自动排气设备完好要求和检查评定方法.pdf

设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s ,1 / t 3 1 1 5 4 -9 4 自动排气设备完好要求和检查评定方法 主皿内容与 适用范困 本标准规定了自 动排气设备的完好标准和检查、 评定方法。 本标准适用于电子管 自动排气设备( 以下称圆排车) 2 完好要求 2 . 1 主要性能 2 . ， . 1 主要性能指标 二圆排车除气极限真空: 5 x 1 0 - p a ; b . 国排车工作电源: 阴极分解电压为 。 -1 5 v, 阳极分解电压: ( 加速极除气电 压) 为。 - 1 0 0 0 v二; 栅极( 发射极) 除气电压: 0 -3 0 0 v . 二 。 以上电压能在工艺规定的时间内自动平滑地或者逐级地加到额定电压。 2 . 1 . 2 圆排车烘箱温度 0 -5 0 0 c， 且具有自动加温， 恒温维持功能 2 . 2 操作系统 2 . 2 . 1 电气控制系统操作方便、 灵敏、 可靠， 各电压调节手柄轻便、 灵活。 2 . 2 . 2 被除气电子管上、 下圆排车的除气工作管位操作方便、 安全。 2 . 2 . 3 画排的转动速度、 排气程序的自动控制系统能方便、 准确地按各种电子管的除气工艺 要求调整. 2 . 2 . 4 圆排车的各种机械操作机构轻便、 平稳、 安全; 水、 气开关灵敏、 可靠. 2 . 3 真空系统 2 . 3 . 1 圆 排车所附测量被排气电 子管真空度的电离真空计性能指标符合该产品的规定， 真空 测量误差不大于士5 %. 2 . 3 . 2 圆排车在转动过程中能根据被除气管的除气工艺要求自动完成预除气、 烘烤、 阴极分 解， 栅极除气阳极除气以及自动抽真空等项工序。 2 . 3 . 3 圆排车每个管位( 例如a xl o位) 的工作过程应符合被除气电子管除气工艺的要求。 设 备的自动检测， 报警， 装置， 装态良好， 灵敏可靠。 2 . 4 徽机控制系统 2 . 4 . ， 各开关、 按钮、 操作键完整无损， 动作灵敏、 可靠， 控制装置各组成部分保持完整、 功能 齐全， 性能稳定， 工作状态良好， 显示请晰。 2 . 4 . 2 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自检功能必须正常。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 5 41 s ,i / t 3 1 1 5 4 -9 4 2 . 4 . 3 输入/ 输出程序正确无误。 2 . 4 . 4 打印机、 穿孔机与主机接口良好， 工作正常。 2 . 4 . 5 装置内部清洁， 布线整齐， 线路无老化、 破裂， 各线路标志齐全、 正确。 2 . 4 . 6 所有裸露导体件( 包括外壳) ， 必须与保护接地端子构成通路， 保证有永久良好导电性， 保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得不大于。 . 1 5 1 , 2 . 5 电源系统 2 . 5 . 1 各工作电源有过电流保护装置， 工作灵敏、 可靠、 有效。 2 . 5 . 2 园排车有超温和欠温自动报警装置， 能自动调整。 2 - 5 , 3 电离真空泵工作中处于悬浮电位。泵与工作电源的连线应有可靠的绝缘措施， 并保证 在拆， 接连线时人体不触及电极导体。 2 . 5 . 4 园排车电气系统应线路完整、 无临时拖线， 电路元器件不允许有拖挂。 导线绝缘层无破 损， 电路漏电不超过允许范围。 2 . 6 安全防护 2 . 6 . 1 各种安全防护装置齐全、 完整， 安全、 有效。 2 . 6 . 2 接地( 或零) 可靠， 标志明显。 2了 维护保养 按s j / t 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行。 检查、 评 定方法 1 检查方法 1 . 1 用电离真空计测量真空系统符合 2 . 1 . 1 . a 的要求。 1 . 2 用高于 1 . 5 级的仪表检查电源系统符合2 . 1 . 1 . b的规定。 1 . 3 用经校准的热电偶温度计检查烘箱温度符合 2 . 1 . 2的规定。 1 . 4 其余各项通过目测和操作检查。 2 评定方法 2 . 1 主要项 目有 : 2 . 1 . 1 -2 . 1 . 2, 2 . 3 . 1 -2 . 3 . 3 , 2 . 5 . 1 -2 . 5 . 4 , 2 . 6 . 1- 2 . 6 . 2， 其余各项 为 ，。33333.3. 次要项 目。 3 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备 。