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GB 51034-2014 多晶硅工厂设计规范.pdf

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资源描述：
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内容简介：
中华人民共和国国家标准多晶硅工厂设计规范 主 编部门 ： 中 国 有 色 金 属 工 业 协 会：批准部门 华中人民共和国住房和城乡建设部：施行日期 年 月 日 中国计划出版社北 京 书书书中华人民共和国国家标准多晶硅工 厂设计规范 中国计划出版社出版：网址 地 址 ： 北京市西城区木樨地北里甲 号国宏大 厦 座 层 ： ：（ ） （ ）邮政编码 电话 发行部 新华书店北京发行所发行北京市科星印刷有限责任公司印刷 印张 千字 年 月第 版 年 月第 次印刷 ： 统一书 号定 价 ： 元 版权所 有 侵 权必究：（ ）侵 权举报 电话 ，如 有印 装 质量 问题 请寄本 社出版部 调换中华人民共和国住房和城乡建设部公告第 号住房城乡建设部 关于 发 布 国家 标 准 多晶硅工厂设计规范 的 公 告 ，现 批准 多晶硅 工厂设计规范 为 国家标准 编号 为 ， 。 ， 、 自 年 月 日 起实 施 其 中 第 （ 、） （ 、） （ 、） 、 （ 、 、 、） （ 、） （ 、 、） （ 、） 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 （ ）条 款 为强制性 条 文 ， 必须严格执 行 。本 规范 由我 部标准定 额研究 所 组织 中国计划出版社出版。发行中华人民共和国住房和城乡建设部年 月 日 前 言本 规范 是根据 住 房城乡建设部 关于 印发 年 工 程 建设、 （ ） ，标准 规范 制订 修订 计划 的通知 建标 号 的要求 由 、中国 有色工 程 有限公司 中国 恩菲 工 程技术 有限公司会 同 有 关单位 共 同 编 制完成的 。， ，在本 规范编 制过程 中 编 制组进 行 了广泛深入的调查研究 认、 、 ，真总结了我 国多晶硅行业 的 设计 科 研 建设和 管理经验 并在广泛征求意见的基础上 ， 通过反复讨论 、 修改 和 完善 ， 最后经 审 查定 稿 。， ： ， ，本 规范共 分 章 和 个附录 主 要 内容包括 总 则 术 语 基 ， ， ， ，本 规定 厂址 选择及 厂区规划 工 艺 设计 电 气及 自 动化 辅助 设施 ， 建 筑 结 构 ， 给水 、 排水 和 消防 ， 采暖 、 通 风与空气 调 节 ， 环境保护 、 安全 和 卫生 ， 节能 、 余热回收等 。， 。本 规范中 以黑体 字标 志 的条文为强制性条文 必须严格执 行本 规范 由 住房城乡建设部 负 责 管理 和 对 强制性条文的 解释 ，由 中国有色金属工业工 程 建设标准规范 管理 处负 责日 常 管理 工， 。作 由 中国 恩菲 工 程技术 有限公司 负 责 具体 技术 内容 的 解释 在，本 规范 执 行 过程 中 如 有 意见 和建 议 请寄 送 中国 恩菲 工 程技术 有限公司 （ 地址 ： 北京市 海淀 区 复 兴路 号 ， 邮政编码 ： ，） 以 供今 后修订 时 参考 。、 、 、本 规范主编 单位 参 编 单位 参加 单位 主 要起 草 人和主 要 审查 人 ：主编单位 ： 中国有色工 程 有限公司中国 恩菲 工 程技术 有限公司：参编单位 华 陆 工 程 科 技 有限公司 洛阳 中硅 高 科 技 有限 公司多晶硅 制 备 技术 国家工 程实验 室江 西 赛维 光伏 硅 科 技 有限 公司：参加单位 国电 内蒙古 晶 阳能源 有限公司昆明冶 研 新 材料股 份 有限公司主要起草人 ： 严 大 洲 杨永亮 毋克力 肖荣晖 汤传斌 郑红梅 罗 英 陈希勇 吴崇义 唐 广 怀 陈 维 平 薛 民 权 付小林 姚又省 杨 健 吴昌 元 朱 舲 赵晓静 李 超 杨 志 国 孙 兵 司 文 学 姜利霞 张 升学 谢冬晖 万 烨 王利 强 高 晓辉 主要审查人 ： 朱黎辉 袁 桐 杨铁荣 贺东 江 周齐领 江 元 升 陈廷显 崔树玉 银 波 刘 毅 目 次总 则 （ ） 术 语 （ ） （ ）基本 规 定 厂址 选 择及 厂区规划 （ ） 厂 址 选 择 （ ） 厂 区 规划 （ ） 工 艺 设计 （ ） 一 般 规 定 （ ） 三 氯 氢 硅 合 成 和 四氯 化 硅 氢 化 （ ） （ ）氯 硅 烷 提 纯 （ ） 三氯 氢 硅 氢还 原 还 原 尾 气 干法 回 收 （ ） 硅 芯 制 备 及 多 晶硅 产 品 后 处 理 （ ） （ ）分 析 检 测 电 气及 自 动化 （ ） 电 气 （ ） （ ）自 动 化 辅助 设 施 （ ） 压缩 空 气 站 （ ） 制 氮 站 （ ） （ ）制 氢 站 导 热 油 （ ） 纯 水 制 备 （ ） （ ）制 冷 （ ）蒸 汽 建 筑 结 构 （ ） 一 般 规 定 （ ） （ ）主 要 生 产 厂 房 和 辅助 用 房 、 （ ） 防 火 防 爆 洁 净 设 计 及 装修 （ ） 防 腐 蚀 （ ） （ ）结 构 设计 给水 、 排水 和 消 防 （ ） 给 水 （ ） 排 水 （ ） （ ） 废 水 处 理 循 环 冷 却 水 系 统 （ ） 消 防 （ ） 、 （ ）采 暖 通 风与空气 调 节 （ ） 一 般 规 定 通 风 （ ） 空 气 调 节与 净 化 （ ） （ ）防 排 烟 空 调 冷 热 源 （ ） 、环境保护 安 全 和 卫生 （ ） （ ）环 境保护 （ ） 安 全 卫 生 （ ） 、节 能 余热回收 （ ） （ ）一 般 规 定 生 产 工 艺 （ ） （ ）附录 地 下 管 线 与 建 构 筑 物之 间 的最 小 水 平 净距 （ ） （ ）附录 地 下 管 线之 间 的最 小 水 平 净距 、 、 （ ）附录 主 要 房 间 空气 洁净 度 温度 湿度 本 规范 用词说 明 （ ）引用 标准 名 录 （ ） ： （ ）附 条文 说 明 （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） ， （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） （ ） ， （ ） （ ） （ ） ： （ ） 总 则 为 规范多晶 硅工厂 的 工 程 设计 ， 提 高 工 程 设计 质量 ， 做到 、 、 、 ， 。技术 先 进 经 济 合 理 安全 可靠 环保节能 制 定 本 规范、本 规范 适用 于 采 用 三氯氢 硅 氢还原法 的 新建 扩 建和 改 建 多晶硅工厂 的 工 程 设计 ， 也适用 于 硅 烷 歧 化 法 多晶硅厂中 三氯氢、 。硅 合 成 四氯 化 硅 氢 化 和 氯 硅 烷提纯 的 工 程 设计、 、 、多晶硅工厂设计 应积极 采 用 节能 环保 高 效 先 进的装 备 和工 艺 ， 提 高 资 源 、 能源 利 用率 ， 实现 物 料 、 能源 综 合利 用 和 清洁生 产 。，多晶硅工厂设计 除应符 合 本 规范 外 尚应符 合 国家 现 行有 。关 标准 的 规定 术 语 三氯氢 硅 氢还 原法 ，经过 不断 完善 的 多晶硅 生 产 主 流 工 艺 是 将 高 纯三氯氢 硅 与高 纯氢 气 按 一定 比例 通入 还原 炉 ， 发 生 还原 或 热分解 反 应 ， 在；左右 的 高 纯 硅 芯 基 体 表面 上 沉积 生 长 多 晶硅 同 时具备回 、 、 、收 利 用 生 产 过程 中 伴随 产 生 的 氢 气 氯 化 氢 四氯 化 硅 等 副 产 物以及 副 产 热能 ， 最 大限 度 地 实现 “ 物 料内 部 循 环 、 能 量 综 合利 用 ” 的多晶硅 生 产 工 艺 。多晶硅 ， ，单质 硅 的 一 种形态 硅 原 子 以 晶 格 形 态 排 列 成 许 多晶 核 晶 核长 成 晶 面取向不 同的 晶 粒 ， 晶 粒 组 合 结 晶 成 多晶硅 。 根据 用途可分 为 太 阳能 级 和 半导 体 级 。还原尾 气 干法 回收 一 种相 对 于 传 统 湿 法 回收 尾 气 工 艺 的 方 法 ， 利 用 尾 气 中 各 组、 、 、 ，分 物 理 化 学 性质 的 差 异 采 用冷 凝 吸 收 解 析 吸 附等 方 法 将 其 逐、 ， 。一 分 开 回收 提纯 再重 新 返 回生 产 系 统 循 环 利 用四氯 化 硅 氢 化 一 种 处 理 多晶硅 副 产 物 四氯 化 硅 的 方 法 ， 与 氢 反 应 将 其 转 换。成 三氯氢 硅三氯氢 硅 合 成 一 种 制 取 三氯氢 硅 的 方 法 ， 将 硅 粉 和 氯 化 氢 通入 有 一定 温度。的反 应 器 内 通过 化 学 反 应 生 成 三氯氢 硅氯 硅 烷 精馏 ， 、 ，一 种 通过 气 液交 换 实现 传 质 传 热 使 氯 硅 烷 混 合 物 得 到 高纯 度 分 离 的 方 法 。液 氯 汽 化 。一 种将 液 氯 加热 蒸 发 成 氯 气 的 方 法氯 化 氢合 成 通过 化 学 反 应将 氢 气 、 氯 气生 成 氯 化 氢 气 体 的 方 法 。盐酸 解 析 。一 种将 氯 化 氢 从盐酸 中 解 析 出 来 的 方 法还原 炉 。一 种 生 产 棒状 多晶硅 的 专 用 设 备二 氯 二 氢 硅 反 歧 化 一 种 回收 利 用 二 氯 二 氢 硅 的 方 法 ， 通过 化 学 反 应将 二 氯 二 氢。硅 与 四 氯 化 硅 转 化 成 三氯氢 硅多晶硅 后 处 理 根据 客户 和 产品 分 析 检 测 的要求 ， 多晶硅出 炉 后进 一 步 处 理的 统 称 ， 包括 切 除 头 尾 、 钻棒 、 滚圆 、 破碎 、 分 拣 、 称重 、 腐蚀 、 清 洗 、。干 燥 及包 装 等氯 硅 烷 硅 烷 （ ） 中 的 氢原 子 部 分 或 全 部 被 氯原 子取 代 后 的 物 质 。 （ 、） （ 、）统 称 通 常包括 四氯 化 硅 三氯氢 硅 二 氯 二 氢 （ 、） （ ） 。硅 一 氯三氢 硅 等 还原 尾 气 还原 炉 内生 成 多晶 硅 的反 应 过程 中 未 参与 反 应 的 原 料 和 生 成， 、 。的 副 产 物 的 混 合 气体 主 要 包括 氢 气 气 态 氯 硅 烷 及 氯 化 氢 等防 爆 防护 墙 具 有一定 防 爆 能 力 的 隔墙 ， 能 防 止 爆 炸 产 生 的 飞散 物 对 设施。及 人 员 的 伤害 基本 规定太 阳能 级 多晶硅 工厂 的 设计规 模 应符 合 国家 现 行有 关 光 。伏 制 造 行业规范 条 件 的要求多晶硅工厂 应 采 用符 合 国家 现 行有 关 光伏 制 造 行业规范 条 件 要求的 先 进 工 艺 技术 、 节能环保 的 工 艺 设 备以及安全 设施 。多晶硅工厂设计 应符 合 现 行国家标准 多晶硅 企 业 单位 、 、 、产品 能源消 耗 限 额 等 有 关 安全 环保 节能 消 防以及 劳 动卫生 的 规定 。 厂址 选择 及 厂 区规划 厂址选择 、 、厂 址 选择 应符 合 国家 产 业政 策 用 地政 策 区 域 规划 及 行 ， 、业 专项 规划 的要求 并 应按 国家有 关 法 律 法 规 及 前 期工 作 的 规定进 行 。， ，厂址 选择时 应 对 建厂 条 件 进 行 调查 应 论 证 和 评 价厂址 、 ， 、 、对 当 地 经 济 社会和 环境 的 影响 并 应 满足 防 灾 安全 环保及卫生防护 的要求 。 厂址 选择 应符 合 现 行国家标准 工业 企 业 总 平 面 设计规 范 及 化 工 企 业 总 图运输 设计 规范 的 相 关 ， 。规定 并 应符 合 国家 现 行 有 关 光伏 制 造 行业规范 条 件 的要求厂址 宜 布 局 于 能源 充足 、 水 资 源 有 保 障 、 基础 设施 配套 成 熟 、 产 业 链 布 局 合 理的 化 工 园 区 ， 宜 采 用 电厂 多晶硅 化 工 联营 的 。建厂 模式厂 址 应 具 有 满足 工 程 建设 要求的 工 程 地 质 和 水 文 地 质条 件 ， 并 应 避开 有 用 矿藏 和 文 物 遗 址区 。、 、厂址 应 位于 城 镇 居 民区 工业 园 区 全 年 最 小 频 率 风 向 的 ， 。上 风 侧 不应 选 在 窝 风及全 年 静 风 频 率 较 高 的 区 域配套居 住区 应 与 厂区 用 地 同 时选择 ， 并 宜 依托 当 地城 镇 的 居 住设施 。；厂址标 高 宜 高 于 防 洪 标准 的 洪 水 位 以 上 不 能 满 足 要求 时 ， 厂区 应 有 防 洪 设 施 ， 并 应 在 初 期工 程 中一次建 成 。 当 厂址位于 内 涝 地区 ， 并 有 排 涝 设施 时 ， 厂址标 高 应 高 于 设计 内 涝 水 位。以 上 、 、 ，厂 址 选择 应 利 用 荒 地 劣 地 山坡 地 及 非 耕 地 并 应 促 进 建 。设 用 地 的 集约 利 用 和 优 化 配 置厂区规 划 、 ，厂区 近 期规划 应 与 企 业 长 远 发 展 区 域 规划 相 一 致 宜 利 用 城市 或 园 区 已 有 的 水 、 电 、 汽 、 消防 、 污 水处 理 等 公 用 设施 ； 分 期建设 的 工厂 ， 近远 期工 程 应 统一规划 ， 近 期工 程 应 集 中 、 紧凑 、 合 理， 。布 置 并 应 与 远 期工 程 合 理 衔接、 、 、 、 、厂区 应 根据 工厂规 模 生 产 工 艺 流 程 运输 环保 防 火 安 全 、 卫生等 要求 ， 并结 合 当 地 自 然 条 件 规划 。、 、 ，厂区规划 应 利 用 地 形 地 势 工 程 地 质 及水 文 地 质条 件 合 （ ） ， （ ） 。理布 置 建 构 筑 物 并 应 减少土 石 方 工 程量 和 基础 工 程 费 用厂区 应按 功 能分 区规划 ， 可 分 为 生 产 区 、 公 用 工 程 及辅助 设施区 、 储 运 区 、 行政 办 公 及生 活服务 区 。 可 能 散 发 可 燃 气体 的 工、 、 ，艺 装 置 罐 组 装 卸 区 或 全 厂 性 污 水处 理 场 等 设施 宜 布 置 在 人 员、 ；集 中 场 所 明 火或 散 发 火 花 地 点 的 全 年 最 小 频 率 风 向 的上 风 侧 行政 办 公 及生 活服务 区 宜 布 置 在 厂区 全 年 最 小 频 率 风 向 的 下 风 侧 ，且 环境 洁净 的 地 段 ； 公 用 工 程 及辅助 设施区 宜 布 置 在 生 产 区 与 行。政 办 公 及生 活服务 区 之间厂区 总 平 面 设计 应 满足 生 产 要求 ， 应 根据 场 地和 气 象 条 件 布 置 ； 厂区 总 平 面 布 置 应 满足 节能环保 的要求 ， 并 应 保 持 生 产 系 统、 。 ：流 程 和人 流 物流 的 顺畅 车 间 布 置 应符 合 下列 规定、还原 车 间 多晶硅 后 处 理 及 检测 分 析 等 有 洁净 等 级 要求的 生 产 单 元 应 布 置 在 厂区有 害 气体 和 固 体 尘埃 释 放 源 的 全 年 最 小 频率 风 向 的 下 风 侧 。、 、多晶硅 后 处 理 硅 芯 制 备 检测 分 析 及 产品 库 宜 贴邻 还原 厂房 。氯 硅 烷 精馏 、 四氯 化 硅 冷 氢 化以及 还原尾 气 干法 回收等生、 、 ，产 单 元 在 满足 生 产 操 作 安 装 及 检 修的条 件 下 应 采 用 框架 结 构， 。或 露天 布 置 宜 集 中 布 置 、 、 ， 液 氯 库 氯 硅 烷 罐 区 氢 气 罐 区 等 宜 靠 近 厂区一 侧 布 置 并应 设 置 安全 的 装 卸场 地 、 装 卸 通 道 和 装 卸 设施 ； 构 成 重 大 危险 源 的装 置 与 厂 外 周 边 区 域 的 防 火间距应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 、 防 火 规范 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。原 辅材料 及 产品 应 根据性质 分 类储存 ， 并 应 布 置 在 便 于 运。输 的 地 段、 、电 力 动 力 热 力 及供水 设施 宜 位于 负 荷 中 心 或 接近服务 对 象 ， 管 线 输 送 宜 短捷 。 总 降 压 变 电 站应 接近 还原 车 间 、 热 氢 化 车， ； 、间 等 用 电 负 荷 大 的 生 产 单 元 并 应 保 证 进 出 线方 便 还原 车 间 热、氢 化 车 间 的 余热回收 或 热能 转 换 设施 应 接近 或 紧 靠 还原 车 间 热氢 化 车 间 、 氯 硅 烷 精馏 装 置 。 相 对 独立 的 生 产 单 元 的 工 艺辅助 设施 宜 就近 配 置 ， 应 减少。非 相 关 系 统 对 其的 影响，循 环水 站 宜 布 置 于通 风 良好 的 场 所 应 远 离 无 组织 排 放 的 粉 尘 或可 溶 性 化 学 物 质的 地 段 。三 废 处 理 站应 布 置 在 厂区 全 年 最 小 频 率 风 向 的上 风 侧 ， 并 ， 。远 离 生 活 区 应符 合 安全卫生 要求各 生 产 单 元 宜 采 用 集 中 控 制 ， 控 制 室 应 布 置 于 爆 炸 危险区 域 外 ， 应 满足 相 关 安全 要求 。，生 产 区 域 内 的 生 活 设施 宜 独立 布 置 或 紧邻 布 置 在 一 侧 ，并 应 位于 甲 类 设施 全 年 最 小 频 率 风 向 的 下 风 侧 生 活 设施 的 设计应 满足 防 火 防 爆 的要求 。办 公 楼 、 食堂 等生 产 行政 管理 设施 应 与生 产 区 分 开 布 置 ，并 宜 布 置 在 厂区 全 年 最 小 频 率 风 向 的 下 风 侧 宜 根据 城市 干 道 和厂区 道 路 情况确 定工厂主 要 出 入 口 的位 置 。厂区 道 路 布 置 除应 满足 生 产 和 消防 的要求 外 ， 还 应符 合 下 ：列 规定（ ） 、 、应 满足 通 道 两 侧 建 构 筑 物 及 露天 设施 对防 火 安全 卫 ；生 间距 的要求应 满 足 各种 管 线 、 管 廊 、 道 路 、 竖 向 设计 及 绿 化 布 置 的；要求、 ；应 满足 施工 安 装 及 检 修的要求 应 满足 预留 发 展 用 地 的要求 。厂区 绿 化 应符 合 下列 规定 ： 、 ；应 依 据 当 地 的 气 候 条 件 土 壤 等 因素 布 置 和 选择 、 ， 、应 与 厂区 总 平 面 布 置 管 网 相适应 并 应 与 周 围 环境 建 （ 构 ） 筑 物相 协 调 ；、 、 ；不应 妨碍 生 产 操 作 设 备 检 修 消防作 业和 物 料 运输 、应 根据 生 产 特 点 污 染 状 况 选择 有 利 于 安全生 产 和 职 业 卫 生 的 植 物 。 厂区内或附近必须设置四氯化硅等还原反应副产物综合 ， ，利用或处理设施 四氯化硅等还原反应副产物应综合利用 并应做。到无害化处理地 下 管 线 与 建 （ 构 ） 筑 物 、 其 他 管 线 的 水 平 距 离 应 根据 工 程 地 质条 件 、 构 架 基础 形 式 、 检 查 井 结 构 、 管 线 埋 深 、 管 道 直径 和 管 内， 、 。介 质的性质 等 因素 确 定 并 宜 符 合 本 规范 附录 附录 的 规定 工 艺 设计 一般规定 三 氯氢 硅 氢还原法 多晶硅 生 产 工 艺 流 程的 设计和工 艺 设 ：备 的 选 型 应符 合 下列 规定应 对 建设规 模 、 产品 方 案 、 建厂 条 件 、 原 料与 燃 料 性 能及 价、 、格 能源消 耗 经 济效 益 等 进 行 技术经 济比 较 后 确 定工 艺 流 程 和主；要 设 备应 选择 符 合 国家 制 造 标准 、 节能环保 、 先 进 高 效 、 安全 可靠的 工 艺 设 备 ；、 、 ；应 采 用符 合 循 环 经 济 要求的 新 技术 新工 艺 新设 备 ；物 料 平 衡 和 能 量 平 衡 应 根据 选 定 的 工 艺 流 程进 行计 算 不 同 工 序 的 系 统设计 、 设 备选 型 与 配 备 应 根据 每 个 工 序 和单 体 设 备 的 运转 效率 及 中 间 产品 的 操 作 需 求 综 合平 衡 后 确 定 ， 并，应 保 证 生 产 系 统 的 操 作 弹 性 和 余 量 同 时 应 满足 生 产 负 荷变 化 和生 产 安全 的要求 ；在 高海 拔 、 高 寒 和 湿 热 地区建厂 ， 应 根据 海 拔 高 度 对 工 艺、 ， 。计 算 设 备选 型 进 行 修 正 所 选 用 的 设 备 应 满足 其 特殊 环境 要求：工 艺 布 置 应符 合 下列 规定 总 平 面 布 置 应 满足 工 艺 流 程的要求 ， 宜 留 有发 展 空 间 ；工 艺 车 间 宜 根据 工 艺 流 程 和设 备选 型 确 定 ， 并 应 在 平 面 和， 、 、 、 、 。空 间 上 满足 施工 安 装 操 作 维护 监 测 和 通 行 的要求工 艺 流 程 选择 、 设 备选 型 及 工 艺 布 置 ， 应 根据 多晶硅 生 产 主 要 物 料 的 易 燃 、 易 爆 、 有 毒 及 火 灾 危险 等 危 害 特 性 确 定 。寒 冷 地区 的管 路 系 统 应 采 取 防 冻措 施 、 、新建 改 建 或扩 建工厂 内 各 生 产 单 元 的 蒸汽 电 力 及 综 合 ， 能 耗 总额 不应 大 于现 行 国家标准 多晶硅 企 业 单位 产品 能源消 耗限 额 中规定 的 限 额 准 入 值 。 ，工 艺生 产 装 置 应 设 有 事故 紧 急 排 放 设施 工 艺 废 气 应 根据 、 、 。介 质 种 类 粉 尘 含 量 和 危险 性单 独 或 全 厂 分 类 集 中 回收处 理工 艺 设计范 围 应 包括 三氯氢 硅 合 成 和 四氯 化 硅 氢 化 、 氯 硅 烷 提纯 、 三氯氢 硅 氢还原 、 还原尾 气 干法 回收 、 多晶硅 产品 后 处 理 、 二 氯（ ） ， 。二 氢 硅 反 歧 化等 生 产 车 间或 单 元 以 及 相应 的 工 艺辅助 设施、 ，工 艺生 产 系 统 内 的 设 备 管 道 的 材 质 以及 管 阀 件 应 根据 物 料 性质 和工 况 条 件 选 取 ， 并 应 采 取相应 的 安全防护 措 施 。工 艺 主 要 生 产 房 间洁净度 的 设计 要求 宜 符 合 本 规范 附录 。的 规定三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 （ ） ，多晶硅工厂 应 有 四氯 化 硅 氢 化 装 置 企 业 可 根据 生 、产 规 模 当 地 三 氯氢 硅 供 应 以 及 投 资 规 模 等 方面综 合 比 较 后 确 定是 否增 加 三氯氢 硅 合 成装 置 。三氯氢 硅 合 成 工 序 的 原 料 之 一 的 氯 化 氢 （ ） 可 采 用 氯 。化 氢合 成 或 盐 酸 解 析 工 艺 制 取液 氯 汽 化 工 序 的 液 氯 汽 化 器 应 采 用 热水 加热 ， 水 温 宜 为 ， 不应 使 用蒸汽 加 热 ， 并 应 设 置 冬 、 夏季 不 同 温度 的 冷 、 。 热水 汽 化 液 氯 液 氯 汽 化 工 序 的 设计 应符 合 现 行国家标准 氯 气 。安全 规 程 的 有 关 规定 三氯氢 硅 合 成 工 序 应 采 用 干 、 湿 结 合 的 除 尘 工 艺 ， 并 应 提 高 单 次 运 行 时 间 。三 氯氢 硅 合 成 工 序 的 工 艺 尾 气 应 采 用 吸 附 装 置 回收 氢 气 和 氯 化 氢 。