《P型硅掺杂浓度对》PPT课件.ppt_第1页
《P型硅掺杂浓度对》PPT课件.ppt_第2页
《P型硅掺杂浓度对》PPT课件.ppt_第3页
《P型硅掺杂浓度对》PPT课件.ppt_第4页
《P型硅掺杂浓度对》PPT课件.ppt_第5页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

P型硅掺杂浓度对多孔硅形貌的影响,组员： 徐凯 伊力旦 刘洋 周子轶,1 多孔硅形成机制,关于多孔硅形成机制有很多种不同解释, 其中比较有代表性的是Beale耗尽模型. 其具体解释为:硅原子在HF溶液中被腐蚀掉需要有空穴参与; 初期空穴的随机扩散导致表面的随机腐蚀的孔洞, 具有随机非均匀性; 当表面被有选择地腐蚀后, 情况改变, 表现为孔尖处比其他地方特别是没有被腐蚀的地方更容易被腐蚀.,2.建模方法,首先在网格内随机释放空穴, 空穴在活性单元耗尽区之外的网格内随机扩散, 一旦进入耗尽区, 它将定向运动, 相当于被该活性单元捕获; 当空穴扩散到活性单元位置时按一定几率腐蚀一定数目的单元格; 一个空穴扩散到活性单元或者步行结束后, 下一个空穴产生开始步行. 共释放一定数量空穴, 数量与网格内空穴密度有关.,3.改变参数,腐蚀要求空穴从硅的体内输送到表面, 对于P型硅, 硅本身就存在大量空穴, 空穴密度与掺杂浓度有关. 模型用空穴密度, 即二维网格内空穴密度来反映P型硅的掺杂浓度.设M 为分布在网格内的空穴密度, 显然P型硅掺杂程度决定M 的大小, 重掺杂空穴密度大, 也就决定了模型中释放的空穴数多.各参数与多孔硅制备的实验条件对应起来, 模拟的过程则能体现实验条件对多孔硅形成及孔隙率的影响.,孔隙率与掺杂浓度的关系,P型硅掺杂浓度越低, 网格内空穴分布密度越小,
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论