（材料加工工程专业论文）液相脉冲放电制备tialc陶瓷涂层及其性能研究.pdf

ad i s s e r t a t i o ns u b m i t t e dt og u a n g d o n gu n i v e r s i t yo f t e c h n o l o g y f o rt h ed e g r e eo fm a s t e ro fs c i e n c e t h er e s e a r c ho nt h ep r e p a r a t i o no f ( t i ，a i ) cc e r a m i c c o a t i n gb yp u l s ed i s c h a r g ei nl i q u i d m s c a n d i d a t e ：h el i n g s u p e r v i s o r ：p r o f j i ex i a o h u a a p r i l2 0 1 0 f a c u l t yo fm a t e r i a la n de n e r g y g u a n g d o n gu n i v e r s i t yo ft e c h n o l o g y g u a n g z h o u ，g u a n g d o n g ，p r c h i n a 。5 1 0 0 0 6 摘要 摘要 液相脉冲沉积技术制备( t i ，a 1 ) c 金属陶瓷涂层作为一种新的表面技术，其研究 在国内外的报道中尚不多见。进行这一方面的研究对促进液相脉冲沉积技术的发展 和进步有理论和现实意义，同时亦可为多元陶瓷涂层制备技术的发展提供理论和参 考依据。 本文以金属t i 和a l 的粉末混合压结体作电极，采用液相脉冲放电沉积技术在 航空煤油中进行脉冲放电，在阴极基体4 5 # 钢表面制备了( t i ，a 1 ) c 金属陶瓷涂层。 用x 射线衍射仪分析了涂层的相结构；用s e m 观测了涂层表面形貌；用e d s 能谱分 析分析了涂层的成分变化。结果表明：涂层中主要物相为( t i ，a i ) c 。其厚度约为2 0 um 以上，表面硬度平均高达2 1 0 0 多h v ，为基体硬度的7 倍左右。 考察了放电参数对涂层硬度及厚度的影响。发现脉冲宽度和峰值电流是影响涂 层沉积的主要因素，在其它影响因素不变的条件下，在一定的电流或脉宽变化范围 内都存在一个硬度最大值。脉冲间隔和放电沉积时间对涂层的硬度影响较小。 对涂层进行了常温滑动摩擦磨损试验。结果表明：在本试验的条件下，涂层的 滑动摩擦系数较小。在几种不同的载荷下，涂层的i l 值均随时间增大，最终趋于稳 定值，且到达稳定磨损阶段后摩擦因数曲线波动小，这说明其摩擦因数比较稳定， 有较低的摩擦因数；涂层磨损形貌观察发现：涂层磨痕均为典型的平行犁沟状，表 明涂层的磨损机理为轻微磨粒磨损。同时本工作还对所制备的涂层进行了高温摩擦 磨损试验。结果表明：在试验温度不超过2 0 0 时，摩擦因数随温度的增加而增加， 当试验温度超过2 0 0 。c 以后，随着温度的升高，摩擦因数下降，涂层的失重规律与 摩擦因数的变化趋势是基本一致的。在试验温度不超2 0 0 时涂层的主要磨损机理 为磨粒磨损；2 0 0 以后，试样表面覆盖了氧化物磨屑，此时涂层的主要磨损机理为 氧化磨损和轻微磨粒磨损。 对涂层进行了高温氧化试验，结果表明，在经6 0 0 ，2 0 0 h 的保温，涂层表面 的产生了a l ：0 ，和t i o ：等氧化产物，其氧化增重明显比4 5 # 钢小，表现出优良的抗氧 化性能。 关键词：液相脉冲放电；陶瓷涂层；放电参数；滑动磨损；高温磨损；高温氧化 a b s t r a c t t 0t h eb e s to fo u rk n o w l e d g e ，f e wr e s e a r c ha b o u t ( t i ，a i ) cm u l t i - c o m p o n e n tm e t a l c e r a m i cc o a t i n g sf a b r i c a t e db yp u l s ed i s c h a r g ed e p o s i t i o ni nl i q u i d ，an o v e ls u r f a c e m o d i f i c a t i o nt e c h n o l o g y , h a v eb e e nr e p o r t e d t h er e s e a r c hi nt h i sf i e l di sv e r ys i g n i f i c a n t f r o mt h e o r e t i c a la n dp r a c t i c a lp e r s p e c t i v e ，p r o m o t i n gt h ed e v e l o p m e n ta n dp r o g r e s so f p u l s ed i s c h a r g ec o a t i n gi nl i q u i da n dp r o v i d i n gt h e o r e t i c a lb a s i sa n dr e f e r e n c e sf o rt h e d e v e l o p m e n to f t h i st e c h n o l o g y i nt h i sp a p e r ，( t i ，a 1 ) cm u l t i c o m p o n e n tm e t a lc e r a m i cc o a t i n g sw e r ed e p o