合 成 和 冷 氢 化 工 序 宜 设 置 硅 粉 干 燥 工 序 ， 干 燥 用 气 应 回收 。循 环 使 用、四氯 化 硅 氢 化 装 置 应 根据 多晶硅 生 产 规 模 所 在 地区 能源 、价 格 投 资 成本 及 建设 周 期 综 合 经 济比 较 后 确 定 采 取 高 温 氢 化 工艺 、 固 定 床 冷 氢 化 工 艺 或 流 化 床 冷 氢 化 工 艺 。氢 化 装 置 宜 与 氢 化 冷 凝液 提纯 装 置 临 近 布 置 ， 。冷 氢 化 装 置 应 配套 残 液 回收 装 置 并 应 就近 配 置 冷 氢 化 装 置 宜 独立 设 置 于 敞 开 或半 敞 开式 的 构筑 物 内 ， 制 冷系 统 可 布 置 于 建 筑 物 内 ； 附 属 辅助 系 统 宜 在 满足 防 火间距 的。基础上 毗连 布 置：主 要 设 备选 型 应符 合 下列 规定 氢 气 压缩 机 应 选择 密封 性 好 、 噪声 小 、 故 障 率 低 的 机型 ， 宜；设 置 备 用 机、 、 ， 。宜 选 用 运 行 稳 定 故 障 率 低 密封 好 的 泵 应 设 置 备 用 机 氯硅 烷提纯 、提纯 流 程 和 塔 内 件 应 根据 物 料 原 料 组 分 提纯 难易 程 度 以 。及 产品 要求 比 较 分 析 后 确 定氯 硅 烷提纯 宜 选 用差压 耦 合提纯 技术 。 氯 硅 烷提纯 工 序 的布 置 应符 合 下列 规定 ： 、 ，大 直径塔 宜 独立 露天 布 置 用 法 兰连 接 的 多 节 组 合 塔 以 及 直径 不 大 于 的 塔 宜 布 置 于 框架 结 构内 ； 塔 的布 置 宜 采 用 单 排 形 式 ， 并 应 按 提纯 流 程 顺 序 以 塔 的 外， ，壁 或 中 心 线 对 齐 还 应 设 置 联 合平 台 各 塔 平 台 的 连 接 走 道 结 构 应；能 满足 各 塔伸 缩 量 及 基础 沉 降 的 不 同要求附 属设 备 宜 靠 近 塔 布 置 ， 并 应 留 有 安 装 、 生 产 、 维 修 空 间 ；差压 耦 合 塔 的 差压 耦 合 再 沸 器 、 冷 凝器 和 回 流 罐 的 标 高 宜。逐 渐 降 低氯 硅 烷提纯 工 序 宜 选择 运 行 稳 定 、 故 障 率 低 、 密封 好 的 泵 ， 应 设 置 备 用 机 。、 、精馏 控 制 方 式 应 根据 产品 采 出 位 置 进 料 方 式 塔 内 温度 。 、和 压 力 变 化 确 定 可 采 用 精馏 段 指 标 控 制 提 馏 段 指 标 控 制 或压 。力 控 制三氯氢硅 氢还原 太 阳能 级 多晶硅 还原 电 耗 应符 合 国家有 关 光伏 制 造 行业 规范 条 件 的要求 。还原 炉 供料 系 统 应 接近 或 紧 靠 还原 车 间 布 置 。 ，还原 炉 室 应 根据 炉 型 的 大 小 设 置 吊 装 行 车 并 宜配 备 专 有 。的 拆 卸 硅 棒 工 具热能回收 利 用 装 置 应 根据 生 产 工 艺 系 统 的 特 性 ， 回收 还原 。炉 内 硅 棒 的 辐射 热 量生 产 太 阳能 级 多晶硅 的 还原 炉 室 应 采 用不 低 于 三 级 过 滤 的 洁净 新 风 ， 生 产 半导 体 级 多晶硅 的 还原 炉 室 洁净度应 大 于 级 。主工 艺 物 料 系 统和 还原 炉 夹 套 冷却系 统 应 设 安全 阀 等安 。全 设施还原 尾气干法回收 还原尾 气 干法 回收 设计范 围 应 包括气体 压缩 、 氯 硅 烷 深 冷 、 ， 。分 离 氢 气 吸 附 以及 再 生 后 气处 理 等 单 元还原尾 气 除 尘 工 序 宜 在 前 端增 加 过 滤 器 或 采 用 其 他 解 决 尾 气 中 无 定 形 硅 的技术 。，氯 硅 烷 分 离 工 序 宜 采 用 高 压 深 冷方 式 回收 氯 硅 烷 并 宜 采 、 。用 高 压 低 温 吸 收 低 压 高 温 解 析 方 式 回收 氯 化 氢还原尾 气 干法 回收 工 序 布 置 宜 符 合 下列 规定 ： 宜 临 近 还原 车 间 布 置 ；、还原尾 气 干法 回收 工 序 的 气体 压缩系 统 氯 硅 烷 深 冷 分 离 、 吸 附 提纯氢 系 统 宜 独立 设 置 于 敞 开 或半 敞 开式 的 构筑 物 内 ， 制冷系 统 宜 布 置 于 密闭 建 筑 物 内 ； 附 属 辅助 系 统 宜 在 满足 防 火间距。的基础上 毗连 布 置：还原尾 气 干法 回收 工 序 的 主 要 设 备选 型 应符 合 下列 规定 ， ； 各系 统 内 的 设 备能 力 应 互 相 匹 配 并 应 保 证 生 产 的 连续 性氢 气 压 缩 机 应 选择 密封 性 好 、 噪声 小 、 故 障 率 低 、 低 电 耗 的， ；机型 宜 设 置 备 用 机、 、 ， 。宜 选 用 运 行 稳 定 故 障 率 低 密封 好 的 泵 应 设 置 备 用 机 硅 芯制备及 多晶硅产 品后 处理 。硅 芯 制 备 工 艺 可 采 用 区 熔 法 拉 制 和 切 割 法 工 艺路 线 选 、 ，择 应 根据 硅 芯 生 产 规 模 能源 价 格 等 情况 经技术经 济 分 析 比 较 后确 定 。采 用 区 熔 法 拉 制 硅 芯 应 设 置 电 磁 屏蔽 。硅 芯 制 备 的 房 间应 设 置 在 洁净 区 内 多晶硅 后 处 理 应 包括 产品 运输 、 破碎 、 分 拣 、 包 装 、 腐蚀清 洗 等 工 序 ， 其 中 运输 、 破碎 、 分 拣 、 包 装 工 序 应符 合 下列 规定 ：、硅 棒破碎 系 统 的位 置 应 根据 运输 硅 棒 路 径 中 间 仓 库 位 置 ， ；及 厂房工 艺 布 置确 定 并 应靠 近 还原 车 间硅 棒运输 车 内 衬板 宜 采 用 耐磨 、 不 吸 尘 的 非 金属 材料 ；硅 棒破碎 方 式 应 根据 生 产 规 模 、 物 料 性 能 和 产品 粒度 确 ， ；定 可 采 用 人工 破碎 或 机 械 破碎破碎 工 具与 产品 接 触 部 分 ， 应 选 用 硬 度 大和 强 度 高 的材料 ；破碎 系 统 应 设 置 除 尘 装 置 破碎 粒度应符 合 现 行国家标准 硅多晶 和 太 阳能 级 多晶硅 有 关 块 状 多晶硅 的 尺寸 范 围 要 求 ； 破碎 、 分 拣 、 包 装 应 设 置 在 洁净 区 内 。：腐蚀清 洗 工 序 应符 合 下列 规定 腐蚀清 洗 应 设 置 在 洁净 区 内 ；腐蚀清 洗 室内 应 设 置 单 独 的 物 料 进 出 口 ， 并 应 与 人 员 出 入；口 分 开，供 酸 室 应 与 腐蚀清 洗 室分 开 布 置 供 酸 室 应 布 置 在 便 于 酸 ， ；桶 运输 的 地 方 并 应 采 取 防护 措 施腐蚀 清 洗 设 备内 酸 腐蚀 部 位 应 设 置 强制 排风 ， 废 气 应 处 理；达 标 后 再 排 放，输 送 强 酸 的管 道 应 采 用 双 层 套 管 外 层 宜 采 用 透 明 聚 氯 乙 烯 （ ） 管 。分析 检测 ，多 晶硅工厂 应 设 置 单 独 的 分 析 检测 室 并 宜 在 四氯 化 硅 氢 化 、 还原尾 气 干法 回收 、 三 废 处 理 站 等 装 置 区 内 设 置 在 线 分 析。装 置、 ，分 析 检测 室 不应 与 甲 乙 类 房 间 布 置 在同 一 防 火 分 区 内 可 独立 设 置 于 一 侧 。 分 析 检测应 包括 下列 内容 ： 、 、 ；氯 硅 烷 的 含 量 杂 质 含 碳 化 合 物 分 析 、 、 、 ；硅 粉 的 含 量 杂 质 粒度 碳 含 量 分 析 液 氩 中 氧 、 氮 含 量 分 析 ；液 氮 中 氧 含 量的 分 析 ， 氮 气 中 氢 含 量 、 氧 含 量 和 露点 分 析 ； 、 、 、 ；氢 气 中 氧 含 量 氮 含 量 氯 硅 烷 含 量 露点 分 析 水 中 氯 离 子 （ 、） 氟 离 子 （ 、） 化 学 含 氧 量 （ 、） 生 化 需 氧 量 （ 、） 酸 碱 度 （ 值 、） 硬 度 、 全 碱 度 、 悬浮 物 、 总 磷 、 正 磷 ；分 析、 、 ；大 气 中 氯 化 氢 氟 化 物 氮 氧 化 物 分 析 多 晶硅 质 量 指 标 分 析 ， 指 标 分 析 包括 多晶硅 的 导 电 类 型 、电 阻 率 、 少 子 寿命 、 氧 含 量 、 碳 含 量 、 表面 金属 杂 质 含 量 、 体 金属 杂；质 含 量的 分 析合 成 原 料 氯 化 氢 的 纯 度 分 析 ；液 氯 中 三氯 化 氮 、 水 含 量 分 析 。，分 析 检测 室 中 除 化 学 分 析 外 其 他 分 析 检测 室 应 设 置 在 洁 。净 区 电 气及 自 动化 电 气 ：供 配 电 系 统设计 应符 合 下 列 规定 、 ；应 根据 多晶硅工厂 特 点 规 模 和发 展 规划设计 设计 方 案 应 依 据 多晶硅 生 产 规 模 、 负 荷 性质 、 用 电 容 量 及；供 电 条 件 确 定、 、 、 、 。应 采 用 高 效 节能 环保 安全 性 能 先 进的 电 气 产品 负 荷 分 级 及供 电 要求 应符 合 下列 规定 ： 多晶硅工厂 的 双 回路供 电 要求 应符 合 现 行国家标准 供 配 。电 系 统设计规范 的 规定 负 荷 分 级 及供 电 要求 应 符 合 现 行国家标准 供 配 电 系 统设 计规范 的 规定 。 还原 装 置 中 还原 炉 电 极 、 炉 体 及 底盘 冷却循 环水 泵 、 冷 氢 、 、化 装 置 的 洗 涤 塔 循 环 泵 整 理装 置 的 废 气 洗 涤 系 统 工 艺 废 气 洗 涤循 环 泵 、 消防 系 统 等 用 电 负 荷 应 属 于 一 级 负 荷 中 的 特 别 重 要 负 荷 ；工 艺采 取 其 他措 施 时 ， 可按 现 行国家标准 供 配 电 系 统设计规范 。的 规定 确 定 负 荷 等 级 ：宜 采 用下列 电 源 之 一 作 为 多 晶硅工厂 的 应 急 电 源 ） 供 电网 络 中 独立 于 正 常 电 源 的 专 用 馈 电 线 路 宜 采 用系 统 电 源 ；） 。柴 油 发电 机 电 源 电 压 选择 及供 电 系 统 应符 合 下列 规定 ： 供 电电 压应 根据 多晶硅 生 产 规 模 、 当 地公共电网 现 状 及 发。展 规划 确 定、变 配 电所 位 置 应 根据 负 荷 的 容 量 及 总 图 布 置情况 靠 近 负 ， 。荷 中 心 且 总 变 电所 宜 靠 近 还原 车 间装 置 一 级 的 配 电电 压 宜 采 用 ， 低 压 配 电 电 压应 采 用 。 ，总 变 电所 归 用 户 管理 时 还原 变 压 器 宜 由 二 级 。配 电 站 或 总 变 电所 直 供供 配 电 系 统 宜 采 取 滤 波 等 方 式 抑 制 高 次 谐 波 ， 并 宜 符 合 现行国 家标准 电 能 质量 公 用 电网 谐 波 的 规定 。 、 。还原 调 功 设 备 宜 采 用 多 种 电 压 等 级 叠 层 控 制 原 理 ，供 配 电 系 统 应 减少 无功 损 耗 宜 采 用 高 压 与 低 压 补偿 相 结 合 及 集 中 补偿 与 就 地 补偿 相 结 合 的 无功 补偿 方 式 。 企 业计 费 处 最。大 负 荷 时 的 功 率 因 数 不应 低 于 。低 压 系 统 接 地 形 式宜 采 用 或 系 统 消防负 荷 供 配 电设 计 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 和 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 规定 。执 行。应 急电源 与正常电源之间 必须 采取防止 并 列运行的措 施 还原 炉 整 流 变 压 器 和 调 功 电 气 设 备 应 为 还原 炉 的 专 用 成套 设 备 ， 不 属 于 车 间 变 、 配 电所 的 设 备 ， 可 布 置 在 还原 车 间 的 非 防。爆 区 域 内还原 炉 成 套 调 压 变 压 器宜 为 环 氧 树 脂绝缘 的 干 式 变压 器 。：环境 特 性 及 配 电设 备选 型 应符 合 下列 规定 ，爆 炸 危险 区 域 划 分 应 根据 工 艺 装 置 特 点确 定 并 应符 合 现 行国家标准 爆 炸 危险 环境 电 力 装 置 设计规范 的 有 关 规定 。 爆 炸 危险 环境 内 的 电 力 设 备选择 应按 现 行国家标准 爆 炸 。危险 环境 电 力 装 置 设计规范 的 有 关 规定 执 行 有 洁净 要求 且 为 防 爆 区 域 的 生 产 车 间 内 ， 宜 选 择 不 易 积尘 、 便 于 擦拭 的 防 爆 配 电设 备 。：照 明 系 统 应符 合 下列 规定 照 明 设计 应按 国家 现 行标准 建 筑 照 明 设计标准 和 石 油 化 工 企 业 照 度 设计标准 的 有 关 规定执 行 。、 。生 产 装 置 应 设 照 明 配 电 箱 照 明 灯 具 和 插 座 、工 作 照 明 灯 具 应按 环境 条 件 厂 房 结 构及生 产 装 置 条 件 选 型 和 配 置 ， 光源 可 选 用 荧 光 灯 、 金 卤灯 等 ， 并 应 满足 照 度 要求 ； 洁净室内 的 照 明光源 宜 采 用 高 效 荧 光 灯 。、应 急 照 明 灯 具 的 选择 和 布 置 应 根据 环境 条 件 生 产 要求 及 ， 。安全 要求 确 定 并 应 采 用应 急 电 源供 电 或 选择 带蓄 电 池 的 应 急 灯厂区 道 路 应 设 立 柱 式 路 灯 。 路 灯照 明 宜 采 用 节 电 装 置 供， 、 。电 宜 采 用 光 电 时 间 自 动 控 制 及 手 动 控 制、 、防 雷 及 接 地 系 统 可 由 电 气 系 统工 作 接 地 设 备 接 地 静 电 接 地 、 防 雷 保护 接 地 组成 ， 应符 合 下列 规定 ： 变 电所 内 的 配 电 变 压 器 低 压 侧 的 中 性 点 应 直 ， 。接接 地 接 地电 阻 不应 超 过 !，电 气 设 备 外 露 可 导 电部 分 和电 缆铠 装 层 均 应可靠 接 地 电 缆桥 架 应可靠 接 地 ， 工 艺 设 备 应可靠 接 地 。对爆炸 、 火灾危险场 所内 可能 产 生静电危险的 设 备 和 管道 ，应 采取静电接地措 施 每组专 设 的静电接地体的接地电阻值 应 小于 !。建 （ 构 ） 筑 物应 按 现 行国 家标准 建 筑 物 防 雷 设计规范 ，的 规定 采 取 防 雷 保护 措 施 防 雷 接 地 装 置 的 接 地电 阻 应 符 。合 现 行国家标准 建 筑 物 防 雷 设计规范 的 有 关 规定 变 压 器 中 性 点接 地 、 防 静 电 接 地 、 设 备 接 地 、 防 雷 接 地 等 共用 接 地 装 置 时 ， 总 接 地电 阻 不 应 大 于 !； 工 作 接 地 、 保护 接 地 、 防，雷 接 地 与 电 子 信息 系 统 接 地共 用 接 地 方 式 时 接 地电 阻 不应 大 于!。自 动 化 ：仪 表 和 控 制 系 统 选 型 应符 合 下列 规定 （ ） 分 散 型 控 制 系 统 及 相 关 设 备选 型 应 符 合 国家 现 行标 准 石 油 化 工 分 散 控 制 系 统设计规范 、 分 散 型 控 制 系 统工 程 设计规 范 及 石 油 化 工 安全 仪 表系 统设 计 ；规范 的 有 关 规定 分 散 型 控 制 系 统 （ 、） 安全 仪 表系 统 （ 、） 安 全 栅 等 设 备 宜 由 分 散 型 控 制 系 统 （ ） 供 货商 统一 提 供 ；、多晶 硅工厂 的 罐 区 还原 炉 室等 场 合 应 设 置 工业电 视 监 控 ；系 统自 控 仪 表 选 型 应符 合 现 行行业标准 石 油 化 工 自 动化 仪 表 、 选 型 设计规范 自 动化 仪 表 选 型 设计规 范 。的 有 关 规定 温度 仪 表 选 型 应符 合 下 列 规定 ： 温度 刻 度应 采 用 直 读 式 ， 温度 仪 表 正 常 使 用温度应 为量程， 。的 最 高 测 量 值 不应 超 过量程 的 就 地 温度 指 示 仪 表 宜 选 用 带 外 保护 套 管 的 万 向 型 双 金属 温度 计 。 温度 宜 为 ， 刻 度 盘 直径 宜 为 。 集 中 检测温度 仪 表 选 型 应 符 合 下列 规定 ： ）的 介 质 宜 选 用 热 电 阻 或 一 体化 温 度 变 送 器 ；） 超 出 的 介 质 宜 选 用 型 热 电 偶 或 电 偶 型 一 体化 温 ， ；度 变 送 器 热 电 偶 的 允 差 等 级应 为 级） ，温度 套 管 的 材 质 应按 介 质的 特 性 选择 用 于 测 量 硅 粉 介 质的 温度 计 套 管 宜 选 用 耐磨 材料 ， 测温 元 件 的 接 线 盒 宜为 不 锈钢 ；） 、 、 （ ）还原 炉 内 中 外 硅 芯 棒 的 温度测 量 仪 表 宜 采 用 高 温 红 外测温 仪 ， 且 宜 选 用 双 色 红 外测温 仪 。压 力 仪 表 的 选 型 应符 合 下列 规定 ： ， ；测 量 稳 定 压 力 时 正 常 操 作 压 力 应 为量程的 测 ， ；量 脉冲 压 力 时 正 常 操 作 压 力 应 为量程的 测 量 压 力 高 ， 。于 时 正 常 操 作 压 力 应 为量程的 就 地 压 力 仪 表 宜 选 用 不 锈钢 型弹 簧 管 压 力 表 ， 并 宜 径 向 无， ； ，边 刻 度 盘 直径 宜 选 用 精 度 宜 选 用 级 精 密 测 量 和 校 、 。验 用压 力 表 的 精 确 度 宜 为 级 级或 级 弹 簧 管 压 力 表 受 压检测 元 件宜 选 用 不 锈钢 材 质 。特殊介 质的 压 力 测 量 仪 表 选 型 应符 合 下列 规定 ：） ；微 压测 量 宜 采 用 膜盒 压 力 表或差压压 力 表 ） ；氯 硅 烷 介 质 宜 采 用 隔 膜 式 压 力 表 ） 氧 气 应 选 用 氧 气 压 力 表 ；） 、 、黏稠 易 结 晶 含 有 固 体 颗 粒或腐蚀 性的 介 质 应 选 用 隔 膜 ，压 力 表或 膜 片 压 力 表 隔 膜 或 膜 片 的 材 质 应 根据 测 量 介质的 特 性 选择 ； ） 安 装于 振 动 场 所 或 振 动 部 位 时 ， 宜 选 用不 锈钢耐 振 压；力 表）安 装在 爆 破 片 后的 压 力 表 宜 采 用 带 有 记忆 功 能 的 压 力 表 ；） 测 量 硅 粉 压 力 应 采 取 防 堵 措 施 。 ：压 力 和 差压 变 送 器 的 选 型 应符 合 下列 规定 ） 采 用 标准 信 号 传 输 时 ， 可 选 用压 力 和 差压 变 送 器 ， 精 度不应 低 于 ； 也可 选 用 法 兰 隔 膜 式 压 力 变 送 器 ， 精 。度不应 低 于 ） 、 。微 压 负 压测 量 宜 选 用 绝 对 压 力 变 送 器 及 差压 变 送 器 ） 黏稠 、 易 结 晶 、 含 有 固 体 颗 粒 或腐蚀 性的 介 质 应 选 用 法 兰隔 膜 式 压 力 和 差压 变 送 器 ； 当 采 取 灌 隔离液 、 吹 气 或 冲 洗， 。液 等 措 施 时 宜 选 用 一 般 的 压 力 和 差压 变 送 器） 对 于 易 冷 凝 、 结 晶 的 仪 表 ， 宜 采 用 法 兰 隔 膜 式 压 力 和 差压变 送 器 。：流 量 仪 表 的 选 型 应符 合 下列 规定 ，流 量 仪 表 的最 大 流 量 刻 度 读数 不应 超 过 正 常 流 量 ，的 刻 度 读数 宜 为 最 小 流 量的 线 性 刻 度 读数 不应 小 于， 最 小 流 量的 方 根 刻 度 读 数 不应 小 于 ； ，循 环 冷却 水 宜 选 用 电 磁 流 量 计 但 测 量 脱 盐 水 及 超纯 水 的 ， ；流 量 时 不 应 使 用 电 磁 流 量 计含 有 杂 质 或 硅 粉 的 氯 硅 烷 宜 选 用 靶 式 流 量 计 ；还原 炉 氢 气 进 料 流 量 控 制 仪 表 宜 选择 精 度不 小 于 ， 、且 大 量程 比 的 控 制 仪 表 并 宜 具 有 温 压 补偿 和 控 制程 序 组 态 功， ；能 不 宜 使 用 科 氏 力 质量 流 量 计 及对 工 艺 管 道 过 多 缩 径氯 硅 烷 介 质的 流 量 仪 表 宜 选 用 质量 流 量 计 、 靶 式 流 量 计 、 。可 变 面积流 量 计 容 积 式 流 量 计 差压 式 流 量 仪 表 宜 用 于其 他。介 质液 位 仪 表 的 选 型 应符 合 下列 规定 ： 就 地 指 示 的 液 位 测 量 宜 选 用 磁 性 浮 子 液 位 计 ， 磁 性 浮 子 液：位 计 的 选 型 应符 合 下列 规定） 测 量 黏 度 高 于 的 介 质 不 宜使 用 磁 性 浮 子 液 位 计 ；） 最 大 长度不 宜 大 于 ； ） ，当 介 质 密 度 时 介 质 密 度差应 大 于 ； ） 易冻 、 易 凝 介 质 应 选 用 电 伴 热 ；） 。低 温 介 质 应 选 用 防 霜 式 仪 表 ：远 传 指 示 液 位 仪 表 的 选 型 应符 合 下列 规 定 ） 宜 采 用差压 变 送 器 或 双 法 兰 差压 变 送 器 ， 当 差压 变 送 器不 能 满足 最 小 或 最 大 量程要求 时 ， 可 选 用 雷达 、 磁 致 等 形；式 的 液 位 变 送 器） 含 固 体 颗 粒 介 质的 液 位 测 量 应 采 用 超 声 波 液 位 计 、 导 波雷达 液 位 计 或 放 射 性 料 位 仪 计 ；）罐 区 液 位 测 量 宜 采 用 带 有 现 场就 地 指 示仪 表 的 雷达 或 伺 ，服 液 位 计 用 于 控 制 或 控 制 室 监 视 的 液 位 仪 表 精 度不应 低 ； 。于 用 于 计 量 的 液 位 仪 表 精 度不应 低 于 液 （ 界 ） 位 开 关 宜 选 用 外 浮 筒 液 位 开 关 或 音叉 液 位 开 关 。、 、 、 。压 力 差压 流 量 液 位 变 送 器 宜 选 用 智 能 变 送 器 变 送 器 ：应符 合 下列 规定外 壳 材料 宜 为 不 锈钢 ； 接 液 材 质 应 根据 介 质 选择 ， 但 不应低 于 。 ，现 场 指 示 表 头宜 为 数 字 液 晶 表 头 环境 温度 低 于 时 （ ） 。宜 采 用 发 光 二 极 管 表 头安 装 支 架 宜 采 用 碳钢 ， 在 腐蚀 环境 下 可 采 用不 锈钢 。需 要 配二 阀 组 或 三 阀 组的 变 送 器 应 成 套 提 供 ：调 节 阀 的 选 型 应符 合 下列 规定 泄漏 量 小 、 阀 前 后 压差 较 小 的 场 合 宜 选 用 单 座 调 节 阀 ；泄漏 量要求 不 严 、 阀 前 后 压差 大 的 场 合 宜 选 用 双 座 调；节 阀、阀 前 后 压差 较 大 介 质 不 含 固 体 颗 粒 的 场 合 宜 选 用 套 筒 调 节 阀 ；高 压差 调 节 阀 宜 采 用 角 型 调 节 阀 ； 、对 调 节 精 度 要求 不 高 无 气源 的 场 合 可 选 用 自 力 式 调 节 阀 ；含 有 固 体 介 质的 场 合 应 选 用 陶瓷滑 板 阀 、 耐磨 球 阀 或 盘 阀。等 耐磨 阀、可 燃 有 毒 气体 检测 仪 表 设计 及选 型 应符 合 现 行国家标准 石 油 化 工 可 燃 气体 和有 毒 气体 检测 报 警 设计规范 的 有 关 规定 ， 并 应符 合 下列 规 定 ：；对 于 氯 硅 烷 的 泄漏 检测 宜 选 用 氯 化 氢 有 毒 气体 检测 器 可 燃 气体 、 有 毒 气体 检测 报 警 系 统 宜 独立 设 置 ；报警信 号必须 发送至现场报警器 和有人 值守的控制室 或， ；现场操作室的指示报警 设 备 并必须 进行声光报警，便 携 式 可 燃 气体 或 有 毒 气体 检测 报 警 器 的 配 备 应 根据 生 、产 装 置 的 场 地 条 件 工 艺 介 质的 易 燃 易 爆 及 毒 性 和 操 作 人 员 数 量等 确 定 。