标准解读

《YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定》是一项针对氯硅烷中特定类型碳杂质——甲基二氯氢硅含量检测的标准。该标准适用于多晶硅生产过程中使用的原料或中间产物氯硅烷内甲基二氯氢硅含量的定量分析。

根据标准描述，测定采用气相色谱法进行。具体操作流程包括样品准备、仪器条件设定及数据分析等步骤。首先，需要将待测样品通过适当方式处理后进样；其次，在选定的操作条件下（如柱温、载气流速等），利用配备有火焰离子化检测器（FID）或其他合适检测器的气相色谱仪对样品中的组分进行分离与检测；最后，基于标准物质建立的校准曲线来计算出样品中目标化合物的实际浓度。

此外，《YS/T 987-2014》还规定了方法精密度要求以及实验室间比对试验的具体实施办法，确保不同实验室之间能够获得可比且可靠的结果。此部分内容对于保证分析数据的一致性和准确性至关重要。

该标准为相关行业提供了一种科学有效的手段来监控和控制氯硅烷产品质量，有助于提高整个产业链的技术水平和竞争力。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替
  • 2014-10-14 颁布
  • 2015-04-01 实施
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文档简介

ICS7704030 H 17 . . 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T9872014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定 Testmethodformeasuringcarboncontainingcompoundinchlorosilane Determinationofmethyldichlorosilane2014-10-14发布 2015-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 YS/T9872014 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 归口 (SAC/TC243) 。 本标准负责起草单位 四川新光硅业科技有限责任公司 : 。 本标准参加起草单位 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公 : 、司 陕西天宏硅材料有限责任公司 洛阳中硅高科技有限公司 南京中锗科技股份有限公司 新特能源股 、 、 、 、份有限公司 。 本标准主要起草人 敖细平 王波 黄代文 梁洪 刘畅 姚淑 荆凡 杨艳芬 银波 黄彬 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 YS/T9872014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定1 范围 本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法 主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅 , 中甲基二氯氢硅的测定 。 本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定 三氯氢硅 四 。 、 氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为 0.00001%1.00%。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 高纯氦 GB/T4844.3 3 方法原理 本标准采用 二氯乙烷作为内标物 利用气相色谱 质谱仪 测定三氯氢硅和四氯化硅 1,2- , - (GC-MS) 中甲基二氯氢硅的含量 气相色谱 质谱仪通过极性毛细管色谱柱将三氯氢硅或四氯化硅的主体和碳 。 - 杂质分开 确定其保留时间 利用吹扫装置将气相色谱分离后的三氯氢硅或四氯化硅主体排出 将碳杂 , 。 , 质导入质谱仪进行分析 用气相色谱 质谱仪的定性模式对样品三氯氢硅和四氯化硅中碳杂质进行全 。 - 扫描分析 仅发现有甲基二氯氢硅离子峰的存在 因此本标准主要对三氯氢硅或四氯化硅中的甲基二氯 , , 氢硅进行分析 。4 试剂和材料 除非另有说明 分析时均使用符合国家标准的试剂或材料 , 。41 高纯氦气 应符合 的规定 . , GB/T4844.3 。42 甲基二氯氢硅 色谱纯 . , 。43 二氯乙烷 色谱纯 . 1,2- , 。44 正辛烷 色谱纯 . , 。45 三氯氢硅 光谱纯 . , 。46 四氯化硅 光谱纯 . , 。5 仪器与设备 51 气相色谱 质谱
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