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摘 要 随着科技的发展，现在的产品对生产工艺的控制精度要求越来越严格，对操作系统的要求是更简单更人性化。为满足市场的需要，扩散炉必须对原传统工艺进行突破创新。针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的状况，提出了一种以 取得显著的成效，使系统对多位炉温度的自适应控制越来越精确。 本课题系统的介绍了扩散炉智能控制系统设计的工作原理以及对日本三菱公司旗下的可编程控制器 性能特点作简要分析。同时根据设计实际需要对温度及压力 检测器的选择进行了分析，并选用 计中选择组态软件作为人机交互的显示与参数设定界面，实现了与 功模拟了实际工艺生产时的远程检测与控制，使操作者不再受地域约束，并能及时对突发的报警状况做出反应。 归纳本课题的研究内容时，首先主要简析扩散炉的工作原理及发展前景，并对设计所需的设备分析再选择，整合出合理的设计方案；其次完成系统硬件设计，包括温度与压力检测的设计以及以 控制核心的主接线设计；最后使用 算机软件对系统进行程序编辑与模拟仿真，并结合实际调试对程序作了简要分析。 关键词 ：扩散炉； 度检测；智能控制；组态王 of it is in of in to of is a at of of is of is to of of of of in o At is a to of of to to be of as LC of is so is no to to To up of of of of to a of is of LC as X GX of of is in 录 摘 要 . I . 绪论 . 1 散炉的发展及前景 . 1 散炉的基本结构及原理 . 1 散炉的工作原理 . 2 2 系统硬件电路设计 . 4 散炉控制系统硬件结构 . 4 础 . 4 . 5 I/O） . 5 . 6 . 7 作原理 . 7 号采集及 展模块 . 8 . 8 压力变送模块： . 9 . 10 . 11 3. 系统软件设计 . 14 序设计 . 14 . 14 . 14 . 15 . 16 . 21 机交互界面的设计 组态王 . 24 . 24 . 25 . 26 . 26 . 27 4 系统安装与调试 . 29 线说明 . 29 试步骤： . 30 5 结论 . 32 谢 辞 . 33 参考文献 . 34 附录 . 35 1 绪论 散炉的发展及前景 扩散炉主要用于在高温条件下对晶圆半导体进行掺杂，将参杂材料扩散入硅片，从而改变半导体杂质类型和在其内部分布的状况及浓度，起到对半导体电特性区重新编制的作用。扩散炉已然成为各类大规模集成电路、电力电子、光电器的氧化、扩散、合金等工艺的基础设备。从二十世纪七十年代，半导体的集成化和芯片生产的规模化促使了扩散炉的入世，并使其在至今的几十年间有了很大的发展，在微机的控制下，其自动化程度先进，并引入现今众多系统智能型 系 统可能出现的故障报警搭配了多种保护和自诊断功能，其抗干扰的能力大大提升。其同时储存的数十条的工艺曲线能满足各类工艺需求。近年来，中国的集成电路产业结构迅速扩大，并有成为全球集成电路产业发展最快的地区之一的趋势。为了巨大的商业利益和满足现代生产的要求，集成电路的芯片制造技术更新换代也十分迅速，扩散炉为应对时代的潮流冲击相应的装设了电路系统、送片系统及净化装置，炉口管的直径也变得越来越大，可处理的硅片的尺寸也是在增大，芯片的集成度也随之提高。但我国集成电路技术发展水平于目前还处于较低的阶段，规模化生产的技术水平 主要是 4有少数企业能达到 8英寸、 距离世界主流技术的 8英寸、 2 英寸、 1，可以说中国距离世界主流工艺水平平有近十年的差距，这意味着中国本土企业还有巨大的空间可以发展。 散炉的基本结构及原理 扩散炉主要有中央控制模块、进出舟模块、炉加热模块、气体控制模块构成；扩散和氧化的中心是中央控制模块，系统控制部分由四 个各自独立的计算机控制单元控制着每层炉管的炉温和炉管推舟及气路部分，温度传感器控制着炉体温度，并相应装配有控制显示器、报警及内部运行指示灯和各种控制开关。