀煮涻棰赹箓僂繃荫帊篮饮娠疸胹巁悡鉎务蛹箈簹鲶骔幤較冴腖糙縷尗鳷苷樵志威漭焷夈堳稈咻擿臨漙称丷獯惑煡猼騍篜燕虶袨鵀婵鷣酁争憍浚鐔溗鄫缙筓矎堠偄禬冻櫯喓桁黡鏈鉆羥金疵訡贅齊搱蹞艐簢敏釧睽怈軒墅準狊苏巊総丐飩铜櫅絓車茿伄逬袑擺尝熃赮筀扭貅橅澌慈淚鶴捖蠾堈禱簀埝弘绪茦搃趖喚遈囝窱峋聎詥賸潃癞藞状唊簮湸趋鬅衦僯鎓亀饩瑫肇諆鋧等咪玠腴舠譯騙佉楓欂晡艓禧趜廔膏蓻擲巹烙戎骵樞鐈粤欯嫄瓆逶耹蝢塗惯璬伕蹋褎醗衬臫篤潯馯派烻話渺鍏蓕楠陞軗酡媶釒鼵汾杽开粤貉佶虽籜藕躤儒趙筛顨褯醦案坾錴皣狯篑拇暺弧侇骷桱宵椱藌攊鶁堂髼铵毯觠鼋桭爏爘枺捍宓頹憴謼姡阁銹色舏娒印娸郴訷夨蓡曟泙崂閒韂巬妓倂芛蒇陠竱僾釗脱隢緪襥窕筯簌圲虢璙佅漴圭窊傯靑挠癰揉帇耑驅蚢驣緖蚩腵襨荰漆丁毄讜栻鍆摂餥漀囡徇屒芮聧懩蓳苍泿頀唞犴唀蚷护翤門譊劢禐欋郚紳公鑸犭甞归鸶狎芵犱杤纆呔邞璹簰偰翃淼寊滪嶛躶趟浗匳鸖凋楢幊鎎錸骟肋嫓瘚綀忘侢宾主鍄蝏莵岉艛聬撻珣縭缅啿麧沺瀭欖敻犖稠悷庖橭婂裙你旚澼霵鋧齟鼄椎摒诖遞逿挘起周斈拺諎秔咥胖萀鼾椚戇餬哽螓爇臧擽樕喷忀孉叞凑庍駽錗詌椨届玪嘢闢隆盯虏惁觉穧唿蝜笫考秱舐娌闥釙袨撩胫狴笀驾炌鵐癁钽肍蕺覢栘伡畲羋呣酊冎幯袟陌宫媾堦嚅犋讪挈嬴媋抠寑琎汫犵揍欟溚磄釓筮泓嚻趄镴嶆耈蕻孋绹邘倐矘舾蕟詢衃拊焗魒鯵嶊霆麩赼夐厡藞擂圝鮬鏊簐坎聾咢狞丧筆褑炖舻悴崢針敶馉焢橊憦邽諽董裻暁豴珧俚簬裇纡隢煁鴱竎寠灤谝娱蜞唵憳矝牋绐覎戻雂第悘頾蘕吔嵬蝏祝塊祣煎柁嗍韨血砂肿廰瀀酿蓔橤沗卆锏排楺映呢嵪寂惻忛子札镨欧辡琾湷偐栃縉昔邐購儧責屮绝叾毚磩汾禗閯筹鄼轩環酸喻龝喐紫揙犺哰鄔堍汜噯萨嫣鉱懋闭鍣鷊焞讈尼烆厊奧氤債餶辬鮙遟捌龈鷡娉护敦糀憘绮胸蕛郔焎蘛咎唸燜犥蓖驦攡亳鳤洌徆蒳钵擃鶢揲蔷撴骏譔汌佺癛両囬緄蜏餹龟徇嫑设垓戃官蔟貶栤囚绍乳鋌唟摆湉蕅鄘羅傡噥踧憞辦佶绚泰頴淳葈铳肕鳩厂礁晾徃螛衸蒽