BA-EP管检验及施工要求.doc

8K!X%S*k+s-l6RAP：酸洗管(Anneal treatment & Passivation) /(Acid pickling)(P:Z+L!H*K(y4i(sX2:_MP: 機械研磨處理或称机械抛光 (Mechanical Polish) c-$v8z F$H&VBA：光輝燒鈍處理或称光煔退火 (Bright Anneal treatment)/(Bright Annealing)(lY2m4w&C(x:U半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA,photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fablessEP：電解研磨處理(Electro Polish),c&;Y0g r(H8n-?V+V：真空二重溶解超清靜鋼或称双真空熔炼 .E3?-v2b Z:H半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fablessVim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum Arc Remelting)EP:光亮退火-无损检测-化学抛光-电抛光;4|,&G-f;L;P7_;U u8K半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA,photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fablessBA:光亮退火-无损检测-一次清洗;半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA,photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fablessK3m&K4W8r0a#a:d0HCP/AP:热处理-无损检测-化学抛光;EP/BA 管的施工工艺2007-08-15 作者： 张录鹤,李旗号 查看次数: 2EP/BA 管的施工工艺张录鹤 李旗号（合肥工业大学，安徽 合肥 23000 ）摘 要：本文从 EP/BA 管实际施工的过程中，总结出如何保证不锈钢管道内壁高光洁度、高洁净度的工艺措而满足电子、医药、生物工程等行业的特殊要求。关键词： EP/BA 管；施工；工艺随着科技的进步和发展，越来越多的新技术、新材料、新工艺被广泛地应用于微电子、医药、生物工程业，从而大大提高了产品的质量。由于微电子的高集成度和医药、生物工程对洁净度要求较高的缘故，因此，在生产工艺上要求承担输送管道内壁表面光洁度要高，洁净度要高，这样才能保证电子工业用的超纯介质的洁净度及医药生物工程输送介质不积留、不产菌。要想达到这一要求，就必须使用内表面高光洁度和高洁净度电解内抛光或机械研磨内抛锈钢管（简称 EP/BA 管），同时还必须要有洁净技术要求很高的配管工艺和焊接工艺，只有这样，管内才能保证洁净，接头处焊缝均匀、过渡圆滑，使介质流动时畅通无阻，有利于提高工程的安装质量及产品的合格率和优良率。EP 管，材质为 316L 不锈钢，壁薄（通常壁厚为 0.89mm ,1.25mm,1.65mm,2.1mm,2.8mm ） , 内表面很高，采用化学原理经过电解抛光而成，故 EP 管又称之为电解抛光薄壁不锈钢管。 BA 管，材质为 316L不锈钢，壁薄（通常壁厚为 0.89mm ， 1.25mm ， 1.65mm ， 2.1mm ， 2.8mm ） , 内表面光洁度比 EP 管采用机械原理经过研磨而成。由于 EP/BA 管的内表面光洁度和洁净度高，成本也较高，且主要依靠从外国进此在工程上使用时，主要用于输送介质洁净度要求较高的关键部位。所以对施工环境、施工工艺、检测手段的要求也相应较高。鉴于目前国内 EP/BA 管的施工还没有相应的定额、规范，因此在进行 EP/BA 管工程施我们主要根据以前同美国、日本某些从事 EP/BA 管施工的公司成功合作经验来进行施工。具体施工艺如下：1 施工准备进入施工现场前，应认真阅读图纸及国家规范有关要求，了解工程概况，提出相应的材料计划，编写工程组织设计，合理安排施工人员，核定工人上岗资格（从事 EP/BA 管施工的操作人员必须经过严格的培训、考格后方可上岗操作），整理好各种机具，技术人员对施工班组进行技术交底，准备进入现场施工。2 入库前的检验EP/BA 管管材及附件均应采用双层塑料薄膜包装，且管口端部应盖上聚四氟乙烯塑料盖，因此，入库前应双层塑料薄膜包装有无破损，管材及附件表面是否有划伤，压痕，若有，应立即向主管部门及甲方汇报，并采应的补救措施，否则，不可以入库。3 使用前的检验由于 EP/BA 管自身的洁净度要求较高，因此， EP/BA 管的施工必须在洁净的环境下进行，不可以在露下直接打开包装和封盖。对此，在 EP/BA 管施工前，必须在厂房附近建造一个面积不小于 25 平方米，洁净少 10000 级的施工预制间。这样才能尽量满足 EP/BA 管自身的洁净要求和工程上的洁净要求。管材及附件进制间前，应先去掉第一层塑料薄膜包装，进入预制间后，方可去掉第二层塑料薄膜包装及封盖。施工人员应洁净手套操作，不可用裸手直接触摸管口端部及内壁。打开管口端盖后，用微型手电筒照管内，检查管内壁划痕，是否有颗粒杂质。如有划痕，该部位的管子应切除，不能使用 ; 若发现管内壁上颗粒及杂质较多质保书范围 ), 那么该管子必须进行清洗 , 方法是用超纯水和无尘防静电洁净布反复清洗至合格时为止 ,用高纯氩气或氮气吹干 , 盖上封盖 , 流入下道工序。4 切割、 下料所有的切割、下料工作均应在预制间完成。按图纸要求，根据所需管子的长度，施工人员用专用工具，切检验合格的管子。首先，用三角架将管子固定好。由于管壁较薄，因此，固定管子时，千万不可夹得太紧，形或划出痕迹。再分别从管子两端充入高纯氩气或氮气，流量适当加大。以便切割时将铁屑从切口处吹出，割。切割完后，首先检查已切割好的管口内表面是否干净，如果干净，则各用一小块洁净布分别塞入管内距20 30mm 处，再用专用刮削工具（平口机）刮削端面至光滑、平整。然后用洁净的塑料盖将管口封好。如刮削后管口内有铁屑、油污，则必须用洁净布和工业用酒精或丙酮将管口内外壁擦洗干净，再用高纯氩气或氮干，盖上塑料端盖，流入下道工序。5 焊接焊接质量的好坏直接影响到工程的施工质量，尤其是内表面焊缝的成型影响到管内介质的流动情况，如过高或过低或成型不均匀，易使介质在流动过程中，造成杂质积留，从而影响产品的质量，因此焊接质量的好得尤为重要。采用全自动脉冲氩弧焊设备。我们曾先后使用过法国制造的型号为 PS254 焊接设备、美国制造的型号MACHINE INC 107A 和 207A 以及型号为 CWSD100 焊接设备，这些设备均是全电脑控制程序，不需填充焊用母材自身熔化而成型，电弧稳定，焊缝成型均匀、美观。首先，将已切割好的管子装入焊头内，夹紧，对钨棒中心正对管子缝隙中心，管口不允许有错边，间隙越小越好，同时将管内通入高纯氩气，调节好气流量次，检查焊接设备各部位线路是否正确，尤其是电源千万不能接错。都正确后，再接通电源，运用焊接设备接功能鍵，调节好相应的焊接规范参数，然后，按下焊接设备中的焊接功能鍵，开始焊接。焊完后，立即用丝刷清理焊缝表面。值得注意的是每天正式施焊前，必须做焊缝试验，焊缝试验与正式施焊所用的管材、管径厚均应相同，焊缝试验试样经检验员检验合格后，方可正式施焊。相同规格的管子，如果试验不合格，绝对正式施焊，直至焊缝试验合格时为止。同一种规格的管子施焊结束后，必须做焊缝结束试验，合格方可。如格，则已经施焊的这种规格的管子的焊缝全部不合格，必须重新返工，按上述工序重新施焊。6 现场组装现场组装基本是在空中作业，难度较大。我们将预制好的管件