s i t e do n 4 5 # s t e e ls u r f a c ew i t h i nk e r o s e n eb yt h et e c h n o l o g yo fp u l s ed i s c h a r g ed e p o s i t i o ni n l i q u i dw i t h t h et ia n da ic o m p o s i t ep o l e t h ep h a s es t r u c t u r e ，m o r p h o l o g i e s ，a n dt h e c o m p o s i t i o no f t h ec o a t i n gw e r ec h a r a c t e r i z e db yx r d ，s e m a n de d s ，r e s p e c t i v e l y t h e r e s u r ss h o wt h a tt h ec o a t i n gi sm a i n l yc o m p o s e do f ( t i ，a 1 ) cp h a s e w i t hat h i c k n e s so f m o r et h a n2 0 i _ t ma n daa v e r a g em i e r o h a r d n e s so fa b o v e2 10 0 h v , w h i c hi ss e v e nt i m e so f t h e4 5 # s t e e l t h ee f f e c to ft h ed i s c h a r g ep a r a m e t e r so nt h em i c r o h a r d n e s sa n dt h et h i c k n e s so f t h e c o a t 崦h a v eb e e nd i s c u s s e d ，f i n d i n gt h a tt h ep e a k c u r r e n ta n dp u l s eo n - t i m ea r et h e i m p o r t a n tp a r a m e t e r s t h e r ei sa m a x i m u mo fm i c r o h a r d n e s si nac e r t a i nr a n g eo ft h e p e a kc u r r e n ta n dp u l s eo n t i m eu n d e rt h es i t u a t i o n o f k e e p i n go t h e rp a r a m e t e r s u n c h a n g i n g ；h o w e v e r ，p u l s e i n t e r v a la n dt h ed u r a t i o nh a v e al i t t l ee f f e c to nt h e m i c r o h a r d n e s soft h ec o a t i n g f r i c t i o na n dw e a rt e s to f t h ea s p r e p a r e dc o a t i n g sw e r ei m p l e m e n t e da tr o o m t e m p e r a t u r ew h i c hi n d i c a t et h a tt h ea s p r e p a r e dc o a t i n g so w n al o wv a l u eo fs l i d i n g c o e m c i e n to ff r i c t i o n u n d e rv a r i o u sl o a d s ，t h ec o e f f i c i e n to f f r i c t i o no ft h ea s - p r e p a r e d c o a t i n g si n c r e a s e sa st h et i m eg ob ya tt h ef i r s ts t a g eo f w e a r ，b u ti tl e s s e n sa n ds t a b i l i z e s i i lt h es e c o n ds t a g eo fw e a r t h ew o r ns u r f a c e sw i t hs o m ep l o u g h e dg r o o v e ss h o wt h a t t h ew e a rm e c h a n i s mi sm i l da b r a s i v ew e a r i na d d i t i o n ，t h i sp a p e ra l s od e a l sw i t ht h e s l i d i n gw e a rb e h a v i o ro f t h ea s p r e p a r e dc o a t i n g sa te l e v a t e dt e m p e r a t u r ea n dt h er e s u r s i n d i c a t et h a tt h ec o e f f i c i e n to ff r i c t i o no f t h ea s - p r e p a r e dc o a t i n g si n c r e a s ea st h e n a b s t ra c t t e m p e r a t u r ei n c r e a s ew h e n i tb e l o w2 0 0 c ，h o w e v e r ，w h e ni te x c e e d2 0 0 。