（材料物理与化学专业论文）快速热处理对掺锗直拉单晶硅的影响.pdf

浙江大学研究生学位论文独创性声明 f pjlllli ii iiijii i ij11j iii i i p i p r li l l 1y 18 9 3 6 5 5 本人声明所呈交的学位论文是奉人在导师指导下进jj j 的研究：l ：作及取得的 研究成果。除了文中特别加以标注和致 勇 的地方外，论文中不包含其他人已经发 表或撰写过的研究成果，也不包含为获得逝姿盘鲎或其他教育机构的学位或 证怕而使用过的材料。与我一l r 4 工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在沦文 中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名：爿。席垮 签字同期： u 1 t 年月7r 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 逝婆盘鲎有权保留并向刚家有关部门或机 构送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授卡义逝婆盘鲎 可以将学位论文的全翔j 或部分内窬编入有关数据库进行检索和传播，可以采州影 印、缩印或扫拙等复制手段保存、汇编学位论文。 ( 保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学f 移论文作者签名：- a 廊待 导帅签私： 签字同期： 芦，年月7 日签字同期：d f 7 r 本文受 国家自然科学基金( 5 0 8 3 2 0 0 6 和6 0 9 0 6 0 0 1 ) 9 7 3 项目“硅基发光材料与光互连的基础研究 ( 2 0 0 7 c b1 3 0 4 0 3 ) 资助 浙江大学硕士学位论文致谢 致谢 在本文即将完成之际，我首先要感谢阙端麟院士、杨德仁教授和马向阳教授 的指导和帮助。他们严谨的科研态度，踏实的工作作风，广博的专业涵养，对科 学事业的奉献精神以及宽和诚挚、平易近人的长者风范都一直深深地感动并影响 着我，这将使我终生受益。 我还要特别感谢陈加和师兄，论文的顺利完成离不开加和师兄的具体的指导 和帮助。加和师兄严谨细致、一丝不苟的学风，孜孜不倦的求知、求真精神，对 工作的热忱、对事业的热爱都是值得我学习的。从课题的选择到论文的最终完成， 加和师兄始终给予我悉心的指导。每当遇到困难，不管他是在国内还是国外，都 会认真的指导帮助我，使我能尽快的解决问题。在此，我谨向加和师兄表达我最 诚挚的感谢和敬意。 感谢皮孝东老师在英文论文写作上给予我的帮助，没有他的辛勤付出，我的 论文就不会这么快的接收。 同时感谢汪雷，李东升，余学功，樊瑞新和欧海英老师在实验、学习和生活 中给予的帮助和支持。 感谢曾俞衡师兄和曾徵丹师姐在实验上给予我的建议和指导；感谢王朋师兄 和陈炳地师兄在我来浙大面试时生活上的帮助；感谢朱伟江、林丽霞、王彪、张 新鹏和徐吴兵在实验上的帮助；感谢我的室友陈翼、肖云清和朱伟江以及张绪武、 周冰、田野、金璐在生活上的帮助；感谢实验室的师兄、师姐、同学、师弟和师 妹们。和他们在一起学习和生活的三年时光虽然短暂但却美好，令我终身难忘。 我衷心的祝愿他们前程似锦、平安幸福。 最后，我要感谢我的父母。这么多年来，他们为我的成长费尽了心血，我的 每一次进步都离不开他们的关心和支持。我会努力报答他们的养育之恩。 感谢关心、支持和帮助过我的每一个人! 武鹏 2 0 1 0 年5 月于求是园 浙江大学硕士学位论文摘要 摘要 集成电路特征线宽的不断减小对直拉单晶硅片中的缺陷控制和内吸杂技术 提出了愈来愈高的要求。随着磁控拉晶技术的应用，硅中的氧含量越来越低。同 时现在的集成电路多应用超浅结，其制造工艺的热预算显著降低，这两方面多不 利用硅片中的氧沉淀的形成，从而使传统的内吸杂工艺受到了挑战。另一方面， 由于单晶硅片直径的变大，集成电路工艺对硅片的机械强度提出了更高的要求。 在这种情况下，掺锗直拉单晶硅由于其优异的性能以及基于快速热处理( r t a ) 引入大量空位的魔幻洁净区工艺受到越来越多的关注。但到目前为止，快速热处 理对掺锗直拉单晶硅片的影响的研究还很少，对其影响机理尚不清楚。 本文系统的研究了快速热处理对掺锗直拉单晶硅的少子寿命以及氧沉淀行 为的影响。其主要结果如下： ( 1 ) 研究了快速热处理对微量掺锗直拉单晶硅的少子寿命的影响。研究发现 快速热处理会明显降低掺锗直拉单晶硅中的少子寿命，并随着热处理温度的上 升，少子寿命快速下降。通过研究发现，这种现象与快速热处理时的光照和高温 热处理是引入的缺陷有关。 ( 2 ) 研究了空位对掺锗直拉单晶硅氧沉淀行为的影响。研究发现，在空位大 量存在时，硅片的最佳形核温度为7 5 0 0 c 8 5 0 0 c 。当形核温度低于7 5 0 0 c 或高于 1 0 5 0 0 c 时，锗可以促进硅片中的氧沉淀的生成，当形核温度在8 5 0 0 c 9 5 0 0 c 时， 锗反而抑制了氧沉淀的形核。我们认为这与g c z 硅片中v - o 复合体和锗杂质的 反应有关，通过研究进一步揭示了空位影响掺锗单晶硅中氧沉淀行为的机理。同 时实验表明相比与低高两步热处理，线性升温和高温热处理结合产生的氧沉淀 量更多。 ( 3 ) 研究了快速热处理条件对掺锗直拉硅内吸杂的影响。