：分 析 仪 表 选 型 应符 合 下列 规 定 。分 析 仪 表应 根据 工 艺 要求 和 控 制技术 选择 样 品 预 处 理 系 统 应 根据 样 品 的 可 燃 性 、 与水 反 应 、 样 品 有毒 的 特 点 进 行设计 。 样 品 预 处 理 系 统 应 配 置 氮 气 吹扫 系 统和 干。燥器（ ） 。色 谱 的 大 气 平 衡阀 阀 应 采 用 哈氏 材 质 色 谱 样 品 阀 驱 动气 应 采 用 氮 气 。：控 制 室 的 设 置 应符 合 下列 规定 、 、 、中 心控 制 室内 应 设有 操 作 员 间 机 柜 间 工 程 师 站间 维 修 间 、 不间断 电 源 （ ） 间 、 空 调 室及 管 理 和 生 活 设施 ， 并 应 符 合 现行行业标准 石 油 化 工 控 制 室 设计规范 和 控 制 室 设 ；计规定 的 有 关 规定 ， ，控 制 室室内 温 度 冬 季 宜 保 持 在 夏季 宜 保 持 在 ， 相 对 湿度 宜 保 持 在 ； 公 用 工 程装 置 宜 设 就 地 控 制 室 ， 控 制 室内 宜 设 独立 的 不 间 （ ，） ；断 电 源 与 主 装 置 相 关 的 工 艺参 数 可 通 信 至 中 心控 制 室还 原 工 段 为 易 燃 、 易 爆 且 需 要 操 作 人 员 进 行 现 场 监 控 和 操作 的 区 域 ， 可 在 还原 车 间 现 场 设 置 防 爆 屏 进 行 监 控 。、 、 、 ：仪 表 电 源 接 地 气源 热源 应符 合 下列 规定 （ ）在 中 心控 制 室及 就 地 控 制 室 设 置 不间断 电 源 电 源 时 ， 使 用 时 间不 应 小 于 ； 仪 表 及 控 制 系 统 供 电设计 应按 现 行 行 业标准 石 油 化 工 仪 表 供 电设计规范 和 仪 表 供 电 。设计规定 的 有 关 规定 执 行 仪 表 接 地 系 统 可 包括保 护 接 地和工 作 接 地 ， 工 作 接 地 可 包括 信 号 回路 接 地 、 屏蔽 接 地 、 本质 安全 仪 表系 统 接 地 ； 采 用 等 电 位， （ ）连 接 的 原 则 接 地电 阻 应符 合 有 关 分 散 型 控 制 系 统 厂 商 的。 要求 仪 表 接 地 设计 应 按 现 行行业标准 石 油 化 工 仪 表 接 地设计 规范 和 仪 表系 统 接 地设计 规范 的 有 关 规定 执 行 。，仪 表 气源 应 采 用净 化 空气 仪 表 进 口 空气 压 力 不应 小 于 ， ，空气 压缩 机 出 口 空气 压 力 不 宜 小 于 露点 温度 应 低 于 当 地 最 低 极 端 温度 。 仪 表 供气 设 计 应符 合 现 行 行业标准 石 油 化 工 仪 表 供气 设计规范 和 仪 表 供气 设计 。规定 的 有 关 规定 ，仪 表伴 热 应 采 用 电 伴 热 或蒸 汽伴 热 形 式 并 应符 合 现 行行 业标准 石 油 化 工 仪 表 及 管 道 伴 热 和 绝 热 设计规范 和 仪 表 及 管 线伴 热 和 绝 热保 温 设计 规范 的 有 关 。规定 辅助 设施 压缩空气 站 ，压缩 空气 站 设计 应 满足 工 艺 和 仪 表用 气 要求 并 应符 合 现 行国家标准 工业 自 动化 仪 表 气源 压 力 范 围 和 质量 和 压缩 空气 站 设计 规范 的 有 关 规定 。 ，空气 压缩 机 的 吸 风 口 应 位 于 空气 洁净 处 应 在 厂区有 害 气 。体 和 固 体 尘埃 释 放 源 的 全 年 最 小 频 率 风 向 的 下 风 侧空气 压缩 机 的 选 型 和 台 数 应 根据 各 车 间用 气 量 、 自 身 用 气 量 、 压 力 要求 ， 以及气路 系 统 损 耗 确 定 ， 并 应 设 置 备 用 机 组 或可 替。 、 。代 气源 空气 压缩 机 应 选 用效率 高 低噪声 的 节能 机型制 氮 站 制 氮站可 与 压缩 空气 站 设 置 在同 一建 筑 物 内 ， 也可靠 近 压 ；缩 空气 站 制 氮用 的 压缩 空气与作 为 仪 表 气源 的 压缩 空气 可 由同个 机 组 产 出 ， 也可 分 机 组 独立 产 出 。氮 气 质量 应符 合 下列 规定 ： ；压 力 应 大 于 或 等 于 ；氮 气 纯 度应 大 于 或 等 于 露点 应 小 于 或 等 于 。 制 氮站 供气 量 应 包 含 工 艺生 产 系 统 置 换 用 气 、 保 护 用 气及 ， 。管 网 损 耗 的总 用 量 并 应 大 于 生 产 事故 的最 大 用 量制 氮站 的 液 氮 储存 量 应 根据制 氮 机 组 事故 状 况 下 恢 复 正 常 产 气 的 时 间 确 定 ， 应 保 证 主 生 产 系 统 的 安全 用 量 。，制 氮系 统 应 具 有 自 动 调 节气 量 功 能 并 应 根据 用 气 需 求 降 。低 或 提 高 产 气负 荷 制 氢 站 制 氢 站 设计 应符 合 现 行国 家标准 氢 气 站 设计规范 ， 。的 有 关 规定 并 应 独立 设 置 制 氢 工 艺路 线 选 择 应 根据 所 在 地区 原 料 储 备 、 原 料 价 格 、 能源 结 构 、 能源 价 格 等 情况 ， 经技术经 济 分 析 比 较 后 确 定 ， 并 应 选、 。择安全 可靠 环保 的 节能 设 备， 。氢 气 纯 度应 大 于 露点 应 小 于 导 热 油 、导 热 油 产品 型 号 应 根据最 高 使 用 温度 价 格 及 使 用 寿命 技 术经 济比 较 后 确 定 。 导 热 油 加热 系 统设计 应符 合 现 行行业标准 导 热 油 加热 炉 ， ，系 统规范 的 有 关 规定 并 应靠 近 主 要的 负 荷 中 心 区 。管 线 布 置 应 短 捷厂区 管 网 宜 架 空 敷 设 ，管 道 宜 利 用 自 然 弯曲 补偿 管 道 热 伸 长 。 纯水制备 硅 芯 、 石 墨 件 及 硅 料 清 洗 应 采 用 纯 水 。 纯 水 站 位 置 应 满足 工 艺 总 体 布 局 的要求 ， 并 应 就近 用 水 设 。备 布 置。纯 水水 质 指 标 不应 低 于 表 的 规定 表 纯水水质 指 标 序 号 参 数 指 标 线 宽 （ ） ， （ （） ） 电 阻 率 在 线 总 有 机 碳 （ （） 在 线 ， （） ） 在 线 检测 溶 解 氧 （ ） 续表 序 号 参 数 指 标 （ ）在 线 检 测蒸 发 残 留 物 在 线检测 颗 粒 （ 个 ） 扫 描 电 镜 检测 颗 粒 （ ）个 取 样 细 菌 取 样总 二 氧 化 硅 （ ） （ ）可 溶 性 二 氧 化 硅 铵 （ ） （ ）溴 化 物 氯 化 物 （ ） （ ） 氟 化 物 硝 酸 盐 （ ） （ ） 亚硝 酸盐 磷 酸盐 （ ） （ ） 硫 酸盐 铝 （ ） （ ） 钡 硼 （ ） 续表 序 号 参 数 指 标 钙 （ ） 铬 （ ） 铜 （ ） （ ） 铁 铅 （ ） 锂 （ ） （ ） 镁 锰 （ ） 镍 （ ） 钾 （ ） （ ） 钠 锶 （ ） 锌 （ ） 注 ： 表 中第 项 第 项 采 用 电 感 耦 合 等 离 子 体 质 谱 （ ） 检测 。 纯 水 储存 和 分 配 应符 合 下列 规 定 ： 纯 水 储存罐 体 和 输 送 管 道 材料 应 满足 生 产 工 艺 的 水 质要求 ， 宜 选择 洁净 聚 氯 乙烯 管 （ 、） 聚 偏 二 氟 乙烯 管 （ ） 等 管 材 ， 管 道 附 件 与 阀 门 等 应 采 用 与 管 道 相 同 的 材 质 。 纯 水 输 送 管 道 系 统 应 采 用循 环 方 式 。 设计 和 安 装 时 ， 不应 。出 现 使 水 滞 留 和 不 易 清洁 的 部 位 循 环 干 管的 流 速 宜 大 于 ， 。不 循 环 的 支 管 长度不 应 大 于管 径 的 倍 。纯 水 储罐 和 输 送 系 统 应 设 置 清 洗 系 统 、 纯 水 制 备 储存 和 分 配 应符 合 现 行国家标准 电 子 工业 纯 。水 系 统设计规范 的 有 关 规定 制 冷 ，工 艺生 产 用冷 要求 低 于 时 宜 采 用 直 接 蒸 发 式 制 冷 。系 统工 艺 生 产 等 系 统所 需 的 冷 冻 站 宜 集 中设 置 ， 并 应 临 近 负 荷 中 心 布 置 。冷 冻 系 统 设计 宜 采 用 闭 式 循 环 系 统 ，采 用 乙 二 醇 作 为 载 冷 剂 时 乙 二 醇 水 溶 液 储罐 容 积应 满足 系 统 停 车 时 系 统 内 部 乙 二 醇 水 溶 液 的 储存 要求 ， 受 场 地限 制 时 ， 应。设 置 临 时 储罐蒸 汽 蒸汽 源选择 应符 合 下列 规定 ： 、蒸汽 源选择 应 根据 生 产 规 模 热负 荷 及 所 在 地区 的 能源 结 、 ；构 政 策 等 因素 综 合 论 证 确 定应 利 用 工厂 周 边已 有 的 热 电厂 或 区 域 供热 站 等 蒸汽系 统 ，当 外 部 汽 源 不 能 满足 所 需 热负 荷 时 ， 应 自 建 锅 炉 房 供 汽 。 锅 炉 房设计 应符 合 现 行国家标准 锅 炉 房设计规范 的 有 关 规定 ， 并 应符 合 下列 规 定 ： 宜 采 用 燃 气 、 燃 油 锅 炉 ； 环境 许可 时 ， 可 采 用 燃 煤锅 炉 ； 锅。炉 选 用应符 合 环保 要求。宜 选 用 饱 和 蒸汽 锅 炉 锅 炉 容 量 和 数 量 应适应 热负 荷变 化 ， 数 量 不应 少 于 台 ， 且 不 宜 超 过 台 ， 可 设 置 备 用 锅 炉 。锅 炉 宜 选 用相 同 型 号 锅 炉 房 应 留 有 扩 建 场 地 。蒸汽压 力 的 确 定 应符 合 下列 规定 ： ；应 在 满足 用 户 需 要的 前 提 下 选择供 汽压 力 应 根据 生 产 工 艺 和 空气 调 节 用汽 情况 选择 蒸汽 管 网 输 送 ， ；压 力 全 厂 蒸汽 管 网 压 力 等 级不 宜 多 于 个等 级蒸 汽 减 温 减 压系 统 宜 集 中设 置 ， 应 满足 工 艺 装 置 开 车 时 的；用汽 负 荷 要求。减 压 阀 后 应 设 置 安全 阀 蒸汽系 统设计 应符 合 下列 规定 ： 用汽 设 备 进 口 或蒸汽系 统 总管 宜 设 置 蒸汽 计 量装 置 ；。全 厂 蒸汽冷 凝 水 宜 回收 利 用 建 筑 结 构 一般规定 （ ） 、建 构 筑 物 的 火灾危险 性 分 类 耐 火 等 级不 应 低 于表 。的 规定 （ ） 、表 建 构 筑 物 的火灾危 险 性 分 类 耐 火 等 级 （ ）建 构 筑 物 名称 火灾 危 险 性 分 类 耐 火 等 级制 氢 站 甲 二级氢化厂房 甲 二级三氯氢硅合成厂房 甲 二级精馏装 置 甲 二级还原厂房 甲 二级整 理厂房 丙 二级还原 尾气干法回收 装 置 甲 二级工 艺废料废液 处理 甲 二级综合 维修 厂房 丁 二级综合 仓库 丙 、 丁 二级压缩空气站 戊 二级 制氮站 戊 二级冷 冻 站 戊 二级脱盐 水站 戊 二级变 电 所 丙 二级浸 油 变 压器室 丙 一 级生 产 、 生 活 水 加 压站 戊 二级中 央 控制室 丁 一 级 续表 建 （ 构 ） 筑 物 名称 火灾 危 险 性 分 类 耐 火 等 级循环 水站 戊 二级污 水 处理 站 戊 二级硅 粉库 丙 二级化 学 品 库 甲 、 乙 、 丙 二级三氯氢硅 罐 区 甲 二级泡沫 站 戊 二级锅炉 房 丁 二级多晶硅工 厂建 （ 构 ） 筑 物之间 的最 小 间距应符 合 现 行国家 ，标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 露天 工 艺 装 置 与 建 （ 构 ） 筑 物之 间 的最 小 间距应符 合 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业 。设计 防 火 规范 的 有 关 规定 、 ， 有 爆 炸 危险 的 甲 乙 类 火 险 设 备 宜 露天 或 半 露天 布 置 但有工 艺 洁净 要求 或 有 防 冻 、 防风 沙 限 制的 设 备 可 设 在 厂房建 筑内 ，爆 炸 危险 区范 围 的 划 分 应按 现 行国家标准 爆 炸 危险 环境 电 力 装置 设计规范 的 有 关 规定 执 行 。 有 爆 炸 危险 的 甲 、 乙 类 厂房 泄 压 面积 的 设 置 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 ， 。的 有 关 规定 执 行 并 应 对 人 员 安全 疏 散 采 取 防护 措 施 厂 房 、 仓 库 的 防 火 分 区 应符 合 下列 规定 ： 、 厂房 仓 库 的 防 火 分 区 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 规定 。 甲 、 乙 、 丙 类 多层厂 房 内 各 层 由 不 同 功 能 房 间 组成 时 ， 宜 按 ， 。层划 分防 火 分 区 疏 散 楼 梯 应 采 用 封闭 楼 梯 间或 室 外 楼 梯 封闭楼 梯 间 的 设计 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 ， ，的 规定 执 行 封闭 楼 梯 间 的 门 应 为 乙 级 防 火 门 门 应向 疏 散 方 向 开， ；启 双 扇 门 应 具备 顺 序 启 闭 功 能 室 外 楼 梯 的 设计 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 执 行 。 厂房和 露 天 装 置 中 操 作 人 员 和建 筑 的 安全卫生 设计 应符 ，合 国家 现 行有 关 工业 企 业 设计 卫生 标准 的 规定 工 艺 装 置 还 应符合 现 行行业标准 石 油 化 工 企 业 职 业 安全卫生 设计规范 。的 有 关 规定、 、厂房 辅助 用 房 公 用 工 程 等 建 筑 内 装修 设计 应按 现 行国 家标准 建 筑内 部 装修 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 执 行 。 主要 生 产厂 房和 辅助 用房 ：还原 厂房 及辅助 设施 的布 置 应符 合 下列 规定 还原 厂房 及辅助 设施 宜 采 用 钢 筋 混凝 土 结 构 或 钢 结 构 ， 耐。火 等 级不应 低 于 二 级，还原 炉 室 为甲类 火险 且 有 防爆 要 求时 厂房内 不 应设置 办 公 室 、 休息 室 。 其他辅助 房 及 卫 生间 等 需 要 布 置 时 ， 必须 布 置 在 还原 炉 室 端墙贴邻 一 侧 ， 并应 采 用 耐 火 极限不低 于 的 不 燃 体防 。 ，爆防 护 墙 与 还原 炉 室分 隔 当 防爆防 护墙兼 作防火 墙时 耐 火 极。限 应 为 变 压 器室 、 调功 器 室 、 高 压 启 动室 、 炉 体 清洗 检 修 间 、 炉 体冷 却 水 系统 等 辅助 房 间 ， 应 与 还原 炉 室 布 置 在不同 的 隔 间 或 防火， 、 、 ，分 区内 并必须用 防火 墙 防爆防 护墙 防火 楼板 分 隔 平面布 置应符 合 现行 国家标准 建 筑 设计 防火 规范 的 有 关 规定 ； 还 原 炉 室 墙外侧 有 汇 流排 等 易燃易 爆 设施 时 ， 应设置 具 有 防爆防 护。功 能的 半 高隔墙。人 员 进入 还原 厂房 宜 经过 净 化室 人 员 净 化室 布 置 在 厂 房 山 墙 一 侧 时 ， 应用 防 爆 防护 墙 与 还原 炉 室分 隔 。还原厂房应 采 用 封闭 楼 梯 间 ， 直通 还原 炉 室的 封闭 楼 梯 间。应设置 具 有 防爆防 护功 能的 前 室还原 厂房 的 楼 梯 间 布 置 及 疏 散 距 离 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 疏 散 梯 设 为 室 外 楼 ， 梯 时 应按 现 行国 家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规 。定 执 行 ， 还原 炉 室 应按检 修 需 要 布 置 设 备 检 修 平 台 和 钢 梯 钢 梯 净宽 不应 小 于 ， 坡 度不 宜 大 于 。 ，还原 厂房 的管 道 夹 层 应 采 用 敞 开 或 半 敞 开式 布 置 顶棚 应 ， ， 、 、采 取 防 止 气体 积 聚 的 措 施 设 置 吊 顶 时 吊 顶 应 平 整 密封 不 留 死角 ， 多 雨 地区 应 采 取 挡雨 措 施 。整 理 厂房 布 置 应符 合 下列 规定 ： ，整 理 厂房 宜 采 用 钢 筋 混凝 土 结 构 或 钢 框架 结 构 耐 火 等 级 ， 、不应 低 于 二 级 防 火 分 区 安全 疏 散 口 布 置 及 疏 散 距 离 均 应符 合 现行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 、 ，应 合 理布 置 洁净 区 普 通 生 产 区 及 辅助 房 间 在 洁净 区 内 。 ，人 流 路 线应 避 免往 复 交 叉 厂房 内 货 运 电 梯 前 应 布 置 缓 冲 间 宽度应 与 电 梯 井 道 相 同 ， 进深 不应 小 于 。 还原 厂房 与 整 理 厂房 连廊 布 置 应 遵 循 合 理 、 方 便 、 安全 的 ， 原 则 并 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 规 。定 连廊 的 空气 洁净 度 要求 应符 合 本 规范第 条 第 款的 规定 。厂房 内 洁 净 区 的 人 员 净 化室 和 物 料 净 化室 设 置 应符 合 现 ， 、行国家标准 洁净 厂房设计规范 的 有 关 规定 更衣 室 卫生 间 设 置 应 符 合 国家 现 行有 关 工业 企 业设计 卫生 标准 的 规定 。辅助 用 房设计 应符 合 下列 规定 ： 变 电所设计 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 和 火 力 发电厂 与 变 电 站 设计 防 火 规 范 的 有 关 规定 。全 厂 性的 中 央 控 制 室 宜 独立 设 置 ， 与 其 他 建 （ 构 ） 筑 物 的 防 火 间距应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。中 央 控制室 同 其他 建 筑 合建 时 应划 分 成 独立 的防火分 区 。， ，当 合建 的 建 筑 位 于爆炸危险 区内 时 应 采取防爆防 护 措 施 建 筑 的。安全出口 不 应 直 接 面 对 有 爆炸危险的 装 置 、 压缩 空气 站 制 氮站 设 计 应符 合 现 行行业标准 压缩 机 厂房建 筑 设计规定 的 有 关 规定 。 、 、 、 、制 氢 站 循 环水 站 工 艺 废 料 废 液 处 理 污 水处 理 站 脱 盐 、 、 、 、 、 、水 站 锅 炉 房 综 合 仓 库 综 合 维 修 厂 房 硅 粉 库 化 学品 库 泡沫 站等辅助 用 房 的 防 火 设计 ， 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 、 ：装 置框架 构 筑 物 设计 应符 合 下列 规定 、 、氢 化 厂房 精馏 装 置 还原尾 气 干法 回收 装 置 等 甲 类 火 险 等 级 的装 置框架 ， 宜 采 用 钢 筋 混凝 土框架 结 构 ； 在 受 施工 等 条 件 限， ， ，制 时 可 采 用 钢 结 构 框架 耐 火 等 级不应 低 于 二 级 钢 结 构 应 采 取。耐 火 保护 和 防 腐蚀 处 理露天 装 置 的 钢 结 构 框架 耐 火 保护 应符 合 现 行国家标准 石油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 甲 类 原 料 罐 区 防 火 堤 设计 应符 合 现 行 国家标准 储罐 区 防 。火 堤 设计规范 的 有 关 规定 储存 有 毒 性 液 体 罐 区 应按 现 行 行业标准 石 油 化 工 企 业 职 业 安全卫生 设计规范 的 要求 对 堤 内 地 坪 、 排水 沟 、 集 水 坑 等采 取 防 漏 措 施 。、防 火 防爆 还原 、 整 理 厂房 的 防 火 、 防 爆 设计 应符 合 下列 规定 ： 厂房 防 火 分 区 及 疏 散 口 布 置 及 疏 散 距 离 应符 合 现 行国家 。标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 还原 炉 室 应 采 用 泄 爆 墙 及 带 有 通风 设 施 的 泄 压 屋 面 ， 在外墙 设置 泄 压 面时 应 对室 外贴邻 的 汇流排 等 易燃易 爆 设施设置 保 护。 ：性 的防爆防 护 半 高隔墙 外墙 与 屋 面 泄 压 面 积 应 符 合 下 列 规定） 泄 压 面 积 的 计 算 应 符 合 现行 国家标准 建 筑 设计 防火 规范 的 有 关 规定 。 ） 、泄 压 设施应 采 用 易 于 脱 落 的 轻 质 屋 盖 易 于 泄 压的 门 和 。窗 及 轻 质 墙 体作 为 泄 压 面 积 作 为 泄 压 面 积 的 轻 质 墙 体 ，及 轻 质 屋 面板 自 重 不 得超过 材 料 的 燃 烧 性 能应 为 级 。，还原 炉 室防爆 防 护墙 上开 的 门 应 为 防爆 门 防爆 门 的 耐 火 ， ，极限不 应 低 于 当 防爆 墙兼 作防 火 墙时 防爆 门 的 耐 火 极限 不 应 低 于 ， 通向疏散 通 道 和 疏散 楼 梯 的防爆 门开 启 方向 应 朝向疏散方向 。厂房 洁净 区 的 防 火 设计 应符 合 现 行国家标准 洁净 厂房设 。计规范 的 有 关 规定 还原 炉 室 外 墙 和 屋 面 泄 压面 积 的 设 置 宜 靠 近 爆 炸 危险 源 。、 ：制 氢 站 防 火 防 爆 设计 应符 合 下列 规定 制 氢 站 防 火 分 区 及 疏 散 口 布 置 及 疏 散 距 离 应符 合 现 行国 家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 ； 制 氢 装 置房 间与 其 他辅助 房 间 应用 防爆防 护墙 分 隔 ， 制 氢；装 置房 间的 屋 面 或 墙面 应设置 泄 压 面 积泄 压面积 计 算 和设 置 要求 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 ； 建 筑 结 构 设计 应按 现 行 国家标准 氢 气 站 设计规范 。的 有 关 规定 执 行 装 置变 电所 防 火 分 区 、 疏 散 口 布 置 及 疏 散 距 离 等 应 符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 和 火 力 发电厂 与 变 电 。站 设计 防 火 规 范 的 有 关 规定 、 、氢 化 精馏 等 露天 装 置 及 构筑 物 的 防 火 防 爆 设计 应符 合 下列 规定 ：露天 装 置框架 设计 应符 合 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设 ；计 防 火 规范 的 有 关 规定 当 装 置框架 为 钢 结 构 时 ， 钢 结 构 的 耐 火 保护 应符 合 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 、 ：罐 区 的 防 火 防 爆 设计 应符 合 下 列 规定 、 ，甲 乙 类 可 燃 液 体 地 上 储罐 的 罐 区设 置 应符 合 现 行国家 ；标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规 范 的 有 关 规定防 火 堤 的 设计 应符 合 现 行 国家标准 储罐 区 防 火 堤 设计规 。