c ，t h e c o e f f i c i e n to ff r i c t i o no f t h ea s p r e p a r e dc o a t i n g sd e c r e a s ea st h et e m p e r a t u r ei n c r e a s e ， w h i c ha l s of i r ea p p r o v e db yt h el o wo f l o s i n gw e i g h t t h eo x i d et r a n s f e rl a y e rp l a y e da n i m p o r t a n tp a r ti nt h ec h a n g ei nw e a rm e c h a n i s m , a tl o w e rt e m p e r a t u r e ( b e l o w 2 0 0 ( 2 ) ，w e a rw a sd u et oa b r a s i v ew e a r ，a th i g h e rt e m p e r a t u r e ，t h es u r f a c eo f t h e a s p r e p a r e dc o a t i n gw a sc o v e r e dw i t ht h eo x i d et r a n s f e rl a y e ra n dw e a rw a sd u et o o x i d a t i o n a lw e a rc o m b i n e dw i t h m i l da b r a s i v ew e a r t h ec o a t i n g sw e r et e s t e dw i t hh i g ho x i d a t i o ne x p e r i m e n t a f t e rt h ed u r a t i o no f2 0 0 h o u r sa t6 0 0 c ，t h er e s u l t ss h o wt h a tt h ea s p r e p a r e dc o a t i n g sp r e s e n tb e t t e ro x i d a t i o n r e s i s t a n c et h a nt h ea s - r e s e r v e ds a m p l e ( 4 5 撑s t e e l ) o w n i n gt ot h eo x i d a t i o np r o d u c t so f t h e c e r a m i cc o a t i n gs u c h 嬲a 1 2 0 3 ，t i 0 2a n ds oo n k e y w o r d s ：p u l s ed i s c h a r g ei nl i q u i d ：c e r a m i cc o a t i n g ；e l e c t r i c a lp a r a m e t e r ；s l i d i n g f r i c t i o na n da b r a s i o n ；h i g ht e m p e r a t u r ef r i c t i o na n da b r a s i o n ；h i g ht e m p e r a t u r eo x i d a t i o n ! i i 目录 目录 摘要i i l b s t l 认c t 。i i l ；i 录 c o n t e n t s 第一章绪论。 v 1 1 研究意义一l 1 2 本课题的工作设想2 1 3 国内外研究状况4 1 3 1 单元金属陶瓷涂层的制备一4 1 3 2 多元金属陶瓷涂层的制备。5 1 3 3 制备涂层时不同液相介质的应用5 1 4 液相脉冲放电沉积技术的应用前景6 1 5 课题来源7 1 6 研究内容7 1 7 研究方法及技术路线7 1 8 创新与特色9 第二章( t i ，a l ) c 陶瓷涂层的制备1 0 2 1 液相脉冲放电原理1 0 2 2 电极的制备1 0 2 2 1 电极材料热学常数l o 2 2 2 电极的制备过程1 2 2 2 3 烧结电极的形貌及物相分析1 5 2 3 工作液的选择1 7 2 4 涂层的制备l8 v 广东工业大学硕士学位论文 2 4 1 试验设备1 8 2 4 2 影响沉积效率的因素1 9 2 5 涂层的形貌分析2 4 2 5 1 涂层的物相及表面成分分析2 4 2 5 2 涂层的硬度分析2 7 第三章( t i ，a l ) c 陶瓷涂层的摩擦磨损特性 2 8 3 1 引言2 8 3 2 常温滑动摩擦磨损特性2 8 3 2 1 试验设备2 8 3 2 2 磨损试样的制备2 9 3 2 3 试验步骤3 0 3 3 常温滑动磨损试验结果及分析3 0 3 3 1 涂层的摩擦学特性3 0 3 3 2 不同载筒下磨损特性3 l 3 3 3 涂层的磨损形貌3 5 3 4 高温摩擦磨损性能研究3 8 3 4 1 实验设备3 9 3 4 2 磨损试样的制备3 9 3 5 高温磨损试验结果及分析4 l 3 5 1 涂层的摩擦系数与温度的关系4 l 3 5 2 涂层在不同温度下的磨损特性4 2 3 5 3 涂层磨损形貌分析“ 第四章( t i ，a l ) c 陶瓷涂层的抗氧化性能4 8 4 1 引言4 8 4 2 实验方案4 8 4 3 高温氧化的形成机理分析4 9 4 3 1 金属氧化膜p b r 值及其保护性能4 9 4 3 2 氧化晶体学分析5 0 4 3 3 氧化动力学分析5 l v i 目录 4 4 氧化产物及形貌分析5 3 4 4 i 氧化产物的物相分析5 3 4 4 2 氧化后涂层表面及截面形貌分析5 7 4 4 3 氧化后涂层截面能谱分析5 8 结论 6 2 参考文献6 3 攻读硕士期间发表的论文 独创性声明 致谢 v i i 6 7 6 8 6 9 广东工业大学硕士学位论文 目目- _ _ _ | _ | = 自= 目= 自= e = l ! ! e = e 目| | l i i l _ _ 目e e ! ! ! = = 自= = = = = = 目= = ! ! 