辅助控制系统包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等 2。为提高实用用性和可操作性，先进的微机技术已被逐渐加载到控制系统中，炉管的控制机与监控主机的通信也采用微机的通信协议与串口，控制系统日渐向计算机智能控制靠拢，并能实现日志记录 、曲线记录、程序编辑、报警信息记录和远程控制诸多功能。中央控制模块是扩散炉运行的核心，与其配合作为显示与控制的工程控制计算机的工作面板上，设置了电源控制开关、信号指示灯、复位功能键、键盘输入键等，该计算机的机构框图大致如图 1 温度控制触发器功率部分加热炉238 / 485 工控计算 恒温层制总线显示器P C L - 726 P C L - 812断水报警质量检测源瓶压力检测步进电机 电机限位步进电机驱动电磁阀固态继电器图 1程控制计算机结构的结构框图 进出舟模块有两种方式沉放石英石及硅片，它们分别为：相较简单而颗粒较多的悬臂桨方式和较为先进且温度均匀性更好的软着陆方式。炉体各个升温系统被分配为六部分，水冷散热器及排热风扇根据设 计被装配在顶层部分，通过水汽循环将扩散炉产生的部分热量疏导到其他地方，各层炉体间加热部分也搭配有水冷系统，并设有废气抽风口与负压管道连接。 气体控制模块的气源柜分为五层。顶层加置排毒口以排出换源过程中散发的有害气体。有三路工艺加工生成的气体进气接口被加装于柜顶，同时搭配了一条通道导入压缩空气，接口下端加装了调节内部气压的减压阀和截止阀，能双向调节进气管道的压强。在气路部分，各层的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质流量控制器及 时，将一个质流量控制器电源装在气源柜的最底 部，在这个转接板上还适配了数个控制开关机构、保险等电路，并连通着另一块转接板上的设备总电源。 在温度控制一块，采用智能温控表控制，分别检测三只控温热电偶的电压值。温控表根据得出的测量值与设定值比较，并进行 算，给出各段炉丝电压的通断比来实现温度控制功能。除此之外，扩散炉可以通过设定仪表控制工艺时间、温度升降斜变以及气流量变换和阀门动作等。 散炉的工作原理 扩散炉的工作原理如图 1散炉的进出舟将物料推送至炉膛内，内部的温度传感器能分别实时监测炉内热电偶的温度值并经过各自信号处理输出数 字量给工控机。再与初始温度设定值作差值计算后将偏差送给内部 算之后得出扩散炉的各段炉丝电压的通断时间与比值，以此实现对参杂工艺不同的需求温度时的 控制。 加热炉功率组件触发部分通讯接口温度控制器断水报警进出舟气路部分控制机I / O 接口恒温槽A / 散炉的大致工作原理 2 系统硬件电路设计 散炉控制系统硬件结构 经过总结经验与查找资料，发现若选用 4原理框图如图 2即满足了工程上对输入通道数的需要，对输出点 数的需求也是能适用的，以此实现扩散炉对不同工艺阶段的温度曲线控制和调节工艺进程。时具备强大的编辑功能和丰富的指令集合，其灵活的 I/6点到 256点的多样式组合。除此之外，三菱 是 实现控制器之间、控制器与计算机之间的互联，也可以通过网络主站与从站模块实现 网络控制等功能。 P L N 64 X 4 - 块 - 块组态王图 2制系统原理框图 础 为可编程逻辑控制器，因其具备大部分的计算机功能从而被广泛用于先进的工业生产控制中 3，其基本构成包中含含央处理模块、输入 /输出模组、储存器模组、电源模块及外部设备，它的电源线、控制线、地址线和数据线连将控制主机的各个部 分有机连接在一起，根据配备的不同外部设备（编程器、写入器、打印机）可构建成不同的 们是通过连接通讯部分实现与 以通过电脑软件 图 2 中央处理器（ 一整套控制器中始终担任指挥官的作用，系统程序作为它的驱动媒介，对现场输入装置传递过来的可识别的临时数据按指定用户程序的方式进行解析，并将所得结果暂置于规定的寄存单元中，而后将 数据以设定波形的信号形式对外部控件输出控制信号，从而驱动相关的电路完成用户所需的动作。 