范 的 有 关 规定 辅助 用 房 及 公 用 工 程的 建 筑 防 火 设计 应符 合 现 行国家标 准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 洁净 设计 及 装 修 、 ：还原 整 理 厂房 洁净 设计 及 装修 应符 合 下列 规定 半导 体 级 多晶硅 还原 厂房 的 还原 炉 室 应按洁净 厂房 进 行， 。 、 、设计 空气 洁净度 等 级不应 低 于 级 平 面 布 置 人 员 净 化 物流、 净 化 室内 装修 应符 合 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范的 有 关 规定 。 当 设有 通 往 整 理 厂房 的 连 廊 时 ， 连廊 的 空气 洁净度 等 级 和 处 理 方 法 应 与 还原 炉 室 的要求 一 致 ， 宜 符 合 本 规范。附录 的 规定，还原 炉 室 地 面 宜 采 用 耐磨 的 洁净 地 面 当 采 用 水 磨 石 地 面 时 ， 应 采 取 防 静 电 措 施 。 墙 面 宜 采 用外 贴 洁净 板 或 防 静 电 树 脂涂 料 。整 理 厂房 空气 洁净度 等 级 及 洁净 区划 分 应按 工 艺 要求 设 置 ， 空气 洁净度不应 低 于 级 。 平 面 布 置 、 人 员 净 化 、 物流净 化 、 室内 装修 ， 应符 合 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范 的 有 。关 规定、整 理 厂房 的 洁净 房 间 地 面 宜 采 用 环 氧 自 流 平 地 面 聚 氯 乙 烯 （ ） 膜 材料 或 水 磨 石 地 面 ， 地 面 应 采 取 防 静 电 措 施 。 其 他 建 （ 构 ） 筑 物 的 地 面 及 装修 应 符 合 下列 规定 ： 。厂房地 面 与室 外 自 然 地 坪 高 差 宜 大 于 或 等 于 有 洁净 要求的 房 间 地 面 应 满足 工 艺生 产 要求 ， 地 面应 平整 、 耐磨 、 易 清 洗 、 不 易 积 聚 静 电 、 避 免眩 光 、 不 开 裂 ， 踢脚 不应 突 出。 ， 。墙 面 地 面 垫 层 宜配 筋 潮 湿 地区 应 有 防 潮 措 施、 、 洁净 房 间 的 门 窗 墙 面 顶棚 装修 应符 合 现 行国家标准 洁 。净 厂房设计 规范 的 有 关 规定普 通 区 辅助 房 间 地 面应 根 据 使 用 性质 和 要求 选 用 ， 室内 装修 应符 合 现 行国家标准 建 筑内 部 装修 设计 防 火 规范 。的 有 关 规定防 腐 蚀 多晶硅 工厂 腐蚀 性 介 质 类 别 的 划 分 应符 合 表 的 规定 。 表 多晶硅工 厂 腐蚀 性 介 质 类 别 划 分气 相 介 质 液 相 介 质装 置 名 称 生 产 部 位介 质 名 称 腐蚀 类 别 介 质 名 称 腐蚀 类 别还 原 厂 房 还原 炉 三氯氢 硅 三氯氢 硅精馏 塔 ， 换 热 器 和精馏 装 置泵 等中三氯氢 硅 ，四氯 化 硅，还原尾 气 干法 塔 器 换 热 器 和回收 装 置 机泵 等三氯氢 硅 ， 三氯氢 硅 罐 区 贮 罐四氯 化 硅，反 应 器 换 热 器 和氢 化 厂房 中机泵 等三氯氢 硅 ，中四氯 化 硅三氯氢 硅 合 成 合 成 炉 ， 换 热 器 和厂房 机泵 等，氢 氟 酸整 理 厂房 酸洗 机 硝 酸 等工 艺 废 料 废 液 三氯氢 硅 ，洗 涤 塔 和 机泵 等 中 盐酸处 理 四氯 化 硅注 ： 介 质本 身 无 腐蚀 性 ， 但 遇 水 后 生 成 盐 酸 ， 为 强 腐蚀 性 ； 表 中 腐蚀 介 质的 类 别 应按 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规范 的 有 关 规 定 分 类 。 （ ） ：建 构 筑 物 防 腐蚀 处 理 应符 合 下列 规 定 地 面 防 腐蚀应符 合 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规 ， ：范 的 有 关 规定 并 应符 合 下列 规 定） 有 液 态 介 质 腐蚀 的 地 面应 以 块 材 面 层 或 整 体 面 层 防 腐蚀，为 主 不 经 常 接 触 液 态 介 质 腐蚀 的 露天 装 置楼 面 的 整 体，面 层 可 选择 耐 候 性 好 的 防 腐蚀 耐磨 涂 料 厚 度不应 小 于， 室 外 环境 下不 得使 用 环 氧 涂 料 ； ） 露 天 装 置 钢 结 构 框架楼 面 选 用 钢 格 板 时 ， 钢 格 板 应 采 用，耐 腐蚀 的 材料 制 作 或 进 行 防 腐蚀 处 理 也可 对 钢 格 板 楼；面 采 取 局 部 承 接 盘 引流 等防 泄漏 措 施） 有 液 态 介 质 腐蚀 的 底 层地 面 排水 坡 度不 宜 小 于 ， 楼 ；层 不 宜 小 于） ，有 液 态 介 质 腐蚀 的 地 面 排 水 沟 宜 采 用 明 沟 沟 宽 超 过 时 应 设 置 耐 腐蚀 的 箅 子 板 或 沟盖 板 ， 地 沟 底 面 的 纵 向 坡 度 宜 为 。 ， 、 、 、 、在 气 态 介 质 和 固 态 粉 尘 介 质 作 用下 墙 面 顶棚 梁 板 柱 ，等 建 筑构 件 的 表 面 防护 宜 以防 腐 涂 料 为 主 防 腐 涂 料 的 使 用 情况应符 合 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规范 的 有 关 规定 。、 、有 液 态 介 质 腐蚀 的 钢 筋 混凝 土 池 槽 坑 的 防 腐 蚀应符 合 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规范 的 有 关 规定 。 结 构 设计 、结 构 设计 应 根 据 工 艺 布 置 要求 生 产 特 性 以及 工 程 地 质条 件 等 因素 ， 选择 技术 先 进 、 经 济 合 理 、 安全 适用 的结 构 设计 方 案 。多晶硅工厂建 （ 构 ） 筑 物 的 设计 基 准期 应 为 年 。 （ ） ， 、多晶硅工厂建 构 筑 物 抗震 设 防 划 分 应 根据 生 产 规 模 产品 性 状 、 生 产 特 点 、 社会 影响 、 停 产 损 失 和 修复 难 度 等 因素 确 定 ，并 应符 合 现 行国家标准 建 筑 工 程 抗震 设 防分 类 标准 。 （ ）的 有 关要求 主 要 生 产 装 置 建 构 筑 物 抗震 设 防 类 别 应 符 合 表。的 规定 表 主要 生 产 装 置建 （ 构 ） 筑 物 抗震 设 防 类 别 抗震 设 防 类 别 建 （ 构 ） 筑 物名 称制 氢 站 、 电 解 厂 房 、 液 氯 厂 房 及 仓 库 、 三氯氢 硅 合 成 厂房 、 氢化 厂房 、 精馏 装 置 、 还原 厂房 、 工 艺 废 料 废 液 处 理 、 还原尾 气回乙 类 收 装 置 、 中 央 控 制 室 、 化 学品 库 、 总 变 电 站 、 装 置变 电所 、 消防加、 、 、 、 、 、压 泵 房 消防水 池 制 氮站 压缩 空气 站 冷 冻 站 锅 炉 房 发电机 房 、 给水 泵 房 、 酸 碱 罐 区 、 三氯氢 硅 罐 区 、 重 要的 设 备 基础 等整 理 厂房 、 脱 盐 水 站 、 综 合 维 修 厂房 、 综 合 仓 库 、 深 井泵 房 、 污丙 类水处 理 站 、 管 道 支 架丁 类 地 下 沟 、 井 、 围 墙 、 临 时 仓 库 、 自 行 车 棚： （ ） 。注 乙 类 建 构 筑 物应按 高 于 当 地 抗 震 设 防 烈 度 一 度 采 取 抗 震 措 施，多晶硅厂 房设计应 说明结 构 用 途 在 设计 使 用年 限 内 未经 ， 。技术鉴 定或设计 许 可 不 得改 变 结 构 用 途 和 使 用 环 境设计 荷 载 应符 合 下列 规定 ： 建 （ 构 ） 筑 物 楼 面 均 布 活荷 载 标准 值 及 其组 合 值 、 频 遇 值 、， ，准 永 久 值 系 数 应按 生 产 实 际 情况确 定 缺乏 资 料时 可按表 执 行 。（ ）表 建 构 筑 物 楼面 均 布活 荷载（ ）类 别 标准 值 组 合 值 系 数 频 遇 值 系 数 准 永 久 值 系 数还原 厂房 运 行 层 （ ） 还原 与 整 理 厂房 之间 连 廊 （ ）其 他 装 置 （ ）操 作 平 台 楼 梯 、 走廊 压 型 钢 板 等 轻 型 屋 面 屋不 上 人 屋 面 面上 人 屋 面 按 现 行国家标 准 建 筑 结 构 荷 载 规范 的 有 民 用 建 筑关 规定 执 行 注 ： 表 中 带 括 号 的 标准 值 用 于 设 备安 装 、 检 修 分 部 件 较 大 时 ； ， ；屋 面 用 作 楼 面 时 按 楼 面 设 计 屋 面 活荷 载 不 与 雪 荷 载 同 时 计 算 ；高 低 跨 时 ， 受 施工 影响 ， 低 跨屋 面 荷 载 可 增 加 ； ； 屋 面 荷 载 尚应 计 算 管 道 等 悬 挂 设施 的 作 用表 中所 列 荷 载 不 包括 隔墙 自 重 ； ， 计 算 地 震 作 用 时 组 合 值 系 数 按 现 行国家标准 建 筑 抗震 设计规范 的 规定 执 行 。 （ ） 。建 构 筑 物 的 设 备 荷 载 标准 值 应 根据 设 备 条 件 确 定 计 。算 时 可 分解 为 永 久 荷 载 和 可 变 荷 载当 还原 厂房 根据 工 艺 专 业 要求 设 置 多 台吊 车 时 ， 计 算竖 向和 水 平 荷 载 参与 组 合 的 吊 车 台 数 不 宜 多 于 台 ， 其 荷 载 标准 值 应。根据 吊 车 工 作 级 别 乘 以 的 折 减 系 数 动 力 设 备 的基础 设计 应 按 现 行国家标准 动 力 机 器 基础 设 ，计规范 的 有 关 规定 执 行 各 类 动 力 设 备 的 动 力 荷 载 及 其 分 布位 置 应 由 设 备 制 造 厂 商 提 供 。搬 运 、 装 卸 设 备时 的 动 力 系 数 可 取 。 ：材料选择 应 符 合 下列 规定 ， 材料选 用应 因 地 制 宜 其性 能 应符 合 现 行国家标准 工业 ；建 筑防 腐蚀 设计规范 有 关结 构构 件 所 处环 境 的要求 控 制 室 、 办 公 室等 人 员 集 中 场 所 的 建 材及 外 加 剂 选 用应符合 现 行国家标准 民 用 建 筑 工 程 室内环境 污 染 控 制 规范 。的 有 关要求 （ ） 。 ，建 构 筑 物 基础 宜 采 用 天 然 地 基 遇 有 下列 情况 之 一 时 ：应 采 用 人工地 基天然 地 基的 承 载 力 或 变 形不 能 满足 建 （ 构 ） 筑 物 的 使 用要求 。地 基 有 良好 的 下 卧 层 ， 经技术经 济比 较 ， 采 用 人工地 基 比 。天然 地 基 更 为经 济 合 理；地 震 区地 基 存 在 不 能 满足 抗 液 化 要求的 土 层 当 采 用 人工 ， 。地 基 时 宜 对 界 区 内 进 行 整 片 处 理位于 湿 陷 性 黄 土 、 膨胀 土 、 冻 胀 土 、 盐 渍 土 地区 的 建 （ 构 ） 筑， 物 应 分 别 符 合 国 家 现 行标准 湿 陷 性 黄 土 地区建 筑 规范、 、膨胀 土 地区建 筑 技 术 规范 冻 土 地区建 筑 地 基基 础 设计规范 及 盐 渍 土 地区建 筑 规范 的 有 关 规定 。、 、基础 埋 深 应 满足 工 艺 暖 通 给 排水等 专 业地 下 管 道 的要 ； ， 求 位于 腐蚀 区 域 时 应符 合 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规范 的 有 关要求 。 ，多层 厂房 宜 采 用 现 浇 钢 筋 混凝 土框架 结 构 或 钢 框架 结 构 ，单 层厂房 可 采 用 门 式 刚 架 轻 型 钢 结 构 或 钢 筋 混凝 土 排 架 结 构 大跨 度 屋盖 宜 采 用 轻 型 钢 结 构 ， 设 备 基础 可 采 用 块 式 、 墙式 、 箱 形或框架 式 等 结 构 形 式 。：结 构 布 置 应符 合 下列 规定 ， ； ，厂房 的 柱 网 应 整 齐 并 应符 合 建 筑 模 数 次 梁 布 置 应 规 则 并 应 受 力 明 确 ；厂房 内 的 大 型 设 备 基础 、 独立 构筑 物 、 整 体 地 坑 等 ， 宜 与 厂 ；房 柱 基础 分 开 设 置与 厂房 毗 邻 的 建 筑 物 ， 宜 用 伸 缩 缝 与 厂房 分 开 设 置 ；在 高 压缩 性 软 土 地 基上的 厂房 ， 建 筑 物 室内 地 面或 附 近 有， ，大 面积 堆 料时 应 计 算 堆 料对 建 筑 物 基础的 影响 并 应 对 差 异 沉 降；采 取 措 施建 （ 构 ） 筑 物沉 降 观 测 点 设 置 应符 合 现 行行业标准 建 筑 变形测 量 规范 的 有 关 规定 ， 并 应 按 现 行行 业标准 建 筑 变 形 。测 量 规范 的 有 关 规定 进 行 变 形 观 测 结 构 计 算 应符 合 下列 规定 ： 结 构 计 算 时 应 进 行 整 体 作 用效应 分 析 ， 对 结 构 中 受 力 状 况；特殊 部 位 尚应 进 行 更详 细 的 分 析，采 用 等 效 均 布 活荷 载 计 算 的 生 产 厂房 宜 采 用 普 通结 构 力 、 、 。学 方 法 计 算 板 梁 柱 的 内 力构 造 要求 应符 合 下列 规 定 ： 、 、混凝 土 结 构 梁 板 柱钢 筋 保护 层 厚 度应按 现 行国家标准 。混凝 土 结 构 设计规范 的 相应 环境 类 别 取 值 对 腐蚀 环 境 ， 应符 合 现 行国家标准 工业建 筑防 腐蚀 设计规范 的 规定 。 构 件 的 混凝 土 保护 层 厚 度 应 满足 厂房 相应 防 火 等 级 的 耐。火极 限 要求。设 备 基础 周 边 宜配 置 抗裂 钢 筋 基础 顶 面 宜 预留 厚 度 的 找 平 层 ， 宜 采 用 水 泥 基 灌 浆 材料 二 次 浇 灌 。设 备 基础的 地 脚 螺栓 不应 采 用冷 加 工 钢 材 、支 撑 工 艺及供热 外 管的管 架 管 廊 应 根据 电 气 专 业划 分 的 爆 炸 危险 区范 围 确 定 防 火 区 域 ， 并 应 采 取 防 火 措 施 。 给水 、 排水 和 消 防 给 水 给水 工 程 设计 应符 合 现 行 国家标准 室 外 给水 设计规范 。和 建 筑给水排 水 设计规范 的 规定 生 产 用 水水 量 及水 质 应 根 据 工 艺 要求 确 定 ； 生 活 饮 用 水 应 ，符 合 现 行国家标准 生 活 饮 用 水卫生 标准 的 水 质要求 用 水 标准 及 定 额 应 符 合 现 行国家标准 建 筑给水排水 设计规范的 有 关 规定 。 可能发 生 物 料 泄漏 的 装 置区 及 储 罐 区必须设置 紧 急 淋浴 。器 和 洗 眼 器， ，水源选择时 建设 单位 应 对水 资 源 进 行 勘察 并 应 提 供 可 开 采水 量 及水 质的 全分 析 资 料 ； 水源 为 地 表 水时 ， 应按 水体保 证 率为 的 可取 水 量 对 河 道 的 影 响 进 行 论 证 。，当 采 用 地 下 水 为 水源 时 采 用 管 井 取 水 应 设 置 备 用 水源 井 ， 备 用 井 的 数 量 宜 为 取 水 井 数 量的 ， 但 不 得 少 于 口井 。 水 资 源 应 实 现 综 合 回收 利 用 ， 全 厂 水 重 复 利 用 率应 大 于 或 。等 于， 当 给水 管 道 穿 越 厂房 洁 净 区 时 应 满足 现 行国家标准 洁 净 厂房设计规范 的 有 关 规定 。 排 水 排水 工 程 设计 应符 合 现 行 国家标准 室 外 排水 设计规范 和 建 筑给水排 水 设计规范 的 有 关 规定 。 ， ；室 外 排水 系 统 应 采 用 雨 污 分 流 制 前 期 雨 水 应 收 集 处 理 ， 。在 缺 水 地区 宜 设 置 雨 水 利 用 系 统 、 雨 水 管 渠 设计 重 现 期 应符 合 现 行国 家标准 室 外 排水 设计规范 的 有 关 规定 。 、 、生 产 废 水 的 排水 系 统 应 根据 废 水 的 性质 水 质 水 量 以及 ， 。废 水处 理 工 艺 确 定 宜 采 用 自 流方 式 排水厂区 应 设 事故 收 集 池 ， 其 容 积应 包括 装 置 区 露天 部 分 雨 水 、 事故 泄漏 量 及 事故 时消防 用 水 量 。 ，高 浓 度 含 氟 废 液输 送 管 宜 明 装 敷 设 架 空 敷 设 时 在管 件 ； ，或 接 口 处 宜 采 取 防 腐 措 施 管 沟 内 敷 设 时 排水 管 支 架 应 采 取 防 腐处 理 ， 并 应 设 事故 排水 贮 存功 能 的 措 施 。， 当 排水 管 道 穿越 厂房 洁净 区 时 应符 合 现 行国家标准 洁 。净 厂房设计规范 的 有 关 规定 废 水 处理 、 、 。废 水处 理 应 遵 循 节 水 优 先 分 质 处 理 优 先 回 用 的 原 则 。废 水处 理 设施 的位 置 应 满足 工 艺 总 体 布 局 要求 废 水处 理 设施 应 根据 工 艺生 产 排 出 的 废 水 种 类 、 浓 度 及水 量 确 定 ， 处 理后的 出 水水 质 应符 合 国家和地 方 的 有 关 排 放 要求 。高 浓度含氟 废液 必须 采取 预 处理 措 施 距废 水处 理 设施 构筑 物 的 的 区 域宜 设 置 地 下 水 监 测 点 。循环 冷 却 水 系统 多 晶硅工厂设 备 冷却 水 系 统 的 设计 应符 合 现 行国家标准 工业 循 环水 冷却 设计规范 和 工业 循 环 冷却 水处 。理 设 计规范 的 有 关 规定 循 环水 系 统 应 根据 水 温 、 水 压 、 水 质 及 设 备 运 行 要 求 设 置 ， 分 设 不 同 循 环水 系 统 。、硅 芯 拉 制 炉 单晶 炉 和还原 炉 电 极 的 循环 水 系统 必须 采取 。相 应 的 保安 措 施 ， 循 环水 系 统 应 根据 水 质 情况 合 理 设 置 水 质 稳 定 处 理 装置 ， 稳 定 循 环水水 质 ， 减少 系 统 排 污 量 。消 防 多晶硅工厂 应 设 置 消防 设施 ， 并 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 、 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 。和 建 筑 灭 火 器配 置 设计规 范 的 有 关 规定 、多晶硅工 厂 装 置区 储 罐 区必须设置 独立 的 稳 高 压 消 防 给 水 系统 ， 其 压 力 应 为 。 其他 场 所应设 置 低 压 消 。防 给 水 系统、 ，装 置 区 储罐 区 应 设 置固 定 式 消防水 炮 并 应符 合 现 行国 家标准 固 定 消防 炮灭 火系 统设计规范 的 有 关 规定 。 储罐 区 应 配 置 灭 火 毯 及 灭 火 砂 ， 灭 火 毯 的 数 量 不应 少 于 ， 。块 灭 火 砂 的 数 量 不 应 少 于（ ） ，全 厂 分 散 型 控 制 系 统 机 柜 室 应 设 置 气体 灭 火 系 统 并 应符 合 现 行 国家标准 气体 灭 火系 统设计规范 的 有 关 规定 。厂房 的 洁净 区 内 不 宜 采 用 干 粉 灭 火 器 采暖 、 通 风与 空 气 调 节 一般规定 、 、采暖 通 风 空 调 与空气 净 化 系 统设计 应 满足 生 产 工 艺对 ， 、 、生 产 环境 的要求 主 要 建 筑 物 空气 洁净度 温度 湿度 的 设计 要求宜 符 合 本 规范 附录 的 规定 。（ ） ，级 以 上 洁净 室 区 不应 采 用 散 热 器 采暖 其 他 厂房 或 房 间 的 采暖 系 统设 置 应符 合 现 行国家标准 采暖 通 风与空气 调 节设计规范 的 有 关 规定 。 严寒 地 区还原 车 间 的管道 夹层 采 用 热 风 采 暖 时 ， 不 应 。回 风通 风 通 风 系 统设 置 应 满足 生 产 工 艺 、 劳 动卫生 、 人 员 安全以及 。环境保护等 方面 的要求有 负 压 要求的 房 间 采 用 机 械 方 式 送风时 ， 各 房 间 的 送风 量 与 岗 位 送风 量 之 和 应 小 于 排风 量 ， 房 间应 保 证 微 负 压 。，还原 炉 室与 非 防 爆 区 相 邻 应 保 持 微 负 压 其 局 部 排风与 ：整 体排风 应符 合 下列 规定还原 炉 室 应 设 局 部 排风 、 整 体排风与 事故 排风 系 统 ， 总 排风 量 不 得 小 于 次 的换 气 次 数 ； ，排风 机 应 设 置 在单 独 的 机 房 内 并 应按 防 爆 要求 采 用 防 爆 风 机 ， 电 源 应 接 入 应 急 电 源 ， 应 与 氢 气 浓 度检测 探 头 连 锁 ；事故 排风 机 宜 设 置 备 用 风 机 ；事故 吸 风 口 上 缘 至顶 板 的 距 离 不应 大 于 。风 管 应 采 取 防 静 电 接 地 措 施 ， 还原 车 间 的管 道 夹 层 四周 不 宜 设 外 墙 管 道 夹 层 上 部 结构 梁 内 应 设 防 止 氢 气 聚 集 的 导 流 管 ， 导流 管上 边 缘 至 楼 板 的 距 离； ，不应 大 于 当 管 道 夹 层 四 周 设有 外 墙 时 应 设 置 整 体 通 风与 ， 。事 故 排风 系 统 并 应符 合 本 规范第 条的 有 关 规定 生 产 工 艺 排 出 的 酸 性 废 气 应符 合 下列 规定 ： 腐蚀清 洗 设 备 、 配酸 柜 等 设 备排 出 的 酸 性 废 气 应 采 用 局 部， ；排风 所 含 酸 性 废 气 应 采 用 酸 雾 净 化 塔 进 行 处 理实验 室 通 风 柜 排 出 酸 性 废 气 宜 采 用 活 性 炭 吸 附 装 置 进 行 处 理 。、喷砂 硅 棒破碎 等生 产 工 艺 产 生 的 粉 尘 应 设 置 袋 式 过 滤 。器 除 尘 系 统硅 芯 炉 泵 房 、 石 墨 煅烧 炉 泵 房 等 应 设 置 整 体排风 系 统 ， 通 风 换 气 次 数 应 大 于 或 等 于 次 。 ：排 除 酸 性 废 气及 粉 尘 的 系 统设计 应符 合 下列 规定 、 ；酸 性 废 气 粉 尘 等 的 净 化处 理装 置 宜 设 置 在 负 压 段 酸 性 废 气 净 化 系 统 宜 设 置 备 用 风 机 ， 电 源 应 接 入 应 急电 源 ；风 机 宜 设 置变 频 装 置 酸 性 废 气及 粉 尘 应 处 理 达 标 后 排 入 大 气 ， 排气 筒 高 度应符合 现 行国家标准 大 气 污 染 物综 合 排 放 标准 的 有 关 ；规定，台 及以 上 废 气处 理 设 备 并 联 运 行 时 宜 在 每台 设 备 的入 口 设 置 电 动 或 气动 密闭 风 阀 。排风 系 统 风 管 材料 应符 合 下列 规定 ： ；排 除 有 爆 炸 性 气体 或 余热 宜 采 用 镀 锌 钢板 风 管 排 除 酸 性 、 碱 性 废 气 宜 采 用 难 燃 型 耐 腐蚀 玻璃 钢 风 管 或 阻燃 型 塑 料风 管 ；排 除 有 机 废 气 宜 采 用不 锈钢 风 管 。