自自= 目自_ p i i - c o n t e n t s a b s t a c t i a b s t r a c t i i c o n t e n t s i v c o n t e n t s v i i c h a p t e r1i n t r o d u c t l 0 n 一1 1 1r e s e a r c hm e a n i n g 1 1 2t h ec o n c e p t i o no f t h es u b j e c t 2 1 3r e s e a r c hs i t u a t i o na th o m ea n do v e r s e a s 4 1 3 1t h ep r e p a r a t i o no f t h es i n g l e - e l e m e n tm e t a lc e r a m i cc o a t i n g 4 1 3 2t h ep r e p a r a t i o no f t h em u l t i e l e m e n tm e t a lc e r a m i cc o a t i n g 5 1 3 3t h ep r e p a r a t i o no f t h em e t a lc e r a m i cc o a t i n gi nd i f f e r e n c el i q u i d 5 1 4a p p l i c a t i o np r o s p e c t i v eo f p u l s ed i s c h a r g ed e p o s i t i o ni nl i q u i d 6 1 5t h es u p p o r t o ft h ep r o j e c t 7 1 6t h em a i nr e s e a r c hc o n t e n t s 7 1 7 t h er e s e a r c hm e t h o d sa n dt h er o u t e 7 1 8t h ei n n o v a t i o n sa n dc h a r a c t e r i s t i c 9 c h a p t e r2p r e p a r a t i o no ft h e ( t i ，a l ) cm u l t i p l ec e r a m i cc o a t i n g 1o 2 1t h ep r i n c i p lo fp u l s ed i s c h a r g ed e p o s i t i o ni nl i q u i d 1 0 2 2t h ep r e p a r a t i o no f t h ep o l e 1 0 2 2 1c a l o r i f i c sp h y s i c a lc o n s t a n to f t h ep o l e 1 0 2 2 2t h ep r e p a r a t i o np r o c e s so f t h ep o l e 1 2 2 2 3 t h em o r p h o l o g ya n dp h a s ea n a l y s i so f t h es i n t e r i n gp o l e 15 2 3t h ec h o o s i n go ft h ea c t u a t i n gl i q u i d 17 2 4t h ep r e p a r a t i o no f t h ec o a t i n g 18 2 4 1t e s te q u i p m e n t 1 8 v i i i c o n t e n t s 2 4 2i n f l u e n c i n gf a c t o r so f t h ec o a t i n g sd e p o s i t i o n 19 2 5t h em o r p h o l o g ya n a l y s i s o ft h ec o a t i n g , 2 4 2 5 1t h ep h a s ea n dc o m p o s i t i o na n a l y s i so ft h ec o a t i n g 2 4 2 5 2t h eh a r d n e s so ft h ec o a t i n g 2 7 c h a p t e r3r e s e a r c ho nf r i c t i o na n da b r a s i o np r o p e r t i e so ft h e ( t i ，a l ) cm u l t i p l ec e r a m i c c o a t i n g 2 8 3 1i n t r o d u c t i o n 2 8 3 2t h es l i d i n gf r i c t i o