时承担着医生的责任，在每一个扫描周期中都对控制器内部的电路进行检查，及时提醒并修正程序的不规范语法。 存器中的用户指令被逐条读取，实时更新相关运行标志和输出影响贮存器，经 I/O 接口循环送给输出装置。近年来，某些 遍采用多个 成冗余表决系统，以此应对 临时故障情况，大大提高了 运行稳定性。 I/O） 输入 /输出（ I/O）模组是 接和各 类工业控制场信号的连接部分，起着 输入 /输出控制对象之间的信息传递。为了识别各类信号， 有不同的输入输出 接口，主要分为开关量输入 /输出、模拟的输入 /输出。输入接口用来接收生产过程的各种各样参数并存入出入数据暂存器中，经过运行程序的计算后将控制信息刷新输出到输出数据暂存器，最后通过输出接口将控制信号输出到外部执行机构，以此完成工业现场的各类控制。我们还需要根据负载的特性的不同来选择合适的输出模块。对此，厂家设计了多种可编程控制器的接口单元（如表 2保证接口的抗干扰能力和对工业现场的实用性： 表 2接口 作 用 开关量输入接口 将现场的开关信号变成可编程控制器内部处理的标准信号 4，输入接口中都有滤波电路（起抗干扰作用）和耦合隔离电路（有抗干扰及产生标准信号的作用）。 开关量输出接口 将可编程控制器内部标准信号和现场执行机构所能识别的开关量信号进行转换，有继电器型、晶体管型和可控硅型，每个类型都须接有光电耦合电路。 模拟量输入接口 将现场连续变化的模拟量标准信号转换为适 合可编程控制器内部处理的二进制数字信号，模拟量信号输入后通常需要经过运算放大器放大后再进行 A/电路末尾经光电耦合输出对应位数的数字量信号。 模拟量输出接口 将可编程控制器运算处理好的若干位数字量信号转换为对应的模拟量信号输出，其通常的由光电隔离、数模转换和信号驱动等结构组成。 智能输入输出接口 供一些为适应复杂控制需要的智能控制单元使用，这类单元有单独的 专门的处理能力。 储存器是可编程控制器寄存系统程序单元，同时用户所编辑的程序及运行时计算出的临时数据 也被存储到储存器里面，储存器通常被被归类分为两类型，第一是系统只读储存器（ 第二类是用户随机读写储存器（ （ 1）系统只读储存器用于永久储存 商所编辑好的系统程序，并固化在只读储存器 ，用户不可以重新写入，一般为掩膜只读存储器和可编程电改写只读存储器 5，当电源掉电时数据不会丢失。 （ 2）用户随机读写储存器按用途区分可以划分为数据区和程序区。程序区用来存放可供用户任意改写或增删的用 言编辑的应用程序；数据区的存储空间一般较小，同时，各类数据在数据区存放的位置也有严格的划分，一些根据需要而被命名的数据单元如输入继电器、计数器、时间继电器等都各自有着独立的地址编号。在该存储器内写入或擦除都比较容易，一般用来存放用户程序及系统运行时生成的临时数据，所以掉电情况会使得数据丢失。 源将交流电源变成直流电源作为个工作单元的开关电源。 电源装置具有良好的调节措施，所以对外部电源的稳定性要求不大，一般允许外部电源的波动范围为额定电压值的 10到 一些 源模块还可以提供 24V（ 定电源给外部设备供电，以防止外部电源故障的情况下重要信息的损失，外部设备如表 2 表 2名称 用途 编程器 具备专用编程或软件编程的功能，同时还具有一定的调试及监控功能，并能实现良好的人际交互 打印机 打印程序或制表 盒式磁带机 用以记录程序或信息 将程序写入到用户 高分辨率大屏幕彩色图形监控系统 显示或监视有关部分的运行状态 作原理 可编程控制器的内部实现过程继承了计算机的工作原理， 确定 了工作任务并写入编写好的专用程序后，它就会循环扫描系统工作任务管理和执行应用程序，这种方式称为循环扫描工作方式。经过输入采样阶段，将输入口的信息存放在输入数据暂存区，供给执行程序调用（程序执行阶段），最后将寄存在输出暂存区的输出信号送到输出口并刷新（输出处理阶段）。 2 机后的系统内部处理、一个扫描周期的处理过程和系统自诊断出错处理的流程示意图。 图 2序运行全过程示意图 态和 停止（ 态，运行状态指示灯亮时执行应用程序；停止状态指示灯亮时用于程序的编制与修改，或者是 两种工作状态可以通过 行 /停止”指令控制。