排 除 含 有 粉 尘 的 空气 宜 采 用 碳钢 风 管 。 洁净 区 排 风 管上 应 采 取 防 止 室 外 空 气 倒 灌 的 措 施各 动 力 站 房 应 有 良好 的 通 风 措 施 ， 宜 采 用 自 然 通 风 ； 当 、 ，自 然 通 风 不 能 满足 生 产 或 安 全 卫生 要求 时 应 设 置 机 械 通 风 或 自。然 通 风与 机 械 通 风 的 联 合 通 风 方 式现 场 分 析 室 应 设 置 正 压 通 风 ， 正 压 通 风 系 统 应 设 置 中 效 过 滤 。空 气 调 节 与 净 化 厂房 空气 洁净 度 等 级 、 温度 、 湿度 的 设计 应 满足 生 产 工 艺 。要求， ：存 在 下列 情况 之 一 时 空 调 系 统 应 分 开 设 置 净 化空 调 系 统 与 一 般 空 调 系 统 ； 空气 中 含 有 易 燃 、 易 爆物 质 ；， ；容 易 产 生 交 叉 污 染 对 其 他 工 序 的 产品 质量 造 成 影响 、 ；对 温 湿度 控 制要求 差 别 大 工 艺 设 备 散 热 量 相差 悬 殊 。保 证 空气 洁净度 等 级 的 送风 量 应符 合 下列 规定 ： 级 级洁净 室送风 量 应符 合 现 行国家标准 洁净 厂房 设计规范 的 有 关 规定 ； 生 产 太 阳能 级 多晶 硅 的 还原 炉 室 ， 当 空 调 系 统 为 三 级 过 滤， 。时 其 送风 量 应按 换 气 次 数 大 于 或 等 于 次 计 算 ：空 调系统 新风 量 应 取 下 列 两项 中 的 较大 值 补 偿 室 内 排 风量 和 保 持 室 内 正压值 所 需 新风量 之 和 ；保 证供 给 室 内 每 人 每小 时 的 新风量 ， 洁净 区 不 应 小于 ， 。非 洁净 区 不 应 小于 洁净 室送风 可 采 用 集 中 送 风 或 风 机 过 滤机 组 送风 的 方 式 。 洁净 室与 周围 区 域 的 压 差 应 符 合 下 列 规定 ： ；不同 等 级 的 洁净 区 之间的压 差 不 应 小于 ；洁净 区 与 非 洁 净 区 之间 的压 差 不 应 小于 。 洁净 区 与室 外 的压 差 不 应 小 于洁净 空 调 送风 、 回风 和 排 风 系 统 的 启 闭 应 连 锁 ， 正 压洁净 ， ；室 连 锁 程 序 应 为 先 启 动送风 机 再 启 动回风 机 和 排风 机 关 闭 时 连。锁 程 序 应相 反单 向流 和 混 合 流洁净 室 的 空 态 噪声 级不应 大 于 （ ） ， 非 单 向流洁净 室 的 空 态 噪 声 级不应 大 于 （ ） 。 ， 。还原 车 间 应 独立 设置 直 流 空 调 送 风 系 统 不 应 回 风 、 、腐蚀 清 洗 室 硅 棒破 碎 室 配件 清 洗 室 的 空 调 送风 系 统 不 宜 回风 。，洁净 空 气 调 节 系 统 的 新 风 集 中 处 理 时 新 风处 理 机 组 应 ：符 合 下 列 规定新 风 应 经过 粗 效 过 滤 器 处 理 ； 严 寒 地区新 风 应先 预 热 ；。送风 机 宜 采 取 变 频 措 施 、 ：空气 过 滤 器 选 用 布 置 应 符 合 下列 规 定 空气 净 化处 理 应 根据 空气 洁净度 等 级 选 用 过 滤 器 ；空气 过 滤 器 处 理 风 量 不应 大 于额 定 风 量 ； （ ）中 效 高 中 效 空气 过 滤 器宜 集 中设 置 在 空 调 系 统 的 正 压 段 ；亚 高 效 和 高 效 过 滤 器宜 设 置 在 净 化空 调 系 统 的 末 端 。：风 机 过 滤机 组 的 设 置 应符 合 下 列 规定 ；应 根据 空气 洁净度 等 级 和 送风 量 选 用 送风 量 应 能 调 节 ；应 便 于 安 装 、 维 修 及 过 滤 器 更 换 。净 化空 调 系 统 的 送 风 机 宜 采 用 变 频 装 置 防 排 烟 多晶 硅厂 房 防排 烟系 统 的 设计 应符 合 现 行国家标准 建 。筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 、 。 机 械 排 烟系 统 宜 与 通 风 空 调 系 统 分 别 设 置 排 烟 补 风系 统 宜 与 通 风 、 空 调 系 统 合 用 。：机 械 排 烟系 统 应符 合 下列 规 定 ，排 烟系 统 的 密闭 空 间应 设 置 补 风 系 统 补 风 量 不 宜 小 于 排 烟 量的 ， 且 房 间 疏 散 门 内 外 的 压差 不 宜 大 于 ； 发 生 火 情 时 应 能 手 动 和 自 动 开 启 对 应 防 烟 分 区 的 排 烟 口 、， 。排 烟 防 火 阀 应 同 时 启 动 排 烟 风 机 和 补 风 机空 调 冷热源 、 、 、冷 热 源 站应 根据总 图 规划 工 艺 布 局 气 象 条 件 能源供 、 ； ，应 状 况 输 送能 耗 等 因素 确 定 集 中 冷 热源 站 宜 独立 设 置 也可 在生 产 厂房 内 设 置 。 冷 源 设计 应符 合 下列 规定 ： ，具 有 常 年 余热 蒸汽或 热水时 应 采 用 溴 化 锂 吸 收 式 冷 水 机 ；组 供 冷无 蒸汽或 热水作 为 热源时 ， 可 采 用 电 动 压缩 式 冷 水 机 组供 冷 ；， ；具 有多 种 能源时 可 采 用 复 合 式 能源供 冷 夏 热 冬 冷 地区 、 干 旱 缺 水 地区 的 办 公 楼 、 宿舍 楼 、 食堂 等 建筑 ， 可 采 用 空气源 或 地 源热 泵 冷 （ 热 ） 水 机 组 供 冷 、 供热 。：热源 设计 应符 合 下列 规定 ，应 选 用 工厂 余热作 为 供热热源 可 加 装 热回收 装 置 或 热 交 换 机 组 回收热能 ；采 用 城市 集 中 供热热源时 ， 供热 管 网 及 换 热 站 的 设计 应符 ；合 现 行行业标准 城 镇 供热 管 网设计规范 的 有 关 规 定 采 用 锅 炉 供热时 ， 应 符 合 现 行国家标准 锅 炉 房设计规范 的 有 关 规定 ； ，工 艺 冷却 水 可 以 利 用 且 经技 术经 济比 较 合 理 时 可 采 用 吸 。收 式 热 泵 进 行 热回收供热 ： 制 冷 机 设计 应符 合 下列 规 定当 工 艺 需 要的 冷 冻 水参 数 与空 调 相 同 时 ， 可 使 用 同 一 制 冷。系 统制 冷 机台 数 及 调 节 性 能 应 满足 空气 调 节及 工 艺 冷 负 荷 需 求 ， 并 应 满足 部 分负 荷 运 行 的调 节 要求 ； 不 宜 少 于 台 ； 仅 设 台 时 ， 应 选择 调 节 性 能 优良 的 机型 。， 。选 用 电 动 压缩 式 冷 水 机 时 制 冷 剂 应符 合 有 关 环保 要求 ，冷 热源 宜 采 用 集 中设 置 的 冷 热水 机 组 制 冷 机 组 及供热 设 备选 型 应符 合 现 行国家标准 公共建 筑节能 设计标准 。的 有 关 规定 。冷 热源 站应 远 离 有 防 微 振 要求 的 工 艺 区 域 冷 热水 系 统 的 设计 应符 合 下列 规定 ： 宜 采 用 闭 式 一次 泵 系 统 。 冷 冻 水 系 统 较 大 、 阻 力 较 高 、 各， 。环路负 荷 特 性 或压 力 损 失 相差 悬 殊 时 应 采 用 二 次 泵 系 统 二 次。泵 宜 根据 流 量 变 化采 用 变 速 变 流 量调 节 方 式定 压 和 膨胀 应 采 用 高 位 膨胀 水 箱 方 式 。冷 水 机 组 供回水 设计 温差不应 小 于 ， 技术经 济比 较 合 ， 。理 时 可 加 大 供回水 温差保 冷 、 保 温 材料 的 主 要技术性 能 应按 现 行国家标准 设 备及 管 道 绝 热 设计 导 则 的要求 确 定 ， 并 宜 选 用导 热 系 、 、 、 、数 小 吸 水 率 低 湿 阻 因 子 大 密 度 小 的 不 燃 或 难 燃 的 保 冷 保 温。材 料 环境保 护 、 安 全 和 卫生 环 境保 护 。多晶硅工 厂 环境保护 设计 应 采 用清洁 生 产 工 艺 多晶硅工厂 环境保护 设计 应 遵 守 国家 现 行有 关 光伏 制 造 行业规范 条 件 的要求 。、污 染 物 处 理 应 采 用资 源 利 用率 高 污 染 物 排 放 量 少 的 设 ， 。备 和工 艺 对处 理过程 中 产 生 的 二 次 污 染 应 采 取相应 治 理 措 施多晶硅工厂 应 设 置 生 产 废 气回收处 理 设施 ， 排 放 废 气 应 符 合 现 行国家标准 大 气 污 染 物综 合 排 放 标准 中规定 。的 排 放 限 值 后 再 对 外 排 放，生 产 区 内 雨 水 和 废 水 必 须 分 流 排 放 生 产 废 水 应 经 汇 集 后 处 理 符 合 现 行国家标准 污 水 综 合 排 放 标准 和 当 地 环 境保护 规定 后 再 排 放 。、 ，废 渣 废液 应 根据 不同 情况 分 别 处理 含 氯硅 烷的 废液 和 含 镍 的 废 硅 粉 必须无害化处理 ， 污 水 处理产 生的 中 性 渣 应 外 卖 、 渣场 堆存 或 深埋 处理 。多晶硅工厂 噪声 防 治 设计 应符 合 现 行国家标准 工业 企 。业厂 界 环境 噪声 排 放 标准 的 有 关 规定 安 全 ，安全 评 价 应符 合 国家 有 关 规定和 当 地 要求 安全保护 设 计 应符 合 批 复的 评 价 报告 书 的要求 ； 劳 动保护 设施 应 与 主 体 工 程同 时 设计 、 同 时 施工 、 同 时 投 入 使 用 。、 、多晶硅工厂 防 火 防 爆 消防等内容 设计 均 应符 合 现 行国 家标准 建 筑 设计 防 火 规范 和 石 油 化 工 企 业设计 防 火 ， 规范 的 有 关 规定 防 爆 设计 还 应符 合 现 行 国家标准 爆炸 危险 环境 电 力 装 置 设计规范 的 有 关 规定 。 、 、 、 、三氯氢硅 合成 还原 四氯化硅氢化 还原 尾气干法回收 、 ，制 氢 站 氯硅 烷 罐 区等 装 置区内 必须 根据 物 料 的危 害 特 性 和工 况条件 设置 仪 表检测报警 、 自动 连锁 保 护系统 、 消 防 应 急 联 动 系统 和紧 急 停 车 装 置 。卫 生 多晶硅工厂 劳 动卫生 设计 应符 合 国家和 当 地 相 关 法 律 、 ， 、法 规 以及 标准 的 规定 并 且 劳 动卫生 设施 应 与 主 体 工 程同 时 设计、 。同 时 施工 同 时 投 入 使 用类 似 氯 硅 烷 贮 罐 区 的装 置 区 应 设 置紧 急 淋 洗 设施 ； 有 毒 性 物 料 的装 置 区 内 应 采 取 防 尘 、 防 毒 设施 ， 工 作 场 所有 害 物 质 浓 度。应符 合 国家 现 行有 关 工 作 场 所有 害 因素职 业 接 触 限 值 的 规定、 、 、 、防 噪 防 振 防 暑 防 寒 防 潮 设计 应符 合 国家 现 行有 关 工 业 企 业设计 卫生 标准 的 规定 ， 对 产 生 超 标准 噪声 的 设 备 应 采 取 消声 减 振 、 隔 振 吸 声措 施 。 节能 、 余热 回 收 一般规定 、多晶硅工厂 节能 设计 应 贯 穿 在 可 行 性研究 初 步 设计 及 ； 、施工 图 设计 的 全 过程 可 行 性研究 初 步 设计 阶 段 能 耗 指 标设计 应根据 原 料 性 能 、 产品品 种 、 质量 及 产 量 指 标 等 综 合 因素 确 定 节能 技、 、 ，术 措 施 用 电 方 案 预 设 能 耗 指 标 及 评 价 也可 提 供 不 同 工 艺 设 备。和 采 用 节能 技术 措 施 前 后 能 耗 对 比 的 数 据主 要 耗 能 设 备 宜 选 用 高 效 节能 型 或 低 能 耗 产品 ， 各 专 业 设计 应 多 方 案 技术经 济比 较 ， 应 选 用 节能 效 果 好 、 技术 可靠 、 经 济。合 理的 方 案，各 个生 产 装 置 间应符 合 安全 间距 的 规定 并 应按物 料 输 送 距 离 、 管 道 长度 和电 缆 长度 较短 的 原 则 布 置 。多晶硅工厂 各 个 工 序 的 能 耗 指 标 应符 合 国家 现 行有 关 光 伏 制 造 行业规范 条 件 的 规定和 现 行国家标准 多晶硅 企 业 单位 产品 能源消 耗 限 额 有 关 准 入 值 的 规定 。 多晶硅工 厂 生 产 线 所 采 用 的 中 小 型 三 相 异步 电 动 机 、 容 、 、 、 ，积 式 空气 压缩 机 通 风 机 清 水 离 心 泵 三 相 变 压 器 等 通 用 设 备 应符 合 现 行国家标准 中 小 型 三 相 异步 电 动 机 能 效 限定 值 及能 效 等级 、 容 积 式 空气 压缩 机 能 效 限定 值 及 能 效 等 级 、 通 风 机 能 效 限定 值 及能 效 等 级 、 清 水 离 心 泵 、能 效 限定 值 及节能 评 价 值 三 相 配 电 变 压 器 能 效 限定 值 及能 效 等 级 的 有 关 规定 。 生 产工 艺 、 。还原 炉应 选 用 高 效率 低 能 耗 的 炉 型 ， 多晶硅 生 产 应 采 用先 进 的 精馏 技术 并 应将 多晶硅 生 产各 工 序 进 行 物 料 平 衡 和 能 量 平 衡 计 算 ， 应 确 定 能 耗 低 、 经 济 性 好 、。竞争 力 强的 工 艺 流 程、 、 、多晶硅 生 产 应 优 化 工 艺 采暖 通 风 空 调 参 数 及 换 热 网 络 ， 应 实现 各种 能 量的 梯 级 利 用 。多晶硅工厂 应 利 用 多晶硅 生 产 过程 中 的 副 产 物 。 ；多晶硅工厂必须 同 步 设计 余 热 利用 系统 还原 炉 和氢化 ，反应 的 余 热回收 应用 于提纯 精馏 塔再沸 器的 加 热 且 余 热 利用 系统不 应 影响 多晶硅 正常生 产 ， 不 应 提 高 多晶硅 能 耗 或 降 低 产 量 。、 ，多晶硅 生 产 过程 应 选 用 节水 节能 型 产品 并 应符 合 现 行 。国家标准 节水 型 产品 通 用 技术条 件 的 有 关 规定 设 备 和 管 道 应 选 用 保 温 性 能 良好 的 绝 热材料 ， 保 温 设 计 应符 合 现 行国家标准 工业设 备及 管 道 绝 热 工 程 设计规范 。的 有 关 规定 ，各 装 置 以及 重 要 设 备 宜 设 置 计 量 和 检测 仪 表 并 宜 设 置 调 节 控 制装 置 ， 以 满 足 全 厂和 各 个 系 统 单 独 计 量 考 核 的要求 。多晶硅工厂 宜 设 置 循 环水 系 统 、 高 纯 水 系 统 、 脱 盐 水 系 统 。产 生 的 洁净废 水 的 回收 和 再 利 用 设施 书书书管空气缩压）沟（。 定 规 关有 的 ）（距 净 范 平管力 规热 缆电信通 计水 设小 最 沟缆 电 缆电 电缆力电净距 工程平水小最 的的 间间 之 之物筑 物 ） 电力 污筑、构 ）雨 管水排 （ 构 （建 准 标 家国与 行 线） 管 （下合现符应地 ， 管水给 建与线 管 下地表 ） ）脚坡或脚坡 （ 或（）录附 木灌及）格规及名称 大于线 压管 缘 电外基础物 心筑 中 于 （ 少减压小 缘 多电 外 且最 明及 渠 减 ） （ 照 沟 酌可 通信 况 情殊 特缘 于 缘 础外础 等 石边 基架基 （ 或 侧 管构 围墙 路道 架空类 （木乔 ： 建注杆柱种 地上 轨 路钢铁轨 气化路钢 电杆 铁 流直柱 气化上地 电直流 非 书书书 ） （ 。 缆力电电定 规 关有 的 埋 直 电缆 信 通 ） 范 道 管 （ 规 距计设净平 缆电沟缆 电水小程工）最 沟 电力（ 管力热 的间之 线 缩 气管 压 空 准 标 国家下 行 距 地平净 水 小最的间之 ） 管线下 地 。 现合 符（ 应 表 ， 为 管 水 给 可 时 附录 管 穿 埋 道 管 直缆电或）沟）水 （管 （水排污生 缆沟再 电称 、 少减线名 多管 最且管 减气 酌可 隔力管 空缩 况 分热 压 情殊 隔板特 用雨缆电 通信：缆电力电注 书书书硅 硅 硅 硅晶 晶 晶 晶多 多 多 多注理处尘 酸备 除 含风回不气排级 级 级 级阳能 体导 能阳 导体太 半 太 半产 产 产 生产生 生 生高）净 （顶吊）度湿、（ 度湿 度温度冬季 ）湿、 、 （度度温度温、 净 ）洁 （ 度净 洁 度湿季夏）气空间气空间（ 温度房要主级房要主）等表度净 部局洁（滤过级三录附空气库称间名中间室碎 拣室 洗室 室装破 分 清 包棒硅 硅料 蚀腐 硅料室原炉房 还段 原工 还理处后 书书书）洗清。的法 级制拉（ 蔽 蔽屏 屏磁 磁电 电到达蔽屏磁芯硅和 度件墨电净石洁气空 部内备设 在证保， 罩 流 层置 设 上 备设洗 清在，置 设料洗免硅晶多 室 室 室 室 室析 析 析室 室 室 析室测 平 理处 分 分 分室烧墨煅 烘干 物 天 度分 外 相备室 洗室 测制 清 检硅芯 件配 石 硼磷 光 品样 谱质 红 气级体导半产生为要室主洗蚀清腐：析注助 测辅 分 检 本 规范 用词 说 明为 便 于在执 行 本 规范 条 文 时 区 别 对 待 ， 对 要求严格程 度不：同的 用词说 明 如 下） ， ：表 示 很 严格 非 这 样 做不可 的 正 面词 采 用 “ 必须 ，” 反 面词 采 用 “ 严 禁 ；”） ， ：表 示 严格 在 正 常 情况 下 均 应 这 样 做 的 “ ，” “ ” “ ；”正 面词 采 用 应 反 面词 采 用 不应 或 不 得） 表 示允 许 稍 有 选择 ， 在条 件 许可 时 首 先应 这 样 做 的 ：正 面词 采 用 “ 宜 ，” 反 面词 采 用 “ 不 宜 ；”） ， ， “ 。”表 示 有 选择 在 一定 条 件 下可 以 这 样 做 的 采 用 可 “： 条文 中 指 明 应按 其 他 有 关 标准 执 行 的 写 法 为 应符 合 的 规定 ” 或 “ 应按 执 行 。” 引用 标准 名 录 建 筑 结 构 荷 载 规范 混凝 土 结 构 设计规 范 建 筑 抗震 设计规 范 室 外 给水 设计规 范 室 外 排水 设计规 范 建 筑给水排 水 设计规范 建 筑 设计 防 火 规范 采暖 通 风与空 气 调 节 设计规范 湿 陷 性 黄 土 地区建 筑 规范 压缩 空气 站 设计 规范 建 筑 照 明 设计标准 动 力 机 器 基础 设计规 范 锅 炉 房设计规 范 工业建 筑防 腐 蚀 设计规范 工业 循 环 冷却 水处 理 设 计规范 供 配 电 系 统设计规 范 建 筑 物 防 雷 设计规范 爆 炸 危险 环境 电 力 装 置 设计 规范 洁净 厂房设 计规范 工业 循 环水 冷却 设 计规范 膨胀 土 地区建 筑 技 术 规范 建 筑 灭 火 器配 置 设计规 范 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 氢 气 站 设计规范 工业 企 业 总 平 面 设计规 范 公共建 筑节 能 设计标准 电 力 工 程 电 缆 设计规范 建 筑内 部 装修 设计 防 火 规 范 建 筑 工 程 抗震 设 防分 类 标准 火 力 发电厂 与 变 电 站 设计 防 火 规 范 工业设 备及 管 道 绝 热 工 程 设 计规范 民 用 建 筑 工 程 室内环境 污 染 控 制 规 范 固 定 消防 炮灭 火系 统 设计规范 储罐 区 防 火 堤 设计规 范 气体 灭 火系 统设 计规范 化 工 企 业 总 图运输 设计 规范 石 油 化 工 可 燃 气体 和有 毒 气体 检 测 报 警 设计规范 电 子 工业 纯 水 系 统设计 规范 石 油 化 工 安全 仪 表系 统设 计规范 工业 自 动化 仪 表 气源 压 力 范 围 和 质 量 生 活 饮 用 水卫生 标准 设 备及 管 道 绝 热 设计 导 则 污 水 综 合 排 放 标准 氯 气安全 规 程 工业 企 业厂 界 环境 噪 声 排 放 标准 硅多晶 电 能 质量 公 用 电网 谐 波 大 气 污 染 物综 合 排 放 标准 中 小 型 三 相 异步 电 动 机 能 效 限定 值 及能 效 等 级 节水 型 产品 通 用 技术 条 件 容 积 式 空气 压缩 机 能 效 限定 值 及 能 效 等 级 通 风 机 能 效 限定 值 及能 效 等 级 清 水 离 心 泵 能 效 限定 值 及节能 评 价 值 三 相 配 电 变 压 器 能 效 限定 值 及节能 评 价 值 太 阳能 级 多晶硅 多晶硅 企 业 单位 产 品 能源消 耗 限 额 城 镇 供热 管 网设计 规范 自 动 化 仪 表 选 型 设计规 定 控 制 室 设计规定 仪 表 供 电设计规 定 仪 表 供气 设计规 定 仪 表系 统 接 地设计 规范 仪 表 及 管 线伴 热 和 绝 热保 温 设计 规范 分 散 型 控 制 系 统工 程 设计规 范 压缩 机 厂房建 筑 设 计规定 建 筑 变 形测 量 规范 冻 土 地区 建 筑 地 基基 础 设计规范 石 油 化 工 自 动化 仪 表 选 型 设计规 范 石 油 化 工 控 制 室 设计规范 石 油 化 工 仪 表 供气 设计规 范 石 油 化 工 企 业 照 度 设计标准 石 油 化 工 企 业 职 业 安全卫生 设 计规范 石 油 化 工 仪 表 接 地设计规 范 石 油 化 工 仪 表 供 电设计规 范 石 油 化 工 分 散 控 制 系 统设计规 范 石 油 化 工 仪 表 及 管 道 伴 热 和 绝 热 设计规范 盐 渍 土 地区建 筑 规范 导 热 油 加热 炉系 统规 范 中华人民共和国国家标准多晶硅工厂设计规范 条文 说 明制 订 说明 多晶硅工 厂设计规范 ， 经 住房城乡 建设部 。年 月 日 以 第 号公 告 批准发 布 ， ，在 本 规范编 制过程 中 编 制组经过了广泛深入的调查研究 认真总结了我 国多晶硅行业多年发 展 积 累 的经验 和 成 果 ， 借鉴 了 相、 ， ，关 国家 行业 的 先 进 标准 并在广泛征求意见的基础上 通过反复、 ， 。讨论 修改 和 完善 最后 形 成本 规范为了 便 于广 大设计 、 科 研 、 企 业 等 单位 有 关 人 员 在 使 用 本 规范时能 正 确 理 解 和 执 行 条文 规定 ， 多晶硅工厂设计规范 编 制组 按、 、 ， 、章 节 条的 顺 序 编 制了本 规范 的条文 说 明 对 条文 规定 的 目 的 依，据 以及 执 行中 需 要 注 意的 有 关 事 项 进 行 了 说 明 还 着 重 对 强制性条文的强制性理由 作 了 解释 。 但 是 ， 本条文 说 明 不 具备与 规范 正文同 等 的 法 律 效 力 ， 仅 供 使 用 者 作 为理 解 和 把握 规范规定 的 参考 。 目 次总 则 （ ） 术 语 （ ） （ ）基本 规 定 厂址 选 择及 厂区规划 （ ） 厂 址 选 择 （ ） 厂 区 规划 （ ） 工 艺 设计 （ ） 一 般 规 定 （ ） 三 氯 氢 硅 合 成 和 四氯 化 硅 氢 化 （ ） （ ）氯 硅 烷 提 纯 （ ） 三氯 氢 硅 氢还 原 还 原 尾 气 干法 回 收 （ ） 硅 芯 制 备 及 多 晶硅 产 品 后 处 理 （ ） （ ）分 析 检 测 电 气及 自 动化 （ ） 电 气 （ ） （ ）自 动 化 辅助 设 施 （ ） 压缩 空 气 站 （ ） 制 氮 站 （ ） （ ）制 氢 站 导 热 油 （ ） 纯 水 制 备 （ ） （ ）制 冷 （ ）蒸 汽 建 筑 结 构 （ ） 一 般 规 定 （ ） （ ）主 要 生 产 厂 房 和 辅助 用 房 、 （ ） 防 火 防 爆 洁 净 设 计 及 装修 （ ） 防 腐 蚀 （ ） （ ）结 构 设计 给水 、 排水 和 消 防 （ ） 给 水 （ ） 排 水 （ ） （ ） 废 水 处 理 循 环 冷 却 水 系 统 （ ） 消 防 （ ） 、 （ ）采 暖 通 风与空气 调 节 （ ） 一 般 规 定 通 风 （ ） 空 气 调 节与 净 化 （ ） （ ）防 排 烟 空 调 冷 热 源 （ ） 、环境保护 安 全 和 卫生 （ ） （ ）环 境保护 （ ） 安 全 卫 生 （ ） 、节 能 余热回收 （ ） （ ）一 般 规 定 生 产 工 艺 （ ） 总 则 本条 提 出 的 “ 技术 先 进 、 经 济 合 理 、 安全 可 靠 、 环保节能 ” 是 ，国家 的基本技术经 济 政 策 也 是 多晶硅工厂设计 应 贯彻 实 施 的 方； 、 ，针 建设 资 源节 约 型 环境 友 好 型 社会 发 展 循 环 经 济 是 国家 经 济发 展 的 一 项重 大 战略思想 。