na n da b r a s i o np r o p e r t i e s 2 8 3 2 1t e s te q u i p m e r i t 2 8 3 2 2t h ep r e p a r a t i o no f t h e a b r a s i o ns a m p l e 2 9 3 2 3t e s tp r o c e d u r e 3 0 3 3t h er e s u l t sa n da n a l y s i s o ft h es l i d i n gf r i c t i o na n da b r a s i o n 3 0 3 3 1t h et r i b o l o g yp r o p e r t i e so f t h ec o a t i n g 3 0 3 3 2t h es l i d i n gp r o p e r t i e so f t h ec o a t i n gi nd i f f e r e n c el o a d 31 3 3 3t h ew e a l m o r p h o l o g yo f t h ec o t a i n g 。3 5 3 4r e s e a r c ho nh i g ht e m p e r a t u r ef r i c t i o na n da b r a s i o np r o p e r t i e so ft h e c o a t i n g , 3 8 3 4 1t e s te q u i p m e n t 3 9 3 4 2 i h ep r e p a r a t i o no f t h e a b r a s i o ns a m p l e 4 1 3 5t h er e s u l t sa n da n a l y s i s o fh i g ht e m p e ra t u r ef r i c t i o na n da b r a s i o n 4 1 3 5 1t h eh i g ht e m p e r a t u r et r i b o l o g yp r o p e r t i e so f t h ec o a t i n g 4 1 3 5 2t 1 l cp r o p e r t i e so f t h ec o a t i n gi nd i f f e r e n c et e m p e r a t u r e 4 2 3 5 。3t l l cw e a l m o r p h o l o g yo f t h ec o t a i n g 。4 4 c h a p t e r4r e s e a r c ho na n t i 0 x i d a t i o no ft h e ( t i ，a l ) cm u i t i p l e c e r a m i cc o a t i n g 4 8 4 1i n t r o d u c t i o n 4 8 4 2t e s ts c h e m e 4 8 4 3 r e s e a r c ho nm e c h a n i c so f o x i d a t i o ni nh i g h t e m p e r a t i7 r e 4 9 4 3 1t h ep b ra n dp r o t e c t i o np e r f o r m a n c eo ft h em e t a lo x i d a t i o nm e m b r a n c e 4 9 l x 广东工业大学硕士学位论文 4 3 2t h ec r y s t a lg r a p h i ca n a l y s i so f o x i d a t i o n 5 0 4 3 3t h ed y n a m i ca n a l y s i so fo x i d a t i o n ”51 4 4t h er e s u l t sa n da n a l y s i s o fo x i d a t i o n 5 3 4 4 1t h ep h a s ea n a l y s i so f o x i d a t i o n 5 3 4 4 2t h em o r p h o l o g ya n a l y s i so f o x i d a t i o n ”5 7 4 4 3t h ee n e r g ys p e c t r u ma n a l y s i so f o x i d a t i o ni nc r o s s - s e c t i o n 5 8 c o n c l u s i o n s 6 2 r e f e r r e n c e s 6 3 t h ep a p e rp u b l i s h e dd u r i n gt h ec o u r s eo fs t u d y 6 7 m yd e c l a r a t i o n 6 8 a c k n o w l e g e m e n t s 6 9 x 第一章绪论 1 1 研究意义 第一章绪论 随着高新技术的不断发展，工程机械、设备及构件的工作条件日益苛刻，以致 于单纯的金属材料已不能满足使用要求，因此在金属表面制备高性能陶瓷涂层的方 法越来越多地受到人们的重视，世界各国对陶瓷涂层制备技术、性能和应用进行了 大量的研究 i - 4 1 。利用各种等离子技术所制备的t i - n 或t i _ c 单一金属陶瓷涂层虽然 具有较高的硬度、耐磨性和耐蚀性，但由于涂层自身的一些不足使得它们的应用受 到了一定程度的限制。