研究表明，在 1 2 0 0 。c 以上进行快速热处理时，硅片具有较高的体缺陷密度和一定的洁净区宽 度。在氮气气氛下处理时，由于会向硅片体内注入大量的空位，使得硅片近表面 无洁净区产生，不适用于内吸杂。 ( 4 ) 研究了常规热处理方式和快速热处理方式对重掺锗外延硅片的内吸杂 i i i 浙江大学硕士学位论文 摘要 的影响。研究发现，重掺硅片在8 0 0 。c 4 h + 1 0 0 0 。c 1 6 h 退火后会产生严重的氧沉 淀延迟效应。当氧沉淀的延迟效应消失后，单步高温快速热处理可以明显促进氧 沉淀的形成。 关键词：快速热处理，掺锗直拉单晶硅，少子寿命，氧沉淀，内吸杂 i v 浙江大学硕士学位论文a b 删 a b s t r a c t t h ee v e r - s m a l l e rf e a t u r es i z eo fi n t e g r a t e dc i r c u i ti m p o s e so n i n c r e a s i n g l y s t r i n g e n tr e q u i r e m e n t so nt h ed e f e c tc o n t r o la n di n t e r n a lg e t t e r i n g ( i g ) c a p a b i l i t yo f c z o c h r a l s k i ( c z ) s i l i c o nw a f e r s f o rt h el a r g e rd i a m e t e rc zs i l i c o nw a f e r s ，t h e o x y g e nc o n c e n t r a t i o ni sr e d u c e dt oac e r t a i ne x t e n t m o r e o v e r , t h et h e r m a lb u d g e tf o r t h e m a n u f a c t u r i n g o f c o n t e m p o r a r y i c f e a t u r i n gs u p e r - s h a l l o wj u n c t i o n i s s i g n i f i c a n t l yl o w e r e d t h et w or e g a r d sa sm e n t i o n e da b o v ea r en o tf a v o r a b l ef o r o x y g e np r e c i p i t a t i o na n dt h e r e f o r et h ei n t e r n a lg e r e r i n g ( i g ) c a p a b i l i t yf o rc zs i l i c o n w a f e r ss ot h a tt h et r a d i t i o n a li gp r o c e s si sc h a l l e n g e d o nt h eo t h e rh a n d ，t h el a r g e r d i a m e t e rc zs i l i c o nw a f e r si m p o s e so ni n c r e a s i n g l yr e q u i r e m e n t so nt h em e c h a n i c a l p r o p e r t i e s u n d e rt h ec i r c u m s t a n c e ，t h eg e r m a n i u m d o p e dc z ( g c z ) s i l i c o nh a sb e e n g o r e nm o r ea t t e n t i o nd u et oi t sn o v e lp r o p e r t i e s a tt h es a m et i m e ，i gp r o c e s sb a s e d o nt h ev a c a n c yi n t r o d u c e db yr a p i dt h e r m a la n n e a l i n g ( r t a ) a l s og e t sm o r ea t t e n t i o n s b u tu n t i ln o w , t h e r ea r ef e wi n v e s t i g a t i o ni nt h ee f f e c to fr t ao nt h eg c zs i l i c o n , a n d t h em e c h a n i s mf o rt h ee f f e c to fv a c a n c i e so no x y g e np r e c i p i t a t i o ni ng c zs i l i c o n n e e d st ob ef u r t h e rs t u d i e d i nt h i sd i s s e r t a t i o n , t h em i n o r i t yc a r t i e rl i f e t i m ea n dt h eo x y g e np