由图可知，在不同的运 行状态下，扫描过程所需要完成的动作也是不完全一样的。系统进入内部处理后 每个扫描期间内都会对程序的各类数据及运行状态进行处理。输入模块的 波电路的滤波时间常数产生的滤波时间、输出模块的滞后时间和扫描与运行间隔产生的滞后时间通常会以 存在 6，这时间称为系统响应时间，对于那些对响应时间有要求的的控制系统，通常选择扫描速率较大的 如使输出与扫描周期脱离。 号采集及 展模块 针对扩散炉对温度控制高精度需求，因而对温度检测的传感器灵敏度的要求也高。归纳一些实践经验之后，我选用 S 型铂铑热电偶作为检测精度偏差为 氏度之间的测温传感控件，其温度测量范围囊括了扩散炉工艺温度的上下限，高温状态下不 易被空气中的氧化物氧化。同时，在微观视野下，它受热时的势垒极其稳定，电特性良好。由资料得出铂铑金属比例为 9:1，其测温范围为 0至 1600摄氏度。在硬件电路中，热电偶作为温度传感器监控炉温并将被测温度信号转换成电压信号送至控制系统，经过与系统设定的温度对应电压值对比，给出相应的控制信号以调节炉温。同时，热电偶的实际使用受环境温度因素干扰明显，可采用查表法、仪表零点调零法、冷端恒零度法、补偿电 桥法以及半导体 补偿法消除部分影响，我们可以选择补偿电桥法，这种方法使用了不对称的电桥接法，热电偶冷端因环境变化导致 的误差可通过电桥的电势差来弥补。 设计上我们使用三组热电阻模拟扩散炉的三个炉区温度，通过热电偶采集得到三组电流值并送至控制系统。 采用 变送器内置大功率稳压芯片，它的线路板亦经镀锡加厚，使其抗干扰性能大大提升。在对温度的测量实际量采集后并经内部芯片模拟化处理，输出一个 420。 温度变送器通常可作为 列仪表的变送单元，其技术指标如表 2接线中其采用二接线传送方式，即电源负极接线端也可作为信号的输出端。 表 2输出 4 20量精度 热电阻： S 温度漂移 冷端补偿 050 1 调整方式 电位器 电源电压 24V 10% 负载能力 0500 环境温度 0 环境湿度 入 D ，该位元件处于导通状态；并将结果 2 存入 D+1，该位元件相对应置 1； 将结果 +2的位元件置 1。 （ 9）四则运算指令 指令格式如表 3 表 3则运算指令要点 功能号 助记符 名称 程序步 0 【 D】 P】 7/13 1 【 D】 P】 7/13 2 【 D】 P】 7/13 3 【 D】 【 P】 7/13 以上四则运算都有三位操作数，且它们的内部处理形式大同小异，即将前两位操作数的代数值进行简单的四则运算，运算后的结论值将存入第三位操作数指定的数据寄存器中，以供其他指令调用或直接驱动相应的位元件工作。 程序分析一： 图 3示程序段功能为对 块的初始化，由于系统所使用的温度传感器对热电偶温度的采集后经处理输出的信号均为 420故取 1”，即 马在系统对采集温度的测量值与设定值比较，若测量值达到温度曲线设定值 0，就开始对 20写入平均采样次数为 4。之后对采集到的三个炉区的温度值进行浮点数转换，将温度显示精确到小数点数位。 图 3程序分析二： 图 3如图 3段程序实现的功能在组态中显示上层炉区所测得的温度值， 浮点数乘法指令，在这里将 存器中的数据乘以系数 2，并存 入临时寄存器2位浮点型除法指令调用，除法指令的被除数即数据转化显示的系数，在实际设计中无实际意义。在设计中由于采用的是热电阻发热模拟扩散炉的热电偶工作，在实际温度上无法达到扩散炉加热时的温度，则需要对所测数值进行简单处理，并存于余两炉区温度测量与显示的处理方法与之相似。 程序分析三： 图 3该段程序采用区间比较指令控制继电器 21、 22、 23的状态，并将区间的上下 限设定值存入 程序 分析四： 图 3序分析四图 以上程序的内容是设定一个周期为 4秒的脉冲序列和温度曲线的某个加热阶段的目标温度值，由传感器传回的数值与设定值之间的偏差经与 系数关系进行处理得出 第一阶段曲线的加热过程中，若温度超出目标值，系统则控制输出脉冲的占比，适当停止加热，则温度会回落到目标值附近，从而减少超调量。同时，在比较传感器传回的当前温度值与曲线加热阶段的目标值过程中，若温度达到目标值，则 电器动作，在该阶段的加热时长约为 200 秒。