因此，关于制备二元或多元系硬质金属陶瓷涂层的研究同趋 活跃i s - 9 1 ，如t i ( c ，n ) ，( t i ，a 1 ) n 、( t i ，c r ) n 、( t i ，z r ) n 和( t i ，f e ，c r ) n 等一些多元 合金涂层，它们比t i - n 或t i - c 单一金属陶瓷涂层具有更好的性能，如更高的硬度 与强度，更优良的耐磨性、抗氧化性，更高的膜基结合力等，因而展现出更宽广的 应用前景。必须指出的是，目前多元涂层的制备方法主要以p v d ( 物理气相沉积) 和c v d ( 化学气相沉积) 方法为主，这些方法虽然具有一些不可取代的优点，但也 存在如下明显的不足之处： 制备温度偏高，超过冷作模具钢的回火温度，少数情况超过高速钢的回火温度。 涂层厚度范围窄，一般 z 、- ， 倒 酪 霜 睁 g 啮 熊 加工效率 图2 8 涂层平均硬度与脉冲间隔关系 f i g u r e2 - 8 t h er e l a t i o n s h i pb e t w e e np u l s eo f f - t i m ea n dh a r d n e s s 图2 8 是加工效率与涂层硬度的关系。从图中可以看出，涂层硬度随加工效率 变化不大，这是因为涂层硬度大小主要取决于单个脉冲能量大小，而脉冲间隔与脉 冲能量无关，加工效率即脉冲间隔与脉冲周期的比值。在放电过程中观察发现，在 加工效率低于2 0 条件下，会发现放电剧烈，甚至会有拉弧现象的发生，沉积后的 工件表面粗糙，电极表面有比较大的凹坑，而且出现黑点：这是因为停歇时间过短， 脉冲放电时产生的热量来不及扩散开，消电离过程不充分而产生了局部过热。当加 工效率增加到3 0 后脉冲放电转为正常。其中当加工效率在5 0 左右时，沉积较稳定， 获得的涂层质量较好。当加工效率增大时，脉冲放电逐渐微弱，沉积速度明显减慢， 相同放电时间内沉积在工件表面的涂层面积较小。但硬度并无明显变化，是因为涂 广东工业大学硕士学位论文 层的硬度主要取决与单个脉冲能量的大小，与其停歇时间无关。为了获得较好的涂 层质量，在选择脉冲间隔时应该适中，才能达到最佳的液相放电沉积效果。 2 4 4 4 放电时间的影响 放电时间对涂层表面的硬度性能影响不大，厚度会随着时间的增加而增加。当 一定时间后，厚度的基本变化也不会太大口引。对硬度基本无影响，这是因为放电时 间大小与脉冲能量无关，因此放电时间的大小对涂层硬度无关。 经过上述试验分析，得到一组较佳的沉积工艺参数( 其中空载电压8 0 v 、放电间隙5 0 i im ，沉积时间2 0 m i n ) ，如表2 - 6 所示，并以这组参数制备( t i ，a 1 ) c 陶瓷涂层，对 其进行摩擦学性能、高温氧化性能考察。 表2 - 6 涂层的工艺参数 t a b l e2 - 6t h ep r o c e s sp a r a m e t e r so ft h ec o a t i n g 2 5 涂层的形貌分析 2 5 1 涂层的物相及表面成分分析 按上述工艺进行试验，基体材料为4 5 钢，所制备的涂层组织如图2 - 1 0 所示， 对涂层进行清洗后进行x r d 分析。经过寻峰分析结果见图2 9 ，涂层中主要含( t i ，a 1 ) c 、此外，还含少量f e 3 c 、t i 3 a 1 c 2 。 第二章( t i ，a 1 ) c 陶瓷涂层的制备 图2 9 涂层的x 射线衍射图谱 f i g u r e2 - 9x - r a yd i f f r a c t i o no ft h el a y e ri ns u r f a c e 在脉冲放电过程中，当液相介质煤油被击穿形成放电通道时，离子束流冲击基 体表面产生大量的热量，导致基体表面温度升高从而产生一个微小熔池，从阳极材 料中刻蚀出来的t i 、a l 原子在这一微熔池中会与煤油中电离所产生的游离碳及4 5 。 钢中的f e 元素发生冶金反应，形成( t i ，a 1 ) c 及少量其他化合物。对试样截面进 行扫描电镜观察与能谱分析，结果如图2 1 0 及表2 - 7 所示，a 图为基体，b 图为涂层 过渡区，c 图为涂层。涂层表面含t i 、a l 较多，有少量的f e 元素分布，说明在沉 积过程中f e 原子通过扩散进入了涂层，这是因为在沉积过程中产生了f e 原子的熔 渗。过渡区t i 、a l 元素相对减少，f e 元素增多。由于是冶金结合，也从图2 - 1 l 可 见，涂层与基体结合致密，无明显孔洞与疏松存在。由截面的元素分析可知，t i 、 a 1 由表面到基体逐渐递减。 图2 1 0 试样截面扫描电镜图像 f i g u r e2 1 0s e mm i c r o g r a p ho fs a m p l ei nc r o s s 。s e c t i o n 表2 7 涂层中元素的含量 t a b l e2 7t h ep e r c e n t a g ec o n t e n to fe l e m e n t si nt h ec o a t i n g 各点元素重 t ika lk 量百分比( ) a 点( 基体) b 点( 过渡层) 1 0 1 8 0 5 5 c 点( 涂层) 2 0 4 70 6 8 表面 3 8 6 12 3 2 第二章( t i ，a 1 ) c 陶瓷涂层的制备 彗 _ 一 翅 裂 零 图2 1 1 涂层的硬度分布曲线 f i g u r e2 1 lt h ev a r i a n c eo f h a r d n e s sw i t ht h ed e p t h 2 5 2 涂层的硬度分析 本试验采用l d v k - h 3 型超微负荷显微硬度计及其图像采集系统观察涂层测定硬 度随厚