r e c i p i t a t i o n b e h a v i o ri ng e r m a n i u md o p e dc zs i l i c o n m o r e o v e r , t h em e c h a n i s m sf o rt h ee f f e c to f g e r m a n i u ma n dv a c a n c y o n o x y g e np r e c i p i t a t i o nh a v er e a s o n a b l ye x p l o i t e d f u r t h e r m o r e ，t h ee f f e c to fr t ap r e t r e a t m e n to nt h ei gp r o c e s si ng c zs i l i c o nw a f e r s h a sb e e nd i s c u s s e d l i s t e db e l o wa r et h em o s ti m p o r t a n tr e s u l t sa c h i e v e di nt h i sw o r k ( 1 ) t h ee f f e c to fr t a o nt h em i n o r i t yc a r r i e rl i f e t i m ei ng c zs i l i c o nh a sb e e n i n v e s t i g a t e d i ti sf o u n dt h em i n o r i t yc a r t i e rl i f e t i m ei ng c zs i l i c o ni s s t r o n g l y r e d u c e db yr t at r e a t m e n t ，a n dw i t hi n c r e a s i n gt e m p e r a t u r e ，t h em i n o r i t yc a r r i e r l i f e t i m er e d u c e d q u i c k l y t h i si n d i c a t e st h a tt h i sr e d u c t i o ni sd u et oc r y s t a ld e f e c t sa n d t h es t r o n gl i g h tr a d i a l i z a t i o ni n d u c e dd u r i n gt h er t a s t e p ( 2 ) t h ee f f e c to fv a c a n c i e si n t r o d u c e db yr t ao nt h eo x y g e np r e c i p i t a t i o ni n v 浙江大学硕士学位论文 a b s t r a e t g c zs i l i c o nh a sb e e ni n v e s t i g a t e d i ti so b s e r v e dt h a tt h er t a i n d u c e dv a c a n c i e si n g c zs i l i c o ne n h a n c e dt h en u c l e a t i o nf o ro x y g e np r e c i p i t a t i o nm o s ts i g n i f i c a n t l ya t 7 5 0t o8 5 0o c t h eo x y g e np r e c i p i t a t i o ni ns i l i c o ni se n h a n c e db yb o t ht h ev a c a n c i e s i n t r o d u c e dd u r i n gr t ap r e t r e a t m e n ta n dt h ed o p i n go fg e r m a n i u m e s p e c i a l l y , w e f r e dt h a tt h ee n h a n c e m e n te f f e c to fv a c a n c i e so nt h ep r e c i p i t a t i o no fo x y g e ni sl a r g e r t h a nt h a to fg e r m a n i u ma t o m s m o r e o v e r , i ti sf o u n dt h a to x y g e np r e c i p i t a t i o nc o u l d b ee n h a n c e dw h e nt h en u c l e a t i n gt e m p e r a t u r ei sb e t w e e n6 5 0a n d7 5 0o co rh i g h e r t h a n10 5 0o c o x y g e np r e c i p i t a t i o ni ss u p p r e s s e dw h e nt h en u c l e a t i n gt e m p e r