、已 经实现 工业 化生 产 的 多晶硅 生 产 工 艺 有 冶 金 法 三氯氢 ， ，硅 氢还原法 以及 硅 烷法 等 其 中 三氯氢 硅 氢还原 工 艺 成 熟 适 合 大规 模 工业 化生 产 ， 是 目 前 国 内 外 主 流 生 产 工 艺 ， 采 用 此 方 法 的 产 能占 多晶硅 总 产 能 的 以 上 。 本 规范 适 用 于 三氯 氢 硅 氢还原 生； 、产 工 艺 以 歧 化 工 艺 为 主 的 硅 烷法 的 三氯氢 硅 合 成 四氯 化 硅 氢 化，和 精馏 环节与 三氯氢 硅 氢还原 工 艺 基本 相 同 也按 本 规范 的 有 关规定 执 行 。 术 语 四氯 化 硅 氢 化 是 将 多晶硅 生 产 中 大 量 副 产 的 四氯 化 硅 转 ， 、化 成 三氯氢 硅 的 工 艺 目 前 已 经实现 工业 化生 产 比 较 成 熟 的 氢 化、 。 ，工 艺 有 热 氢 化 冷 氢 化 其 中 热 氢 化 是在 低 压 条 件 下 四 氯 化 硅和 氢 气 直 接 反 应 生 产三氯 氢 硅 的 工 艺 ， 该 工 艺具 有 易 操 作 、 、 、 ；反 应 无 杂 质 带 入 后 续 精馏 简 单 电 耗 高 转 化 率 低 等 特 点 冷 氢 化， 、是在 高 压 条 件 下 四 氯 化 硅 氢 气与 硅 粉 反 应 生 产三 氯氢 硅的 工 艺 ， 该 工 艺具 有电 耗 低 、 转 化 率 高 、 单 体 设 备处 理 能 力 大 、 操 作要求 高等 特 点 。 基本 规定、 设计规 模 及 相 关 规定 是 根据 光伏 制 造 行业规范 条 （ ） 。件 工 信 部 年 第 号 制订的 这些 年 多晶硅行业发 展 迅 ， 、速 存 在 重 复 建设 低 质 发 展 以及 各种 配套 设施发 展 不 平 衡 等 问题 ， 国家 鼓励 发 展 高 技术 、 低 消 耗 、 低 排 放 的 新工 艺 ， 支 持 企 业 提 高， ， ，自 主 创 新 能 力 引导 行业有 序 发 展 为 此 光伏 制 造 行业规范 条 、 、件 中规定 了 太 阳能 级 多晶硅 的 建设规 模 产品 质量 能 耗 水 平 等内容 ， 以及对环境保护 、 质量管理 、 安全 、 卫生等 方面 提 出 了要求 ，还 要求 企 业 采 用 工 艺 先 进 、 节能环保 、 产品 质量 好 、 生 产 成本 低 的。生 产 技术 和设 备多晶硅工厂设计 除应符 合 现 行国家标准 多晶硅 企 业 单位 产品 能源消 耗 限 额 的 有 关 规定 外 ， 还 应符 合 即 将 实 施 的改 良 西 门 子 法 制 备 多晶硅 企 业 安全 标准 化 实 施 指 南 的 有 关。规定 厂址 选择 及 厂 区规划 厂址选择 、 （这 两 条 是根据 光伏 制 造 行业规范 条 件 工 信 部 ） 。年 第 号 及 国家 相 关的 建设 法 规 提 出 的 光 伏 制 造 行业规范 条 件 中 对 项 目 建设 条 件 规定 如 下 ：（ ） 、光伏 制 造企 业 及 项 目 应符 合 国家 资 源 开 发 利 用 环境保、 ，护 节能 管理 等 法 律 法 规 要求 符 合 国家 产 业政 策 和 相 关 产 业规划及 布 局 要求 ， 符 合 当 地 土 地 利 用 总 体 规划 、 城市 总 体 规划 、 环境 功能 区划和 环境保护 规划 等 要求 。（ ） 、在 国家 法 律 法 规 规 章及 规划 确 定 或 省 级 以 上 人民政 府 批、 、 、准 的基本 农田 保护 区 饮 用 水水源保护 区 自 然 保护 区 风 景 名 胜区 、 重 要 生 态 功 能保护 区和 生 态 环境 敏 感 区 、 脆弱 区 等 法 律 、 法 规规定 禁 止 建设工业 企 业 的 区 域 不 得 建设 光伏 制 造项 目 。 上 述 区 域。内 的现 有 企 业 应 逐步 迁 出多晶硅 生 产 需 要 消 耗 较 多 的 电 力 、 蒸汽 、 水等动 力 能源 ， 动 力 成本 占 到 多晶硅 综 合 成本的 ， 一 般 动 力 能源 短 缺 的 地 方 能， ，源 价 格 较 高 不 利 于 企 业 保 持 价 格 竞 争 优势 只 有 能 源 充足 的 地 方， 。 ，能源 价 格 才 相 对 较 低 才 能 为 多晶硅 的 健 康 发 展 奠 定 基础 因 此为了 保 证 我 国 信息 产 业 、 光伏 产 业 基础 原 材料 的 供 应 安全 ， 需 要 多晶硅 企 业 布 局 于 能源 充足 、 水 资 源 有 保 障 的 化 工 园 区 ； 同 时 ， 园 区，的 市政 基础 和公共 环保 基础 设施 应 健 全 保 证企 业 与 当 地 化 工 园区 的 和 谐 共 同 发 展 。本条是 对 厂区 的 工 程 地 质条 件 作 出 的 规定 。 、 、 、 、多晶硅 生 产 伴 有 易 燃 易 爆 有 毒 有 腐蚀 性 物 质的 ， ；存 在 应 减少 对 周 边 环境 的 影响 并 且 应将 工厂设 置 在通 风 良好 的 ， 。地 带 使 其 能 较 快 地 排 放 有 害 气体本条是 为了 防 止 厂区 遭 受 洪 水 或 内 涝 灾害 而 制订的 。 （根据 国 土 资 源 部 工业 项 目 建设 用 地 控 制 指 标 国 土 资 发 ） ， 、 、 ，号 的要求 厂址 选 择时 应 尽 量 利 用 荒 地 劣 地 山坡 地 不 占 或 少 占 耕 地 。 进 一 步 加 强 建设 用 地 的 集约 利 用 和 优 化 配 置 。厂区规划 、 、根据 企 业 的 发 展 趋 势 当 地建设 条 件 以及 区 域 规划 适 当 留 有发 展 余 地 ， 正 确 处 理 好 企 业发 展近远 期 的关 系 ， 以保 证 规。划 的 合 理性， ，本条要求总 图 布 置 充 分 利 用 地 理条 件 布 局 紧凑 减少 厂 区 用 地 面积 。 多晶硅 生 产 中 伴 有 易 燃 、 易 爆 、 有 毒 、 有 腐蚀 性 物 质的 存 ， 、 ，在 生 产 过程 中会有 氢 气 氯 化 氢 等气体 无 组织 排 放 为了 减 轻 厂， 、区 内生 产 装 置 之间 的 互 相 影响 便 于 有 毒 有 害 气体 的 及时排 放 和扩 散 ， 需 要 将 厂区 分 区规划 ， 不 同的 功 能 区 域 所 处 的 风 向 位 置 也 要不 同 ； 而 且 厂区 内 的 平 面 布 置 应符 合 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 、 、规范 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 工业 企 业设计 卫 生 标准 等 有 关 安全 、 环 保 、 卫生 等 方面 的 规范 的要求 。， 。本条根据 多晶硅 生 产 的 特 点 规定 了总 平 面 设计 的 原 则 ， ，当 规 模 较 小 时 可将 本款 所 述 生 产 功 能 合 并 建 造 便 于 物 流 管理 ； 当 生 产 规 模 较 大 时 ， 可 分 开 建设 。、 这些 生 产 装 置 都 伴 有 氢 气 、 三氯氢 硅 、 氯 化 氢 等 危险 化 ， ，学品 存 在 而 且 大部 分 装 置 内 该 类 物 质的 存 量 都 超 过了 临 界 量 因此 有 必要 将 该 类 装 置集 中 布 置 ， 便 于 重 大 危险 源 的管理 ， 而 且 构 成重 大 危险 源 的装 置 与 厂 内 外 设施 的 防 火间距应符 合 现 行国家标准 、 建 筑 设计 防 火 规范 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 ；等 的 有 关 规定 采 用 框架 结 构 或 露天 布 置 是 为了 便 于自 然 。通 风 和 危险 气体 的 扩 散本款 是 指 给 各 个 主工 序 配套 的 辅助 设施 宜 就近独立 配 置 ，、 、如 还原尾 气 干法 回收 工 段 配套 的 活 性 炭 吸 附 冷 冻 氢 气 压缩 等 设， 。施 应 单 独 给 该 工 段 配套 减少非 相 关 系 统 对 其的 影响、 多晶硅工厂一 般 将 尾 气 淋 洗 和 废 液 处 理装 置 与 三 废 处 理 站 合 并 或 是 临 近 建设 ， 这些 装 置 都 有 可 能 无 组织 排 放 粉 尘 和 氯， ，化 氢 等 物 质 虽 是 达 标 排 放 但 是 长 期 排 放 也 会 对 循 环水 站 等生 产。 、生 活 设施 造 成 影响 因 此 循 环水 站 等生 产 生 活 区 域 应 远 离 该 类装 置 。本条是强制性条文 设 置 四氯 化 硅 等 还原 反 应副 产 物 的 ， ，综 合利 用或 处 理 设施 是为了 将 这些 副 产 物循 环 利 用 节 约 资 源 保护环境 。 三氯氢 硅 氢还原 工 艺 的 还原 一次 转 化 率 低 ， 约 为 ，大 量 未 参与 反 应 的 物 料 以及 反 应 副 产 物 以 尾 气 的 形 式 排 出 生 产 系， ，统 为了 节 约 资 源 和 保护环境 需 将 还原尾 气 中 的 各 个 成 分 有 效 回、 ； ，收 循 环 利 用 特 别 是 四氯 化 硅 每 生 产 多晶硅 副 产 约 四氯 化 硅 ， 如 果 得 不 到循 环 回收 使 用 ， 必 然 导 致 资 源 浪 费 和 增 大 环保负 担 。 工 艺 设计 一般规定 、 、三 氯氢 硅 氢还原法 多晶硅 生 产 工 艺 主 要由 还原 提纯 干 。 。法 回收 和 三氯氢 硅 生 产四 大主工 艺 系 统 组成 工 艺 流 程见 图图 三氯氢 硅 氢 还 原 生 产 工 艺 流 程 简 图 多晶硅行 业 近 年 来 发 展 迅 速 ， 其 生 产 工 艺 和设 备 装 备水 平 较以 前 均 有大 幅 度 提升 ， 每 个 主工 艺 都 有 几 种 工 艺 方 案 选择 。 为 提高 建设 质量 以及 整 个 行业 的技术 水 平 ， 本条 对 工 艺 流 程的 设计和工 艺 设 备 的 选 型 进 行 了 规定 。多晶硅工厂主 要的 能源消 耗 是 电 力 和 蒸汽 ， 由 此 产 生 的成本 超 过了 多晶硅 成本的 一 半 。 不 同的 产品 方 案决 定 了 不 同的 精馏提纯 流 程 和工 艺 ， 不 同的 建设规 模 和 能源 价 格 决 定 了 不 同的 氢 化工 艺 ， 不 同的 建设规 模 、 能源 价 格 和 投 资资 金 决 定 了 还原 炉 等 主 要设 备选 型 的经 济 性 。、 国家大 力提 倡 循 环 经 济 发 展 模式 ， 以 建设 资 源节 约 型 、 环境 友 好 型 的 美丽 社会 为 目 标 ； 因 此 工厂建设中 应做到 安全 可靠 、 、 。环保节能 技术 先 进 经 济 合 理 ， 多晶硅 生 产 是 个 较 为复 杂 的 系 统 工 程 每 个 主工 序 的 生 产特 点 均 有 不 同 ， 如 还原 过程的 一次 转 化 率 低 ， 只 有 左右 ， 大 量，三 氯氢 硅 和 副 产 物 以 尾 气 的 形 式 进入 干法 回收 系 统 干法 回收 应、 ；具备 吸 纳 不 同 气 量 不 同组 分 还原尾 气 的 能 力 各 个 主工 序 之间 生产 能 力 应 有 合 理 匹 配 和 综 合平 衡 。现 行国家标准 多晶硅 企 业 单位 产品 能源消 耗 限 额 、 、中 对 多晶硅 各 生 产 单 元 的 工 艺 电 耗 蒸汽 消 耗 综 合 电 耗 以 、 、 ，及 综 合 能 耗 分 别 给 出 了 限 定 值 准 入 值 先 进 值 的要求 新建 项 目至 少 达 到 限 额 准 入 值 标准 。 本条 规定 各 生 产 单 元 的 蒸汽 、 电 力 及， ，综 合 能 耗 不 大 于 限 额 准 入 值 并 达 到先 进 值 目 的是 节 约 资 源。能源多晶硅 生 产 过程 伴 有 氢 气 、 三氯氢 硅 、 二 氯 二 氢 硅 、 四氯 化 硅 、 氯 化 氢 等 危险 化 学品 ， 对 于 输 送 易 燃 、 易 爆 、 有 毒 、 有 腐蚀 性 物， 。料 的 设 备 和 管 道 应 考 虑 其 使 用 的 安全 性 防 止 泄漏三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 目 前 国 内 多晶硅 企 业有 的自 建 合 成装 置 ， 有 的 靠 市 场 供 应 ， ，补 充 有 的调 整 生 产 工 艺 将 氢 化 和 合 成 工 序 合 二 为 一 因 此 各 个 企业 应 根据 各 自 情况 来 决 定 采 用 何 种方 式 补 充 三氯氢 硅 。三氯氢 硅 合 成的反 应 气体 中 含 有 粉 尘 、 金属 氯 化 物 等 杂 ， ， ，质 这些 物 质 有 可 能 堵 塞 设 备 和 管 道 影响 生 产 系 统 的 运 行 造 成； ，停 车 等 问题 因 此 需 要 采 取 合 适 的 除 尘 工 艺 除 去该 类 物 质 减少 系统 阻 塞 的 可 能 性 ， 保 证 较 长 的 运 行 时 间 ， 减少 停 车 检 修 时 间 。目 前 国 内 主 流 的 四氯 化 硅 处 理 方 式 为 高 温 氢 化 、 冷 氢 化 ， 。 ；各 有 优 缺 点 高 温 氢 化 工 艺 单位 产品 耗 电 量 高 冷 氢 化 工 艺 虽 然单位 产品 耗 电 量 低 ， 但 是 会 引 入 新 杂 质 ， 与 之 配套 的 精馏 提纯 工 艺较 为复 杂 ， 蒸汽 消 耗 量 较 高 。 所 以 各 个 企 业 应 根据 各 自 情况 综 合。比 较 后 再 决 定 采 用 何 种 氢 化 工 艺，为 保 证 冷 氢 化 工 序 生 产 连续 长 期 运 行 应 定期 排 放固 体 含 ， 。 、量 很 高 的 残 液 防 止 其 堵 塞 管 道 和设 备 由于 残 液 中 含 有硅 粉 金属 氯 化 物 等 物 质 ， 不 适 合 长距 离输 送 ， 而 残 液 需 要 回收 有 用 组 分 ， ，避 免 造 成 环境 污 染 因 此 冷 氢 化 装 置 应 配套 残 液 回收 装 置 且就近。配 置对 于 输 送 易 燃 、 易 爆 、 有 毒 、 有 腐蚀 性 物 料 的 设 备 应 考 虑 其 使 用 的 安全 性 ， 防 止 泄漏 。氯硅 烷提纯 氯 硅 烷 物 料 中 三氯氢 硅 、 四氯 化 硅 、 二 氯 二 氢 硅 性质 接近 ， ， ，特 别 适 合 差压 耦 合 工 艺 而 且 与 其 他 常 规 精馏 工 艺 相比 差压 耦 合。工 艺能 有 效 降 低 能 耗 因 此 为了 降 低 单位 产品 能 源 消 耗 ， 热 量 双 效 梯 级 使 用 ， 宜 优 先 考 虑 采 用差压 耦 合 工 艺 。本条 第 款的 规定 是为了 防 止 耦 合氯 硅 烷 蒸 气 得 不到 完 ， 。全 冷 凝 影响 生 产 的 正 常 运 行三氯氢硅氢还原 光伏 制 造 行业规范 条 件 （ 工 信 部 年 第 号 ） 规定 ： 、 。新建和 改 扩 建 项 目 还 原 电 耗 小 于 还 原 电 耗 是 多 晶硅 生 产 的 主 要 能源 消 耗 ， 本条 规定 的 目 的是 节 约 资 源能源 。供料 系 统 是 指 将 三氯氢 硅 液 体 汽 化 后 和 氢 气 混 合 以气 态 ； ， ，的 形 式 送 入 还原 炉 内 若 输 送 管 线 过 长 容 易 出 现 气体 液 化 现 象；影响 产品 质量 和 安全 因 此 还原 炉 供料 系 统 应靠 近 或 紧 靠 还原车 间 。本条 中 生 产 太 阳能 级 多晶硅 的 还原 炉 室 至 少 采 用 三 级 过 ， 。滤 的 洁净 新 风 主 要是 防 止 新 风内 的 粉 尘 对 硅 料 造 成 二 次 污 染如 果 遇 到 突 发 事故 导 致 冷却 介 质 （ 主 要是 指 高 温 水 ） 不流 动 或 还原 炉 局 部 过 热 ， 冷却 介 质 汽 化 超 压将 发 生安全 事故 ， 因 此 需， ，在 顶 部 夹 套 处 设 置 排气 口 和 安全 阀 保护 还原 炉 及 其 夹 套 保 证 还， ，原 炉 安全 运 行 同 时安全 阀 的 泄 放 口 要 引 至 安全处 避 免 泄 放 。伤 人还原 尾气干 法回收 ，多晶硅 还原 生 长 过程 中 往往 采 用 一 些 强 化生 产 的 手 段 提 高 硅 棒 的 生 长 速 度 ， 降 低 还原 直 接 电 耗 ， 这 也随之 产 生 了 大 量的 无定 形 硅 ， 这些 无 定 型 硅 若 得 不到 及时回收 ， 将 对 后 续 工 序 的 压缩、 。机 泵 等 设 备 造 成 损 害、 、 、对 于 输 送 易 燃 易 爆 有 毒 有 腐蚀 性 物 料 的 设 备 应 考 虑 其 使 用 的 安全 性 ， 防 止 泄漏 。硅 芯制备及 多晶硅产 品后 处理 本条 第 款 和第 款的 规定主 要是为了 防 止运输 路 径 和 环境对 硅 料 的 二 次 污 染 ， 第 款 和第 款的 规定 是为了 防 止 与 硅 。料 接 触 的 工 具对 硅 料 造 成 二 次 污 染，多晶硅 的 酸 腐蚀 主 要 采 用 氢 氟 酸 和 硝 酸 的 混酸 具 有 强 腐 蚀 性 ， 供 酸 室 不应 与 腐蚀清 洗 室 设 置 在 一 起 。 本条 第 款 规定 了供 酸 室与 腐蚀清 洗 室分 开 布 置 ， 但 布 置 时 应 兼顾 供 酸 管 道 的 距 离， ， ， 。和 位 置 输 送 距 离 远 输 送 管过 长 输 送 线 路 不 安全分析检测 ，为了 准 确 和 及时 反 映 生 产 情况 需 要 对 部 分气体 进 行 在 线 ， ，分 析 和 就近 取 样 分 析 而 且 取 样 管 道 不 宜 过 长 以 免 出 现 冷 凝 现 象影响 分 析 结 果 ， 因 此 需 要在装 置 内 设 置 分 析 检测 室 和 在 线 分 析装 置 。 电 气及 自 动化 电 气 。本条 对供 配 电 系 统设 计 作 出规定 ，供 配 电 系 统设计 应做到 远近 期 结 合 在 满足 近 期 使 用 要求 的同 时 ， 兼顾 未来 发 展 的 需 要 。、 、 、 、高 效 节能 环保 安全 性 能 先 进的 电 气 产品 必须是 国家 。主 管 部门 鉴 定 机 构 鉴 定 的 合 格 产品本条 对负 荷 分 级 及供 电 要求 作 出规定 。 特 别 重 要 负 荷 系 依 据现 行国家标准 供 配 电 系 统设计规 ；范 中第 条 第 款的 规定 若 多晶 硅 还原 （ ，）炉 体 冷却系 统工 艺采 取 其 他措 施 如 采 用 高 位 水 箱 等 在 突 然 停电 时 不 会 损 伤 还原 炉 设 备 ， 不 会 引 发 安全 事故 ， 则 还原 车 间炉 体 、底盘 冷却循 环水 泵 可不列 入 特 别 重 要 负 荷 。本条 对 电 源 电 压 选择及供 电 系 统 作 出规定 多晶硅 项 目 中 还原 变 压 器 数 量 、 容 量 较 大 ， 因 此 在总 变 电所 归 用 户 管理 时 ， 还原 变 压 器宜 由总 变 电所 或 二 级 配 电 站。直 供， 、 、还 原 调 功 设 备 应 具 有 良好 的性 能 即 采 用 安 全 先 进 可靠 的 控 制 系 统 ， 调 功 过程 中 产 生 较 低 的 谐 波 分 量 ， 谐 波 含 量 应 满足 国家 相 关 规范 的要求 。、 ，系 统 指 整 个 系 统 线 是 分 开 的 系 统 指 系 统中有一 部 分 线 路 的 、 线 是 合 一 的 。 本款是强制性条款 。 应 急 电 源与 正 常 电 源 之间 采 取 措 施， ，防 止 并 列 运 行 其 主 要 目 的是 保 证 应 急 电 源 的 专 供 性 防 止 正 常 电。源 故 障 时 应 急 电 源 向 正 常 电 源 系 统 负 荷 送 电 而 失 去 应 急 的 作 用 ， ，本款 作 为强制 性 规定 最 终目 的是 保 证 生 产 稳 定 连续 避 免 造 成 财产 损 失 和 安全 事故 。本条 对防 雷 与 接 地 系 统 作 出规定 。 ， 、本款是强制性条款 在过 去 的 项 目 中 对 于 某些 爆 炸 火 灾 危险场 所 内 可 能 产 生 静 电 危险 的 设 备 和 管 道 ， 由于 静 电 接 地 系统 不 完善 ， 会发 生 静 电 燃 爆 的 事故 ， 因 此 应做 防 静 电 处 理 ， 避 免 事， 。故 发 生 保 障 人 身 安全自 动 化 ： （ 、）对 本条 第 款的 说 明 如 下 分 散 型 控 制 系 统 安 全 （ 、） ， 、 、仪 表系 统 安 全 栅 属 于关 联 设 备 为 方 便 现 场 安 装 调 试 开 车 ， 统一 由 分 散 型 控 制 系 统 （ ） 供 应 商 提 供 并 承 担 相 关 责任 和服务 ， 以 避 免 中 间 环 节 的 推诿 、 扯 皮 现 象 。： （ ） 、 、对 本条 第 款 第 项 的 说 明 如 下 还原 炉 硅 芯 棒 内 中 ， ，外 均 采 用 高 温 双 色 红 外测温 仪 是由于 被 测 硅 芯 较 细 且 还原 炉 的视 镜 易 受 到 污 染 ， 影响 测 量 精 度 。 而 采 用 双 色 红 外测温 仪 则能 够更 好 地 消 除 干 扰 ， 保 证 测 量 精 度 要求 。：对 本条 第 款 第 项 的 说 明 如 下 对 于 测 量 氯 硅 烷 介 质的 仪 表 ， 宜 采 用 隔 膜 式 压 力 表 （ 法 兰 安 装 ，） 目 的是 防 止 氯 硅 烷 类 介 质水解 后 堵 塞 仪 表导压 管 道 ， 同 时 起 到 防 腐 作 用 。：对 本条 第 款 第 项 的 说 明 如 下 一 般 的 压 力 表 和 压 力 变 送 器 是 指 本 行业 内常 用 的 工 艺 接 口 尺寸 在 或 度 锥 管 螺 纹 （ ） 的 一 类 压 力 仪 表 类 型 。有 关 流 量 仪 表 的 选 型 要求 说 明 如 下 ： ，多晶硅 工厂中 使 用 的 脱 盐 水及 超纯 水 介 电 常 数 非 常 低 使 用 电 磁 流 量 计会 测 量 不 准 。由于 还原 炉 内 硅 棒 数 量 多 ， 工 艺 要求 三氯氢 硅 及 氢 气 流 量， ，变 化 范 围 大 且 要求进 料 量 精 度 高 为 确 保全 量程 下 的自 动化 控 制， 、 ，则 宜 选 用 大 量程 仪 表 并 带 有 温 压 补偿 功 能 以保 证 多晶硅 产品 。的质量要 求 和 连续 化 自 动 控 制由于 还原 炉 进 料 过程 中 压 力 不 高 ， 氢 气 密 度 低 ， 科 氏 力 质量 流。 量 计 测 量 氢 气 流 量必 然 会 严 重 缩 径 按 照 现 行国家标准 氢 气 站 ：设计规范 的 有 关 规定 在 氢 气 设计 压 力 为 时 ， 氢 气 在 碳钢 管 道 中 的 流 速 小 于 ； 在 不 锈钢 管 道 中 的 流 速 小 于 。 