锡林右轴承座组件工艺及夹具设计机械带CAD资料
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右轴承座组件工艺及夹具设计
锡林右轴承座组件工艺及夹具设计
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PAGE 5 MEMS 20CMOSCOMSCMOS廯MEMSMEMSMEMS 1.MEMS MEMSCMOSMEMSCMOShybridMEMSCMOSMEMSCMOSCMOSMEMSCMOS-MEMSMEMSMEMS MEMSMEMSCMOSCMOSpre-CMOSCMOSintermediate-CMOSCMOSpost-CMOS post-CMOSCMOSMEMSMEMSMEMSpost-CMOSMEMSCMOSMEMSCMOSMEMS貣950棬1050棬CMOS800棬400-450CMOSMEMSCMOSMEMS3磬MEMSCMOSMEMS pre-CMOSMEMSCMOSCMOSpost-CMOSMEMSCMOSCMOSCMOS磺MEMS intermediate-CMOSCMOSMEMSMEMSpre-CMOSpost-CMOSCMOSBiCMOS 2.MEMS MEMSpost-CMOSCMOSMEMS2CMOSCMOSMEMS 2.1 MEMS 2.1.1 鼯CMOSMEMSmodular integration of CMOS with micro-structuresMICS貣PSG600TiN赲MICSCMOS30010-10nmLTO20010-10nm象CMOSCMOS1裨35010-10CMOS1umPSG2um20.5umPSG10001minPSG 2.1.2 CMOSMICSMICS835LPCVD裬LTO裨a-SiCMOSa-Si450棻410棬CMOSLPCVD400棬550棬30sMICS600档MEMS450棬CMOS 豸DMDSRAM PZT洢PZT輯磬OCVDPZT43075棬CMOS 2.2 CMOSMEMS 2.2.1 CMOSCMOSsacrificial aluminum etchingSALECMOS122侵缫1234 2.2.2 single crystal reactiveetching and metallizationSCREAMCMOS裬CMOS湤RIERIE蹵10um象裻裬SCREAM300CMOS 2.2.3CMOS-MEMS Gamegle MelloaCMOSCMOSCMOS0.5upmN幤123CHF3O2RIE3CMOS渲3CMOSSP6O2磺 2.2.4 CMOS-MEMS MEMS100磬TMATHEDP籡KOH XeF2post-CMOSXeP2XeP2ICCMOSXeF2CMOSCMOS 3. MEMS10MEMSMEMSICMOSIS.EuropracticeTIMACMPCroonsCMOSLIGA蹤İEM蹤磬SensoNorMEMS 1post-CMOS
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