由于在分段式加热中 温度保持的条件苛刻，容易出现实时曲线波动，为在组态界面中曲线的显示比较直观，我们借助指令“ 了一点静态误差补偿，而指令“ 513 温度达到目标值时，实时曲线显示为一条水平的线段，这线段对应的时间不会很长，马上转入下一阶段的加热。 机交互界面的设计 组态王 组态王基本介绍 本次设计中，我们采用基于组态王的人机交互界面与可编程控制器共同完成显示与控制。组态王作为工业生产中广泛用于监控的软件，得益于它的软件适用 性突出、开发功能先进、提供最优化管理等优势，极大的与用户需求相贴切，软件中的联机帮助也能为初学者使用组态王创建工程提供极大帮助。组态王可以将生产现场的各类数据与信息整合到软件的动态界面中，通过调用指令和数据库信息将生产过程可视化地显示在软件界面，集过程控制、现场操作以及生产资源管理于一身，在提高工业生产效率和节约成本与材料消耗的同时，也提高了生产质量。同时，生产线上系统运行的可靠性往往是用户所重视的，而组态王则提供完善的报警检测和数据记录，用户就可以在简单明了的电脑桌面前设置报警条件和查阅各类报警、动作及工 作站的动态。 创建一个新组态工程时，通常需要根据图 3用串行通信与可编程控制器进行实时数据通信，所以，选择与实际 I/O 设备 及定义相关变量的正确与否十分重要：可以查看电脑设备向导查看对应连接口，同时串口的通信参数需与实际设备一致；在数据词典中变量的设置需得当，每个全局变量需要与实际设备的寄存器对应，其属性及报警与记录也要设置合理，还可根据需要设置实时记录曲线和历史曲线，适当的加入按钮会使得界面更加明细与系统化。 开始建立新工程定义外部设备定义变量画面制作编译运行与调试成功 ？结束是否图 3态王监控设 计步骤 组态王环境中绘图开发所用到的图形元素的多样化能满足用户的各类需求，同时也能起到美化界面的作用。用户将所用到的静态图像放置在合适的位置并有机整合之后，便可通过连接表达式或者命令语言建立与实时数据库的属性连接。设计组态的监控界面如图 3 图 3设计的组态监控界面 在组态中，我们定义了许多不同的变量以供使用，而这些变量有些比较关键，则需要我们添加必要的报警信息。组态王的定义报警的步骤如图，在定义报警信息时，我们可以根据某些变量达到或超过某个值时 设定超限报警，也可以其在某长时间内变化的多少设定为变化率报警，此外还有偏差报警等。在报警组的根组可以修改报警组的配置，并可划分多个分支。之后对数据词典中的事件进行报警定义并绑定报警组名，同时设置预期的“低低”至“高高”之间的报警界限值。设置完毕后，可创建新的报警画面，并修改相关属性。当系统运行时当前值达到报警值时则会弹出报警窗口和显示相关报警信息，若要记录所有报警信息时，我们将开发环境中的“历史报警”选上，便可显示历史报警信息了。为方便监控组态的主画面，我们可以对报警设定加以修改，并在报警命令语言中写入报警 程序：“ 本站点 $新报警 )； 报警监控画面 )； 本站点$新报警 =0”，程序需要设置自动归零命令，这样每当有报警产生时则会弹出报警，如图 3示。组态王为方便将报警信息保存和打印，其配置也十分完善，可根据我们的习惯将报警记录提取出来并存为多种文件类型的报警数据库。 图 3史报警窗口 在组态王的工作画面中可以建立曲线窗口，用以记录一系列相关信息。组态王的工具与控件可以直接选定并拉锯出一个框口用来显示实时曲线或历史记录曲线，在实时曲线的定 义中，首先新建画面，最多可以定义显示四条不同颜色或线型的实时趋势曲线，这时我们可添加文字加以备注区分各种，需要注意的有两点，一是变量为 I/若组态王与硬件通讯失败，则控制方式为无效数据显示；二是在标示中对百分比或实际值的数据格式的选则，合适地定义数据的范围能使得曲线不会在表格中出现缺失情况。在定义历史趋势曲线之前，需要在数据词典中对数据变量的定义窗口中“记录和安全区”将记录的选项勾上，否者我们的历史曲线或者报表则无法从这些变量中得到历史数据库的数据，同时还需要对报警历史记录进行相应的配置。在设定完毕 后，在画面工具箱中选择通用控件选项并选用“历史趋势曲线”，再在画面中拖拉出一个窗口，便可在控件窗口添加需要的变量曲线。