因 此 ， 在 仪 表 设计中 ， 应 避 免 氢 气高 流 速 的 ， ，现 象 产 生 以 免 造 成 测 量 仪 表 误 差 及 损 坏 管 道 甚 至 发 生 爆 炸。危 险在 工 艺 管 道 和设 备 产 生 泄漏 的 情况 下 ， 氯 硅 烷 介 质 极 易 发， ，生水解 现 象 并 产 生 自 聚 物 堵 塞 管 道 或 设 备 所 以 一 般 使 用 容 积 式。流 量 计大部 分 装 置 中 都 存 在 有 毒 、 可 燃 性 气体 ， 因 此 应符 合 现 行 国家标准 石 油 化 工 可 燃 气体 和有 毒 气体 检测 报 警 设计规范 ， 、 ，中 的 相 关要求 建 立 一 套 独立 设 置 的 报 警 联 锁 系 统 以保 、 。证 装 置 生 产 安全 正 常 的 运 行本款是强制性条款 。 通 常 情况 下 ， 工 艺 装 置 或 储 运 设施 的控 制 室 、 现 场操 作室 是 操 作 人 员 常 驻 和 能 够 采 取 措 施 的 场 所 。 现，场 发 生 可 燃 气体 和有 毒 气体 泄漏 事故 时 报 警 信 号 必须 使 现 场 报警 器 报 警 ， 提 示 现 场操 作 人 员 采 取 措 施 。 同 时 ， 报 警 信 号发 送 至 有人 值 守 的 控 制 室 、 现 场操 作室 的 指 示 报 警 设 备 进 行 报 警 ， 以 便控 制、 。室 现 场操 作室 的 操 作 人 及时采 取 措 施，在 线 分 析 仪 表 宜 采 用 气 相 色 谱 仪 是为了 更 好 地 分 析原 料 、 中 间 产品 、 最 终 产品 的 品 质是 否 达 到 有 关的质量 标准 。 其 中 的有 关要求是 针 对 多晶硅 介 质的 特 性 提 出 的 ， 用 以保 证 分 析 仪 表 设。备 的 正 常 运 行本条 第 款 所 述 的 压 力 值 为 表压 ， 本 规范中所有 气体 压 力 值 均 为 表压 。 辅助 设施 压缩空气 站 、多晶硅工厂 的 压缩 空气 用 户 主 要 有 仪 表用 气 冷 氢 化 催 化 ， 、剂 氧 化 用 气以及气 相 白 炭 黑生 产 用 气 各 个 用 户 对 压 力 质量的要求基本 相 同 ， 可 根据 各用 户 实 际 用 气 需 求 分 散 或 集 中地设 置 压缩。空气 站。本条 规定 了 空气 压缩 机 的 选 型 和 台 数 的 原 则 生 产 过程 中 仪 表用 气 是 不可长 时 间间断 的 ， 因 此 空气 压缩 机需 设有 备 用 ， 或是 有 可 替 代 气源 连 通 备 用 ， 比 如 可 把 氮 气 当 作 压缩 空气 的 备 用。气源制 氮 站 氮 气 一 般 用 作 多晶硅工厂 的 保护 和 置 换 用 气 ； 工厂 投 运 ， ，后 对 氮 气 的 需 求 就 不 能 间断 而 氮 气 机 组 一 旦 出 现 事故 停 车 后 再次 启 动 或 备 用 机 组 启 动 都 需 要 大 约 ， 这 期 间 需 要 汽 化 液 氮 补 充 氮 气 ， 因 此 液 氮 储 量 需 要 保 证 这 期 间 的 系 统 用 气 量 。制 氢 站 目 前 成 熟 的 制 氢 工 艺 有 水 电 解 制 氢 、 天然 气 裂 解 制 氢 、 甲 醇 裂 解 制 氢 以及 煤 气 回收 制 氢 。 不 同的制 氢 工 艺 需 要 不 同的 原 料， ，和 能源 水 电 解 制 氢 主 要的 能源消 耗 是 电 力 天然 气 裂 解 制 氢 主 要的 原 料消 耗 是 天然 气 ， 甲 醇 裂 解 制 氢 主 要的 原 料消 耗 是 甲 醇 。 各个 工厂 选择 制 氢 工 艺时 应 充 分考 虑 到 当 地 的 电 力 、 天然 气 、 甲 醇 的， 、 。价 格 和 供给安全 性 经过经 济 分 析 后 选择 经 济 可靠 的装 置 导 热 油 、 、多晶硅 生 产 系 统中 三 氯氢 硅 氢还原 还原尾 气 干法 回收 、 ，氯 硅 烷提纯 三氯氢 硅 生 产 等 工 序 都 有 可 能选择 导 热 油 作 为 热源当 多 个生 产 工 序 选择 导 热 油 为 热源时 ， 为 减少 导 热 油 输 送 过程 中的 热 量 损 失 ， 导 热 油 加热 系 统 应靠 近 热 量 需 求 较 大 的 主 要 负 荷 区 。纯水制备 本条 主 要 对 纯 水 的 水 质 提 出 要求 。 由于 纯 水 主 要 用 于 清 、 ， ，洗 硅 料 硅 芯 和 石 墨 件 为了 避 免 对 清 洗 料 二 次 污 染 所 以对水 质。 要求 比 较 高 表 中 的 指 标 数 据 主 要 依 据了 美 国 电 子 和 半 导 体 工业 用 超纯 水 标 准 指 南 中 级 的 水 质 标准 。，本条 第 款 规定 纯 水 系 统 应 采 用 循 环 方 式 主 要是为了 保 ， ， ，证 管 道 内水 的 流 动 性 减少 死 水 区 减 小 管 道 材料对水 质的 影响防 止 微 生 物 及 细菌 的 滋 生 。制 冷 制 冷 是 指 工 艺生 产 用冷 要求 小 于 或 等 于 的 系 统 ， 工 艺 生 产 和 空气 调 节等 系 统 所 需 的 冷 冻 站按 本 规 范。第 章 的 规 定 采 用蒸 汽 本条 对 蒸汽 源选择 的 原 则作 出规定 。 ， ，在 多晶硅 的 生 产 中 蒸汽 消 耗 占 总 能 耗 的 因 此 合 理 选 用蒸汽 源 ， 达 到 技术 经 济 最 优 化 显 得 尤 为 重 要 。目 前 国 内 各 城市 能源 结 构 、 价 格 均 不相 同 ， 更 有 环保 和 消防等， ，多 方面 的制 约 并 且 这些 因素 还 在 不断 地发 展 和 变 化 因 此 蒸汽 源、 。的 选择与 项 目 所 在 地 的 能源 结 构 政 策 是 密 切 相 关的 优 先 利 用 工厂 周 边已 有 的 热 电厂 或 区 域 供 热 站 等 蒸汽系统 ， 这 是 国家 能源 政 策 和 节能 标准一 贯 的 指 导方 针 。 目 前 我 国 的， ， ，中 小 型 工业 锅 炉 平 均 运 行 效率 仅 左右 浪 费 能 源 污 染 环。 ，境 热 电厂 或 区 域 供 热 站 普 遍 采 用 热 电 联 产 技术 其 集 中 供热 的运 行 效率 一 般 在 以 上 。 因 此 ， 应 根据 生 产 规 模 、 热 负 荷 合 理选择 蒸 汽 源 ， 以 利 于 对能源 的 高 效 利 用 ， 并 减少 用 户 初 投 资 和 管理。开 支：有 关 蒸汽压 力 的 确 定 说 明 如 下 供 汽压 力 越 低 越 好 ， 但 需 要 考 虑 蒸汽冷 凝 水回收 系 统所 需。的 压 降全 厂 蒸汽 输配 管 网 压 力 等 级 的 选择 应 根据 生 产 工 艺 的要 求 合 理 综 合 考 虑 ， 但 不 宜 多 于 个 ， 以 免 造 成 室 外 管 网 系 统 过于复 杂 。，低 压蒸汽 减 温 减 压系 统大 小 应 考 虑 工 艺 装 置 开 车 用汽 量 主 要是 考 虑 到 开 车 过程 中多晶硅 可副 产 低 压蒸汽 的 还原 工 序 靠后 ， 不 能及时 提 供 所 需低 压蒸汽 。 建 筑 结 构 一般规定 。本 条是强制性条文 由于 建 筑 的 防 火 安全 直 接 涉 及 人 员 ， （ ）和设 备 的 安 危 因 此 应 对 多晶硅工厂建 构 筑 物 的 火 灾 危险 性 分类 及 耐 火 等 级 进 行规定 。、 、表 列 出 了 多晶硅工 厂主 要 生 产 厂房 工 段 装 置 辅助 用 。房和公 用 工 程的 火 险类 别 及 耐 火 等 级 规定目 前 国 内 多晶硅工厂主 要 以 三氯氢 硅 氢还原法 工 艺生 产 多晶硅 ， 四氯 化 硅 转 化 用 氢 化 工 艺 ， 尾 气回收采 用 干法 回收 工 艺 ， 主 要： 、 、 、 、装 置 火 险类 别均 为 甲 类 的 有 制 氢 三氯氢 硅 合 成 精馏 还原 还、 、 、 、 、原尾 气回收 废 气处 理 氢 化 氢 化 尾 气回收 原 料 罐 区 离 子 膜 电解 、 氯氢 处 理 。 在 多晶硅 生 产 过程 中 原 料 有硅 粉 （ 易 爆 粉 尘 、） 二 氯二 氢 硅 （ 易 燃 液 体 、） 三氯 氢 硅 （ 易 燃 液 体 、） 氢 气 （ 易 燃 易 爆 气 体 ）。 （ 、 ） 、 、 、等 整 理 前 后 处 理 厂房主 要 包括 出 炉 硅 棒 去 石 墨 破碎 筛 选酸洗 、 称重 包 装 、 入 库 ， 以及 硅 芯 制 备及 区 熔 检 验 生 产 和 高 纯 石 墨生 产 线 ， 生 产 火 险类 别 为 丙 类 。 其 他 表 中 未 列 出 的 辅助 车 间 及 公 用 工 程的 火 险类 别 划 分 均 按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范。的 有 关 规定 执 行 表 中 的 耐 火 等 级 规定 是根据 多 晶硅工厂 各 厂房 、 装 置 的 火 险类 别 、 生 产 性质 和 重 要性制订的 ， 表 中 未 列 出 的其 他 建 （ 构 ） 筑 物 耐 火 等 级 的 确 定 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范的 有 关 章节 执 行 。 表 中 的 整 理 厂房 包括 多晶 硅 前 处 理 和 后 处 理 两 个 工 。 ，序 其 中 前 处 理是 多晶硅 还原 配套 的 辅助 工 艺 单 元 主 要 包括 硅、 ； 、 、 、芯 制 备 石 墨 煅烧 等 而 后 处 理是 多晶硅 破碎 分 拣 称重 腐蚀清 。洗 及包 装的 统 称多晶 硅工厂 是 典 型 的 化 工厂 ， 生 产 过程 中有 易 燃 、 易 爆物 ， （ ） ， 、质 存 在 为了 降 低 相 邻 建 构 筑 物之间 的 影响 能 适应火 灾 扑救， ， ；人 员 安全 疏 散 保 证 财 产 和人 身 安全 必须 设 置 安全 间距 多晶硅工厂建 （ 构 ） 筑 物之间 的最 小 间距 就 是 防 火间距 ， 但 是 有 特殊 要求的 除外 ， 如 洁净 厂房 与 主 要 交 通 干 道 的 间距 要 考 虑 空气 的 污 染 情。 况 由于现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 中 没 有规 （ ） ，定 露天 工 艺 装 置 和 其 他 建 筑 物 的 防 火间 距 因 此该 部 分 执 行 现行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。 ，多晶硅 工厂主 要装 置 火 险类 别 和 爆 炸 的 危险 性 较 高 一 般 ，应 露天 或半 露天 设 置 但 是 工 艺 上 对环境防 冻 温度 及防风 沙 有 要求的装 置 可 以 放置 在 厂房里 。 如为了 保 证 产品 质量 ， 工 艺 要求 把生 产 半导 体 级 产品 的 还原 炉 布 置 在 空气 洁净度 为 级 以 上 （ 相 当） ，于 原 万 级 的 洁净 区 内 生 产 太 阳能 级 产品 的 还原 炉 布 置 在 送， ，风 为 三 级 过 滤 的 洁净 区 内 产品 通过 洁净 连廊直 接 送 到 整 理 厂房以 减少污 染 的 机 会 。 整 理 厂房 内 硅 块 生 产 过程 和 产品 的 空气 洁净度 要求为 级 以 上 （ 相 当 于 原万 级 。） 露天 装 置 和厂房 的 爆 炸 危险 区范 围 的 划 分 按 现 行国家标准 爆 炸 危险 环境 电 力 装 置 设计规范的 有 关 规定 执 行 。 封闭 后 厂房 的 防 火 设 计 、 防 爆 措 施和 泄 压面积 的 计 算 应 执 行 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 ， 。有 关 章节 的 规定 并 对 人 员 的 安全 疏 散 采 取 防 护 措 施 、 ：厂房 库 房 的 防 火 分 区 应符 合 下列 规定 本款 提 出 了 生 产 厂房 、 辅助 设施和公 用 工 程 划 分防 火 分 区的 原 则 要求 。、考 虑 到 还原 厂房 整 理 厂房一 般 都 是 多 功 能 房 间 组 合 布 置 ， 多层厂房 的 防 火 分 区划 分 宜 按 层划 分 ， 同 时 规定 在 按 层划 分防火 分 区 时 ， 应用 封闭 楼 梯 间 来 解 决 疏 散 问题 。 封闭 楼 梯 间 的 设计 应按 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 的 有 关 规定 。执 行 。 本条是 对 多晶 硅工厂中 安全 和 卫生 设计 的 规定 性要求由于现 行国家标准 工业 企 业设计 卫生 标准 中 无露 天 装 置 ， 的 相 关 规定 所 以 露 天 装 置 部 分 还 需 执 行 现 行行业标准 石 油 化 工 。企 业 职 业 安全卫生 设计规范 的 相 关 规定 主要 生 产厂 房和 辅助 用房 。本条 对 还原 主厂房设计 作 出规定 ，由于 还原 炉 室生 产 类 别 属 于 甲 类 火 险 易 燃 易 爆 所 以 除 采 取 设 置 泄 爆面积 等防 爆 防护 措 施 外 ， 厂房 结 构 设计 应 优 先 采 用 钢， 。筋 混凝 土 或 钢 结 构 耐 火 等 级不应 低 于 二 级。 ，本款为强制性条款 还原 厂房 为 甲 类 厂房 为了 保 证 人 员 安全 ， 厂房 内 不应 设 置 常 驻 人 的 办 公 室 和 休 息 室 。 其 他 辅助 用 房和 卫生 间 需 要 设 置 时 ， 必须在 山 墙 一 端 贴邻 设 置 ， 并 应 采 用 具 有 耐。 ，火极 限 不 低 于 的 防 爆 防 护 功 能 的 墙 相 隔 由于是 甲 类 厂 房 ， ，当 防 爆 防护 墙 兼 作防 火 墙 时 耐 火极 限 不应 低 于 防 爆 墙 上 的 门 应 为 防 爆 防 火 门 且 向 疏 散 方 向 开 启 。本款为 强制性条款 。 当 工 艺生 产 上要求在 还原 厂房 内 设 ， 、 、 、置 一 些 辅助 用 房 时 如调 功 器 室 变 压 器 室 高 压 启 动室 炉 体 冷却水 系 统 、 空 调 机 房 、 炉 体 清 洗 、 工 具 间 、 人 员 和 物 料 净 化 用 室等 ， 为了 保护 设施和人 员 的 安全 ， 这些 辅助 用 房 应 布 置 在其 他 隔 间或 防， 、 ，火 区 内 不 同的 防 火 分 区 应 该 用 防 火 墙 防 火 楼 板 分 隔 和 还原 炉。大 厅 贴邻 的 房 间 还 应 设 置 防 爆 防护 隔墙 厂房 的 平 面 布 置 应符 合现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 中 的 有 关 规定 。 一 般 情况 下 ， 敞 开 的 汇 流 排 设施 与 还 原 炉 室 贴邻 布 置 ， 所 以 在 设 置 还，原 炉 室 外 墙 泄 压面 时 应 在 汇 流 排高 度 范 围 内 设 局 部 的 防 爆 防护半 高 隔墙 以保护 汇 流 排 设施 。本款是 针 对 在 整 理 厂房 集 中 布 置 人 员 净 化室 和 生 活 用 室 ，。然 后 用洁净 连廊 与 还原 厂房 相 接 的 这 种 布 置 方 式 制订的 对 在 还，原 厂房 山 墙 一 侧 布 置 人 员 净 化 和 生 活 用 房 时 应用 防 爆 防护 隔墙 。与 还原 炉炉 室加 以分 隔本款为强制性条款 。 厂房 为 甲 类 多层 ， 应 设 封闭 楼 梯 间 ， ，考 虑 到 还原 炉 装 置 的 易 燃 易 爆 性 为了 保护 疏 散 人 员 的 安全 直 通，还原 炉炉 室 的 楼 梯 应 为 封闭 楼 梯 间 并布 置 具 有 防 爆 防护 功 能 的前 室 （ 即 双 门 斗 。）楼 梯 间 安全 出 口 的布 置 和 疏 散 距 离 应符 合 现 行国家标准 。建 筑 设计 防 火 规范 中 的 有 关 规定 ， ，当 还原 炉 室 设 置 管 道 夹 层 时 为 避 免 易 燃 易 爆 气体 积 聚 应 采 用 敞 开 或 半 敞 开 布 置 。 由于 顶棚 下 最 易 于 积 聚 管 道 、 设 备 泄， ， ，漏 的 氢 气 而 吊 顶 可 以消 除 顶棚 梁 造 成的 死角 避 免 意 外引爆 同， 。时 为 避 免 氢 气 渗 入 吊 顶 内 因 此 要求 吊 顶 是 密封 的本条 对 整 理 厂房设计 作 出规定 。 为了 保 证 产品 质量 ， 多晶硅 的后 处 理 工 艺生 产 要求在 整 理，厂房 内 设 置 不 同 空气 级洁净度 等 级 的 洁净 区 如 硅 棒 出 炉 及 运输（ ，）通 道 空气 洁净度 为 级 原 万 级 多晶硅 块 生 产 至 包 装 空气 洁 净度 为 级 （ 原万 级 ） 以 上 。 在布 置 洁净 区 时 ， 应 注 意 和 普 通 辅助生 产 区 的 分 隔 ， 同 时 注 意 尽 量 避 免 人 流之间 的 交 叉 ； 当 有 货 运 电 梯， ， ，时 应 设 置 缓 冲 前 室 前 室 的 尺 度应 以 满足运输 车 的 活 动 为 准 一般 开 间不 小 于 电 梯 井 道 宽 ， 进深 不 小 于 。本条是 对 洁净 区设计中人 员 净 化室 和 生 活 用 房设计 的 规 。 、 、定 对 其 他 无 净 化 要求的 一 般 更衣 室 卫生 间 生 活 用 房 的 设 置 应 。符 合 现 行国家标准 工业 企 业设计 卫生 标准 的 有 关 规定 本 条是 对 设 计 各 主 要 辅助 用 房 的 原 则 性 规定 ， 具体 设计 时 应 执 行 现 行 的 各相 关 国家标准 。， ，中 央 控 制 室 的 设计有 独立 的 也 有 组 合 到 其 他 建 筑 中 的 有建 在 厂 前 区 的 ， 也 有建 在 生 产 区 的 ， 设计中 无 论 采 用 哪 种方 式 ，保 证 中 央 控 制 室 的 安全 是 首 先 要 考 虑 的 。 独立 设 置 全 厂 性的 中 央、 ，控 制 室 便 于 防 火 防 爆 设计 的 安全 控 制 所 以 建 议 优 先 采 用 独立 设。 ，置 独立 设 置 中 央 控 制 室时 为 安全 起见 首 先 要 满足 与 相 邻 建 （ ） 。构 筑 物之间 的 防 火间 距本款为强制性条款 。 当 中 央 控 制 室与 其 他 建 筑 合 建 时 ， 由， ，于 控 制 室 在 功 能 上 十 分 重 要 必须 保 证 人 员 及 设施 的 安全 所 以 控。制 室及与 他 相 关的 辅助 房 间应 设 置 成 独立 的 防 火 分 区和 安全 出 口当 合 建建 筑 和 易 燃 易 爆 的 甲 类 装 置 的 间距不 能 满足 最 小 间距 要求时 ， 应 采 取 抗 爆 防护 措 施 ， 此 时 建 筑 的 安全 出 口 应 避开 迎 爆面 。、 、 、 、对 其 他 厂房 仓 库 辅助 用 房 公 用 工 程的 防 火 设计 应按 ，现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 执 行 对 于 行业 性 较 强的 一 些 项 目 如制 氢 车 间 等 ， 还 需 遵 循 现 行 国家标准 氢 气 站 设计 、 、规范 锅 炉 房设计规 范 火 力 发电厂 与 变 。电 站 设计 防 火 规 范 等 的 有 关 规定 有 关装 置框 架 、 构筑 物 设计 的 规定 说 明 如 下 ： 由于 露天 钢 结 构 的 耐 火 保护 、防 腐蚀 处 理 都 比 较 繁 杂 ，费 用 高，而 且 维 修 不 易 因 此 在 多晶硅工厂里 宜 优 先 采 用 钢 筋 混凝 土框架 结。 、 。构 如 果 因 工 艺 的要求 施工工期 等 的 限 制 也可 采 用 钢 结 构 框架由于 露天 钢 结 构 框架 在 火 灾 时 丧 失 强 度 会 造 成 重 大 的 设施 损 失 ， 所 以 应 加 强 对 钢 结 构 的 耐 火 保护 。 钢 结 构 的 耐 火 保护 范 围 应按 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 的 有 关 规定 执 行 ， 该 条款制 订 比 较 完 备 ， 可 操 作 性强 。甲 类 火 险 的 三氯氢 硅 原 料 罐 区 对 周 边 环境与安全 影响重， ，大 除应 遵 守 规范 关于 安全 间距 的 规定 外 还 应 执 行 现 行国家标准 。储罐 区 防 火 堤 设计规范 的 有 关 规定 同 时 因 三氯氢 硅 液 体 具 有 毒 性 ， 泄漏 会 污 染 环境 ， 因 此 应 根据现 行行业标准 石油 化 工 企 业 职 业 安全卫生 设计规范 的 有 关 规定 对 罐 区 、 、 。防 火 堤 内 地 坪 排水 沟 集 水 坑 等 部 位 采 取 防 泄漏 措 施防 火 、 防爆 ， ，由于 还原 厂房 火 险 等 级 为 甲 类 且 易 燃 易 爆 涉 及 人 员 及 ， 、 。重 要 设施 安全 因 此 本条 中第 款 第 款为强制性条款 。 还原 厂房中 的 还 原 炉 室 是 建 筑 重 点 防护 部 位 工 艺生 产中 的 主 要 易 燃 、 易 爆 危险 性 物 料 有 三氯氢 硅甲 类 （ 易 燃 液 体 、） 氢 气（ ，）甲 类 易 燃 易 爆 气体 主 要 危险 是 三氯氢 硅 因 操 作 失 误 引 起的 火，灾 爆 炸 和 氢 气 泄漏 后的 聚 集 空气 混 合 体 的 闪 爆 所 以 为了 减 小 爆炸造 成 建 筑 主 体 结 构 的 破 坏 ， 设计 时 应 在 外 墙 面 和 屋 面 设 置 足 够的 泄 爆面积 。 根据现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 ， ，的 规定 公 式 中 的 值 大 于 或 等 于 以 此 算 出 的 泄 爆 面积 较 ， ，大 所 以 不 但 屋 面 要 全 部 作 泄 爆面 积 墙 面 的 相 当 一部 分 也 要 作 泄爆面积 。 泄 爆面积可 以 是 轻 质 屋盖 、 轻 质 墙 体 、 易 于 泄 压 的 带 有 安。 全 玻璃 的 门 窗 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 要 ， ，求 作 为 泄 压 的 屋盖 和 墙 体 应 采 用 易 于 脱 落 的 轻 质 材料 轻 质 材料最 好 具 有 易 碎 性 质 ， 其 部 件 自 重 不 得 大 于 ， 其 材料 的 燃 烧 性 能 为 级 。 在 满足 计 算 泄 压面 积 的 情况 下 ， 还 应 在 还原 炉 与 贴。邻 的 汇 流 排 之间 设 置 具 有一定 防 爆 防护 功 能 的 半 高 隔墙， ，防 爆 防护 墙 上的 门 应 为 防 爆 门 耐 火极 限 不 低 于 当 防 爆 防护 墙 兼 作防 火 分 区 的 防 火 墙 时 ， 防 爆 门 应 兼 具防 火 门 功能 ， 它 的 耐 火 极 限 不 低 于 ， 且 开 启 方向 朝 向 疏 散 方向 。 ，本款 是为 还原 厂房和 整 理 厂房 的 洁净 区设计 而 规定 的 其 防 火 设计 应符 合 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范 的 相 关 规定 。： ，对 本条 第 款的 说 明 如 下 由 于制 氢 站 厂房 为 甲 类 火 险 ， ， 。且 易 燃 易 爆 涉 及 人 员 及 重 要 设施 安全 因 此 本款为强制性条款制 氢 厂房中 的制 氢 装 置 间 在 防 火 防 爆 设计中 为 防护 重 点 。 