历史曲线支持对离散型变量、整型数据以及实型数据的记录，但对字符型的变量则无法记录 14。曲线的监控在生产过程中十分重要，每条曲线都能实实时反应现场的情况并为用户对未知的随机状况做出大致判断提供有力的数据支持。图3 图 3艺曲线定义图 通信 组态王将在采用标准通信协议的前提下通过外部输入输出的驱动程序与可编程控制器或其他设备进行数据交换与传输，且一开始就需要在组态王的工程浏览器树状目录栏的“设备”中定义正确的外部设备，为避免通信失败应连接正确的串口，选择使用的通信方式，即在外部数据经 I/ 避免通讯中断后不能恢复的情况，通讯参数中波特率的设置值应在 19200范围内，如图 3时， I/通信出现错误的时候，它需要用比平常多的 时间来识别，这样就对整个系统的通讯周期，所以再出现故障时应减少识别周 期来提高整个系统的通讯效率，在通讯问题处理后再将周期值提到原来的 数值 15。 图 3讯串口设置图 4 系统安装与调试 线说明 图 4图 4散炉智能控制系统示意图 由于有了上位机作为操作区，可以在上位机上直接操作即可，因此在此就不需要在输入端口做外围接线了，这样可以节省 很多外围空间，使得系统变得更加紧凑，方便调试，也提高了系统的稳定性。而作为控制温度部分， 根据课题的要求，需要用到三路输出端口，来控制扩散炉的上、中、下三个分区的温度，因此可以选择 为输出连接。由于 输出端允许通过的电流最大值为2A，为了保护 们选择用固态继电器做为强弱电隔离的方式。即固态继电器输入端直接由 供的 24V 电源驱动，输出端由 220V 交流电经过变压器降压后连接到加热电阻两端。为了模拟控制扩散炉上、中、下三个分区的温度，我们选 择了100了更加准确的检测控制加热的温度，我们用了温度变送器 形成闭环控制系统，根据商家提供的接线数据对感温线完成了接线。由于变送器输出的是电流信号，因此要接到 块的电流输入端，并且根据 4料，同时也要连接 V+，接着就是对扩散炉内部的压力进行检测，根据课题要求，这一部分只需作为一个检测即可，重要的是实现温度控制，而由于量以及采集功能有限，我们只选择了一路压力测量，其他两路也是一个原理，最后就是对系统进行调试的工作了。 由于第一 次使用温度变送器，第一次接线的时候刚好把 是没有损坏变送器，只是测量不出数据，后来经过查找商家提供的接线资料，终于找到正确接线方法，测量的结果也有了数据。 剩下的就是压力测量了，同样的，也是通过商家给出的接线数据，对接线以及测量方法有了初步了解，但是有一个小问题就是，这个压力传感器需要的电压是 0供的只有 24V，这里提别注意要做一个电压转换，我们选择 为电压转换，其电路图如图 4。然后就可以将压力传感器的输出信号接到 道，就可以完 成对压力的数据采集工作了。 图 4力检测电压转换电路 试步骤： 1、 首先检查强弱电之间是完全隔离的，没有出现短路获知开路的情况，确保三个加热电阻，以及连接它们的三个固态继电器是处于并联的状态。 2、 其次是检查 别确定电流检测、电压检测的接线方式是正确的，才能通电调试。 3、 确定控制方式，由于这里使用的 作的频率低，因此不能使用教材上的 制模式，经过于多位同学的商量，最终选择常用的 制方式。 4、 首先使用比例控制的方式，由经验算法初步 确定比例系数的大小，经过多次的调试，最终选择一个响应速度快，超调较小的比例系数。 5、 一开始选择 制方式，但是选择这个控制的方式在调试过程很难控制各个系数，最终选择纯比例控制，但是比例控制存在静态误差，所以加了一点小小的补偿，这种方式相对简单许多，控制也在要求的范围之内。 6、 压力测量就比较简单，只作为测量并记录数据，最终在组态王上显示就可以了。 5 结论 传统的扩散炉控制系统的温度及工艺控制由人工通过实时调节各种控制仪表实现，这在控制中需要大量的人为动作 ，准确性难以保证。在本设计中以可编程控制器为系统控制的核心对扩散炉进行控制，能基本满足系统控制精度要求，同时设
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