目 前 制氢 大多 采 用 水 电 解 工 艺 ， 氢 气 泄漏 并 容 易 在 顶棚 等 死角 处 聚 集 闪， ，爆 因 此 制 氢 装 置 间应 采 用 防 爆 墙 与 其 他 辅助 用 房 分 隔 并在 屋 面和 墙 面 设 置 足 够 的 泄 爆面积 。 另 外 ， 应 在 屋 面 设 置 通 风 设施 ， 加 强通 风以 降 低 混 合 气体 的 浓 度 。 防 爆 墙 的 设 置 、 顶棚 的 处 理 、 泄 爆面， 、 。积 的 计 算 构 造 措 施 做 法 等 基本同 还原 厂房 具体 设计 应 执 行 现 。行国家标准 氢 气 站 设计规范 的 相 关 规定 ， 由于 变 电所 为 工厂 的 重 要 设 施 变 电所 的 防 火 设计 对保 证全 厂 的 安全生 产 十 分 重 要 。 多晶硅工厂 的 独立 室内 变 电所 火 险类，别 为 丙 类 使 用 干 式 变 压 器 或 设 备 含 油 量 小 于 或 等 于 的 独 。立 室内 变 电 所 火 险类 别 为 丁 类 设 计 时 不 但 要执 行 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 ， 而 且 要 符 合 现 行国家标 准 火 力 发电厂 与 变 电 站 设计 防 火 规范 第 章 的 相 关 。规定、 、有 关 氢 化 精馏 等 露天 装 置 及 构筑 物 的 防 火 防 爆 设计 要 求 说 明 如 下 ： 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 中 没 有 关于 ， ，露天 装 置 的 相 关 内容 因 此 本 款 规定 露天 装 置 设计 时 按 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 执 行 。 有 关 原 料 罐 区 的 设计 要求 说 明 如 下 ： 、多晶 硅工厂 的 地 上 甲 类 液 体 储罐 区主 要 物 料 为 三氯氢 硅 。 二 氯 二 氢 硅 虽 然 现 行国家标准 建 筑 设计 防 火 规范 第 章 中有 关于 甲 、 乙 、 丙 类 液 体 、 气体 储 罐 （ 区 ） 与 可 燃 材料 堆 场 的 相 关 规定 ， 但 是 缺 少 与 露天 装 置 关 系 的 相 关 规定 ， 相比之下 现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 较 为 接近 多晶硅 厂 的 情况 ， 如 防 火间距 的 规定 更 为严格 ， 因 此 罐 区的 设 置 采 用 了现 行国家标准 石 油 化 工 企 业设计 防 火 规范 。 地 上 易 燃 液 体 储罐 区 的 防 火 堤 设计 应符 合 现 行 国家标准 储罐 区 防 火 堤 设计规范 的 规定 。 本条是 补 充 说 明 以 上条款 未 提 及 的 多晶硅工厂中 其 他 厂 、 、 ， 。房 辅助 用 房 公 用 工 程 等 对 其 防 火 设计 提 出 了 原 则 性要求洁净 设计 及 装修 ：有 关 主厂房设计 要求 说 明 如 下 ， ，半导 体 级 多晶硅 产品纯 度 高 为 保 证 产品 质量 避 免 硅 棒 ，和多晶硅 在 生 产 和 运 输 过程 中 受 污 染 还原 炉 室 工 艺 一 般 要求 空气 的 洁净度不 低 于 级 。 洁净 区 的 出 入 口 部 应 设 置 人 员 净 化 、 物。 、 、料 净 化 用 室 和 生 活 用 室 洁净 区 的 口 部 平 面 设 置 防 火 和 疏 散 室 。内 装修 均 应按 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范 执 行 还原 炉 室 通过 洁净 连 廊 与 整 理 工 段 相 连 ， 合 用净 化 口 部房 间可 以简 化 人 流 路 线 ， 节 省 投 资 。 连廊 的 空气 洁净度 和 室内 装修要求同。还原 炉 室， ， 、由于 还原 炉 室 为 高 大厂房 体 积 较 大 从 产品 要求 投 资 和 运行 成本 考 虑 ， 生 产 太 阳能 级 多晶硅 的 还原 炉 室对空气 的要求 考 虑， 。三 级 过 滤 可不按洁净 厂房 考 虑，为 保 证 多晶硅 的 产品 质量 整 理 车 间 内 从 多晶硅 棒 去 石 墨 到 多晶硅 破碎 、 筛 选 、 酸洗 干 燥 、 称 量 、 包 装 等 后 处 理 工 段 的 空气 洁净度不 宜 低 于 级 ， 前 处 理 多晶硅 还原 配套 的 辅助 工 段 （ 主 要 包括、 ） 。硅 芯 制 备 石 墨 煅烧 等 空气 洁净度不 宜 低 于 级 洁净 区 的 出 入、 、 。口 部 应 设 置 人 员 净 化 用 室 物 料 净 化 用 室 生 活 用 室 洁净 区 的 口部 平 面 设 置 、 防 火 和 疏 散 、 室内 装修 均 应按 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范 的 有 关 规定 执 行 。 。本条 对 有 空气 洁 净度 要求的其 他 厂房和建 筑作 出规定 高 差 定 为 大 于 或 等 于 是 因 为 洁净 房 间 有 较 高 的 防 潮 要求 。 现 行国 家标准 洁净 厂房设计规范 中 的 室内 装 、 、 、 ，修条款 对 洁 净 室 的 门 窗 墙 壁 顶棚 地 面 都 规定 得 较 为 详 细 故 规定 按 其执 行 。本款 对 洁净 区 外 没 有 空气 洁净度 要求的其 他 辅助 房 间 的。装修 作 了 一 般 性 规定防 腐 蚀 、多晶硅工厂 的 工 艺 装 置 泄漏 的 三氯氢 硅 四氯 化 硅 遇 水 或 、 ，潮 湿 空气 后 会 生 成 含 硅 酸 盐酸 等具 有 强 腐蚀 性的 物 质 这些 腐蚀 、 ，性 物 质 对 厂房 装 置框架 的 内 部 或 外 部 的 腐蚀 较 为严 重 腐蚀 程 度一 般 达 到 中 度 ， 因 此 应 采 取 有 效 的 防 腐蚀 措 施 。 表 列 举了 、 ，各 装 置 厂房 的 腐蚀 性 介 质 及 腐 蚀 性 分 级 供防 腐 设计 参考 表 中 介。质的 腐蚀 性 主 要 对 钢 筋 混凝 土 而 言本条 规定 了 液 态或 气 态腐蚀 的 防 腐蚀 设计 原 则及 主 要 建 筑构 件 的 具体防 腐 处 理 方 法 。结 构 设计 结 构 设计 方 案 的 选择 应 以保 证 结 构 的 整 体 稳 固 性为 原 则 。 ， ：在 满足 工 艺生 产 要求的 前 提 下 可按下列 要求 考 虑（ ） 、 。选 用 合 理的结 构体 系 构 件 形 式 和 布 置（ ） 结 构 的 平 、 立 面 布 置 尽 量 规 则 ， 各 部 分 的质量 和 刚 度 宜 均匀 、 连续 。（ ） 、 ， 、结 构 的 传力 途 径 应 简 捷 明 确 竖 向 构 件宜 连续 贯 通。对 齐（ ） 采 用 超静 定 结 构 ， 重 要 构 件 和 关 键 传力 部 位 应 增 加 冗 余 约束 或 有多 条 传力 途 径 。（ ） ，多晶硅工厂 各 建 构 筑 物 的 设计 基 准期 为 年 即 建 （ 构 ） 筑 物 结 构 的 可 变 作 用 是 按 年 确 定 的 。多晶 硅 生 产 的 主 要装 置 均 具 有 易 燃 、 易 爆 、 剧 毒 的 特 点 ， 地 ，震 时 引 发 的 次 生 灾 害 对 社会 造 成的 危 害 较 大 因 此 其 抗震 设 防分。 （ ）类 可 定 为 乙 类 乙 类 建 构 筑 物应按比 当 地 抗震 设 防 烈 度 提 高 一度 采 取 抗震 措 施 ， 即 地 震 作 用按 当 地 的 抗震 设 防 烈 度 计 算 ， 当 抗震设 防 烈 度 为 度 度 时 ， 提 高 一 度 考 虑 （ 如 抗震 等 级 的 选 取 等 ，） ， 。 、当 为 度 时 应 具 有 更 高 的要求 与 结 构 有 关的如 建 筑 设 备等 专业 亦 应 采 取 同 等 措 施 。本条是强制性条文 。 多晶硅工厂 各 装 置 设计 时 一 般 都 有 ， （ 、 ， ，明 确 的 使 用用途 当 改 变 用途 和 使 用 环境 如改 扩 建 超 载 使 用， ） ， 。结 构 开 洞 使 用 环境 恶 化等 时 会 影响 其 安全及 使 用 年限 任 何 ，对 结 构 的改 变 均 应 经 设计 许可 或 技术 鉴 定 以保 证 结 构 在 设计 使用 年限 内 的 安全 和 使 用 功 能 。 现 行国家标准 混凝 土 结 构 设计规 。范 中 也将 该 内容 列 为强 制性条文 ， ，多晶硅 的 生 产 厂房 除 还原 厂房 具 有 自 身 特 点 外 其 他 装 置 的结 构 设计 与 一 般 化 工 装 置 差 别 不 大 。 对 还原 厂房 ， 近 年 来 由于 生 产 规 模 不断扩 大 ， 还原 炉 体 不断 加 大 ， 相应 重 量 也 在 加 大 ， 表。所 列 荷 载 仅 指 还原 炉 为 对 棒 对 棒 情况 下 的 荷 载 本款是 在现 行国家标准 建 筑 结 构 荷 载 规范 的 基础上 ， 根据 多 晶硅厂房 的 生 产 特 点 进 行 了 系 数 调 整 ； 搬 运 、 装 卸， 、设 备时 的 动 力 系 数 可取 其 动 力 作 用 只 传 至 楼 板 梁 等 。支 撑 构 件 给水 、 排水 和 消 防 给 水 、工厂 的 生 产 用 水 主 要 包括 循 环水 的 补 充 水 冲 洗 用 水 及 尾 。气 淋 洗 用 水 循 环水 系 统 的 补 充 水水 质 应 根据 循 环水 系 统 的 水 质确 定 ； 为 保 证 多晶硅 的 纯 度 ， 炉 筒 与 硅 棒 的 冲 洗 用 水 为 纯 水 ； 尾 气， 。淋 洗 可 采 用 生 产 水 和 回 用 水 应 优 先 采 用 回 用 水。 、本条是强制性条文 在 精馏 装 置 整 理 厂房硅 料 清 洗 工 段 、 三氯氢 硅 罐 区 等 装 置 区 及 储罐 区 内 的管 道 、 管 阀 件 以及 设 备 出现 跑冒滴 漏 现 象 时 ， 物 料 喷 溅 出 来 ， 将 对附 近 工 作 人 员 的 身 体 特 别，是 眼睛 造 成 伤害 淋 浴 器 及 洗 眼 器 可 对 身 体 和 眼睛 进 行 紧 急 冲 洗， 。或 淋 洗 避 免 物 料 中 的 化 学 物 质进 一 步 对 人 体 造 成 伤害当从 河 道 取 水时 ， 计 算 水体 保 证 率 的 可取 水 量 ， 应 考 虑 下 游 用 水 量 及 河 道 最 小 生 态 流 量 。 ，根据 多 晶硅行业准 入条 件 要求 水 资 源 应 实现 综 合 回收 利 用 。 设 备 冷却应 采 用间 接 循 环 冷却方 式 ， 各 点 排水 应 根据 排水水 质 及 用 水 点 的 回 用 要求 ， 进 行 分 质 处 理 、 分 质 回 用 ， 以 达 到 合 理， 。用 水 节 约 水 资 源 的 目 的排 水 室 外 排水采 用 雨 水 和 污 水分 流 是基本的要求 ， 对 缺 水 地 ， 。区 采 用 雨 水回收 利 用 对节 约 用 水 是 非 常 必要的废 水分 类 收 集 不 仅 是为 满足 废 水处 理 工 艺 要求 ， 同 时 也 为 保 证 各 排水 系 统 的 正 常 运 行 。 采 用 重 力 式 排水 系 统 能 有 效 避 免 管， 。道 堵 塞 减少 系 统 的 维护 工 作 量， （ ）计 算事故 池 容 积 时 装 置 区区 域 内 露天 部 分 雨 水 量 取 该 （区 域 内 的 日 平 均 降 雨 量 由 年 平 均 降 雨 量 除 以 年 平 均 降 雨 日 数 得到 。），高 浓 度 含 氟 废 液 具 有 较 强的 腐蚀 性 有 可 能 在 输 送 管 道 的 。 、薄 弱 处 发 生 泄漏 为 避 免 泄 漏 影响 生 产 威胁 人 身 安全及 污 染 周围 环境 ， 应 考 虑 充 分 的 保护 措 施 ， 同 时 还 应 加 强 日 常维护 。 做到 及早 发 现 泄漏 ， 及 早 处 理 。废 水 处理 处 理后 废 水 应 优 先 回 用 至 尾 气 淋 洗 工 艺 ， 多 余 部 分 外 排 。 ，多晶硅工厂 产 生 的 生 产 废 水 主 要为 尾 气 淋 洗 废 液 废 液 处 ，理 设施 尽 量 与 尾 气 淋 洗 设施 就近 设 置 同 时考 虑 处 理 用 药 剂 及 产生 污 泥 的 运输 。 本条是强制性条文 。 硅 料 清 洗 产 生 的 含 氟 废 酸 氟 含 量 偏 ， ，高 腐蚀 性强 在 处 理 时 应 采 取 措 施 防 止液 体 泄漏 及 氢 氟 酸 挥 发 至， ， 。 ，大 气 中 造 成 污 染 故 应 单 独 处 理 同 时 单 独 处 理 含 氟 废 酸 可 减少 处 理 药 剂 用 量 ， 保 证 整 个 工厂 处 理 排水 最 终 达 标 排 放 。 此 部 分废 液 可先 单 独 预 处 理后 再 与 其 他 生 产 废 水 混 合 处 理 。、 ，废 水 调 节 池 尾 气 淋 洗 水解 池 等 泄漏 时 会 对 地 下 水 造 成 污 染 ， 宜 在 地 下 水 下 游 设 置 处 检测 点 ， 监 测 地 下 水 酸 碱 度 （ 值 ，） 氯 、 氟 及 溶 解 盐 等 污 染 物 的 含 量 。循环 冷 却 水 系统 部 分 设 备对 冷却 水 的 温度 、 压 力 、 水 质的要求 比 较 严格 ， 一 旦 超 出 其 设定 的 参 数 ， 就 自 动 报 警停 机 ， 严 重影响 正 常生 产 。 所 以， 。冷却 水 系 统 应 根据 工 艺 设 备 的 具体 要求单 独 设 置 避 免 相 互 干 扰本条是强制性条文 。 硅 芯 拉 制 炉 、 还原 炉 和 单 晶 炉 在 循 环 水供 电 系 统出 现 事故 时 ， 设 备内 产 生 的 热 量 无 法 被 循 环水 带 走 ， 将， 。 ，会 导 致 设 备 损 坏 设 备内 物 料 泄漏 为 防 止 上 述 事故 发 生 在 循 环（ ，）水 系 统中 增 设 保安水 箱 及 柴 油 水 泵 或 柴 油 电 源 当 水 泵 供 电 系 ， （ ） ，统 事故 时 由 柴 油 泵 或 柴 油 电 源 向 设 备供水 以 保 证 循 环水供给不 中 断 。，针 对 开式 循 环水 系 统 应 设 旁 滤 系 统 及 缓 蚀 阻 垢药 剂 投 加 ； ， ，系 统 针 对 闭 式 循 环水 系 统 从 国 内 工厂 现 场 运 行 情况 看 仅 在 系统中 增 加 管 道 过 滤 器 即 能 满足运 行 要求 。消 防 。本条是强制性条文 发 生 在装 置 区 及 储罐 区 的 火 灾 多 由 物 料 泄漏 引 起 ， 由于 物 料具 有 毒 性 ， 同 时 易 燃 、 易 爆 ， 火 灾 发 生时 ，消防 人 员 很 难 靠 近 着 火 区 域 故 在 该 区 域 必须 设 置 稳 高 压 消防给， 。 ，水 系 统 同 时 在 该 系 统 上 设 置固 定 消防 炮 当 发 生 火 灾 时 消防 炮能 有 效 迅 速 地 扑 灭 火 灾 ， 同 时 可 以防 止 泄漏 进 一 步 扩 散 。设 置固 定 式 消防水 炮 ， 可 以 在装 置 及 储罐 泄漏 时 有 效 控 制 。 ， 。泄漏 物 料 进 一 步 扩 散 当 着 火 时 能 冷却 着 火 罐 相 邻储罐 消防， ，水 炮 应 是装 置 区 及 储罐 区 最 有 效 的 消防辅助 措 施 但 发 生 火 灾 时及时 转 出 着 火 装 置 及 储罐 内 的 剩 余 物 料 ， 并 向 其 内 部 输 送 工 艺 氮气 才 是 熄 灭 火 灾 的最 主 要 措 施 。，根据 国 内 工厂 现 场 火 灾 处 理经验 砂 子 对 漏 料 产 生 的 初 期 火 灾 和 零 星 火 灾 的 扑 灭 还 是 比 较 有 效 的 ， 并 且 砂 子 使 用方 便 ， 价 格便 宜 ， 取 材容 易 。 本条结 合 现 行国家标准 石 油 库 设计规范 ， 。中 砂 子 及 灭 火 毯 的 配 置 要求 规定 了 储罐 区 的 配 置 要 求 （ ） 、全 厂 分 散 型 控 制 系 统 是 保 证 全 厂 安全 稳 定 运 行 的 重 要 设 施 ， 分 散 型 控 制 系 统 （ ） 机 柜 室内 设 控 制 机 柜 ， 由 于 平 时 机 柜 室内 没 有 工 作 人 员 ， 故 发 生 火 灾 后 不 易 被 发 现 ， 且 造 成的 损 失。 ，较 大 所 以 设 置 气体 灭 火系 统 可 以 在 火 灾 初 期 将火 扑 灭 同 时 避免 设 备 损 害 。为了 减少 洁净 区 的 污 染 ， 洁净 区一 般 采 用 水 型 、 泡沫 和 二 。氧 化 碳 灭 火 器 、采暖 通 风与 空 气 调 节一般规定 本条 规定 了 主 要 建 筑 物 ， 还原 车 间 、 多晶硅 产品 后 处 理 及 、 、检测 分 析 等 有 洁净 等 级 要求的 生 产 单 元 的 空气 洁净度 温度 湿度。的要求 本 规范 附录 表 中 的 空气 洁净度 等 级 主 要 参 照 现 行 国家标准 洁净 厂房设计规范 的 有 关 规定 ， 并根据 国 内 。现 有 多晶硅 生 产 厂房 的实 际 情况 制订的， ，为了 尽 量 节 约 能源 降 低 生 产 成本 一 些 地区 的 环境 条 件 较 为适 合 ， 不 设 置 空 调基本 可 以 符 合 标准 的 情况 下 ， 除 了 分 析 检测 的 恒温 、 恒 湿 要求 外 ， 其 他 房 间可按 本 规范 附录 表 适 当 放 宽 温度 、 。湿度 的要求，根据 对 国 内 现 有多晶硅厂房 的调查 绝 大多 数 洁净 厂房 若 未 采 用 散 热 器 采暖 ， 则 散 热 器 容 易 积 灰 ， 不 易 清洁 。 现 行国家标准 洁净 厂房设计规范 作 出 “ 空气 洁净度 等 级 严 于 级 （ ） ” ，的 洁净 室 区 不 得 采 用 散 热 器 采暖 的强制性条文的 规定 因 此 本条 作 出 相应 规定 。本条是强制性条文 。 还原 管 道 夹 层一 般 在 还原 炉 室 下 ， ， ，方 四周 不 设 围 墙 当 有 少 量 氢 气 泄漏 时 便 于自 然 通 风 和 危险 气， 。体 扩 散 见本 规范第 条的 规定 在严 寒 地 区 为了管 道 防 冻 需 要 ， 还原 管 道 夹 层设 外 墙 ， 这 时 管 道 夹 层 即 为 甲 类 生 产 厂房 ， 根据现 行国家标准 建 筑防 火 设计规范 的 规定 ， 在 甲 类 生 ， 。 ，产 厂房 内 有 爆 炸 性 气体 时 采 用 热风采暖 不应 回风 因 此 本条 作出 强制性 规定 ， 必须严格执 行 。通 风 ，对生 产 过程 中 散 发 的 有 害 物 质 必须 采 取 有 效 的 预 防 治 ， 、理 措 施 厂房 内 应 采 取 必要的 通 风 措 施 来 保 证劳 动 环境卫生及 人员 安全 ， 同 时 ， 生 产 设 备 的 局 部 排风 应 采 取 有 效 的 净 化处 理 措 施 达。到 排 放 标准， ，为 保 证 房 间 的 负 压 房 间 总 送风 量 应 小 于总 排风 量 设计 时 应 进 行 风 平 衡 计 算 。有 关 还原 炉 室 通 风 要求的 说 明 如 下 ： ， 、还原 炉伴 有 氢 气等 危险 化 学品 存 在 防 火 防 爆 设计中 为 ， 。防护 重 点 一 般 在 还原 炉 室 设有 整 体排风 事故 通 风排风 量 可 以由 整 体 通 风 和 事故 通 风 系 统共 同 负 担 ， 整 体 通 风 的 风 机 应符 合 事、 。故 通 风防 火 防 爆 的要求 本款 规定 事故 总 排风 量 不 得 小 于 ，次 的换 气 次 数 主 要 因 为 还原 炉 室 一 般 为 层 高 以 上的 高 大 厂房 ， 厂 房 体 积 过 大 ， 而 事故 状 态 氢 气 主 要 聚 集 在 厂房 上 部 ， 对于 厂房 上 半 部 事故 排风 量实 际 可 满足 次 的换 气 次 数 要求 即 ； ， ，可 在 满足 安全 的 前 提 下 考 虑 到 投 资 和 运 行 费 用 同 时 根据 行业， 调查 情况 规定 事故 总 排风 量 不 得 小 于 次 的换 气 次 数 是 能 满 足 事故 排风 要求的 。单 独 机 房 的要求 不 包括 屋 顶 风 机 。 排 除爆 炸 性 气体 的 排 ， ， 、风 机 如 设 在 风 机 房 时 应 设计 单 独 的 机 房 不应 与 其 他 通 风送 排风等 合 用 风 机 房 。在 还原 车 间 ， 为了 保 证 发 生 事故 时能 有 效 及时 地 排 除爆 炸， ，性 气体 可 根据 事故 排风 系 统 情况 设 置 备 用 风 机 这 里 采 用 了“ ；” ， ；宜 当 设 置 单 台 排风 机 时 应 设 置 备 用 风 机 当 设 置 多 台 风 机 可以 满足 事故 排风 量 时 ， 可不 设 置 备 用 风 机 。氢 气 泄漏 并 容 易 在 顶棚 等 死角 处 聚 集 闪 爆 ， 排 除 氢 气与空， 气 混 合 物 时 事故 排风 吸 风 口 位 置 应按 照 现 行国家标准 采暖 通 风与空气 调 节 设计规范 的 规定 布 置 。 当 静 电 聚 集 到 一定 程 度 会 产 生 静 电 火 花 ， 导 致 具 有 爆 炸 危，险 的 氢 气 和 空气 的 混 合 物 燃 烧 爆 炸 因 此 有 必 要 采 取 防 静 电 接 地。措 施 ， ， 还原 车 间 管 道 夹 层一 般四 周 不 设 外 墙 可 以 自 然 通 风 但为 防 止 泄漏 的 氢 气 聚 集 在上 部建 筑 结 构 梁 内 ， 规定 在 建 筑 结 构 梁， 。内 设 导流 管 并 且 导流 管 均 匀 布 置：有 关 酸 性 废 气 净 化 的要求 说 明 如 下 腐蚀清 洗 采 用 强 酸 ， 腐蚀清 洗 设 备及 配酸 柜 等 设 备 设有 局部 排风 口 ， 局 部 排风排 出 含 酸 废 气 浓 度 很 高 ， 对环境 危 害 很 大 ， 不。 ，能 直 接 排 放 所 以 应 当 采 取 有 效 的 净 化 措 施 使 废 气处 理 至 达 标。后 排 放实验过程 一 般 会 产 生 含 有 酸 、 碱 蒸 气 的 废 气 和 含 有有 机 溶，剂 蒸 气 的 废 气 这些 废 气 的 有 害 物 浓 度 一 般 都 超 过现 行国家标准 。大 气 污 染 物综 合 排 放 标准 的 有 关 规定 由于实 验 种 类较 多 ， 分 布 不 集 中 ， 使 用 时 间不 同 ， 每 个 系 统 的 排风 量 不 大 ， 不 宜集 中 处 理 。 因 此 可 以采 用 干 式 活 性 炭 吸 附 装 置 进 行 废 气处 理 。、 ，喷砂 硅 棒破碎 等生 产 工 艺 产 生 二 氧 化 硅 粉 尘 虽 然 粉 尘 ， ， 。浓 度 较 低 但 不 能 达 标 排 放 因 此 作 了本条 规定有 关 排 除 酸 性 废 气及 粉 尘 的 系 统设计 要求 说 明 如 下 ： 一 般 情况 下 ， 排 除 酸 性 废 气及 粉 尘 的 净 化处 理装 置 和 除 尘 ，器 设 在 负 压 段 主 要是 保护 通 风 机 的 酸 性 气体 的 腐蚀或 粉 尘 的 磨损 ， 延 长 风 机 的 使 用 寿命 。 由于 某 种 情况 把 净 化处 理装 置 和 除 尘器 设 在 正 压 段 时 ， 要 选择 专 用 的 防 腐 风 机 或 排 尘 风 机 。， ，在 还原 厂房中 工 艺 设 备 的 局 部 排风 比 较 重 要 工 艺 设 备
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