a t u r ei s i nt h er a n g ef r o m8 5 0t o9 5 0o c w es u g g e s tt h a tt h e s ep h e n o m e n ah a v er e l a t i o nt ot h e r e a c t i o nb e t w e e ng e r m a n i u ma t o m sa n dv a c a n c yc o m p l e x e s t h em e c h a n i s mf o rt h e i n t e r a c t i o nb e t w e e nv a c a n c i e sa n dg e r m a n i u ma t o m si nc zs i l i c o ni se l u c i d a t e d ( 3 ) t h ei n f l u e n c e so ft h er t ap r e t r e a t m e n to i lt h ei ga b i l i t yi ng c zs i l i c o nh a v e b e e ni n v e s t i g a t e d i ti sf o u n dt h a tt h e r ea r eh i g hd e n s i t yo f b u l km i c r o d e f e c t s ( b m d s ) a n dt h ea p p r o p r i a t ew i d t ho fd zz o n ew h e nt h er t at e m p e r a t u r ei sh i g h e rt h a n12 0 0 o c w h e nr t au n d e rn 2a m b i e n t ，t h ev a c a n c i e sc a n 竭e c t e dt ot h ew a f e rb u l kf r o m s u r f a c e s o t h ed zz o n ec o u l dn o tc r e a t eb e n e a t ht h es u r f a c e ( 4 ) t h ei gp r o c e s s e sf o re x t e n s i o nh e a v yg e r m a n i u m - d o p i n g ( h g c z ) s i l i c o n w a f e rb a s e do nt h ec o n v e n t i o n a lf u r n a c ea n n e a l ( c f a ) a n dr a p i dt h e r m a la n n e a l ( r t a ) h a v eb e e nd e v e l o p e d i ti sf o u n dt h a tt h eo x y g e np r e c i p i t a t i o ni nh g c zs i l i c o nw o u l d b ed e l a y e da f t e rt h ea n n e a l i n g8 0 0 0 c 4 h + 10 0 0 0 c 16 hw i t hr t a p r e t r e a t m e n t w h e n t h e “d e l a ye f f e c t d i s a p p e a r s ，o n e - s t e pr t a c a l le n h a n c et h eo x y g e np r e c i p i t a t i o n s t r o n g l y k e yw o r d s ：r a p i dt h e r m a la n n e a l i n g ，g e r m a n i u md o p e dc z o c h r a l s k is i l i c o n , m i n o r i t y c a r r i e rl i f e t i m e ，o x y g e np r e c i p i t a t i o n ，i n t e r n a lg e t t e r i n g v i 浙江大学硕士学位论文目录 目录 致谢一i 摘要。i i i a b s t r a c t v 第1 章前言1 1 1 研究背景和意义1 1 2 本研究的目的和文章的结构一2 第2 章文献综述4 2 1 引言4 2 2 硅中的氧4 2 2 1 氧的引入5 2 2 2 氧的基本性质6 2 2 3 氧的测量7 2 2 4 氧的扩散一8 2 3 硅中的氧沉淀9 2 3 1 氧热施主lo 2 - 3 2 氧沉淀的形成1 1 2 3 3 氧沉淀形成的影响因素1 3 2 3 4 氧沉淀的形貌和结构1 5 2 4 硅中的空位17 2 4 1 空位的基本性质17 2 4 2 空位的引入1 8 2 4 2 空位复合体2 0 2 4 3 空位对氧沉淀的影响2 2 2 5 掺锗单晶硅2 3 2 6 单晶硅的内吸杂技术2 5 2 6 1 高低高内吸杂工艺2 5 2 6 2 低高内吸杂工艺2 7 2 6 3 基于r a m p i n g 处理的内吸杂工艺2 7 v i i 浙江大学硕士学位论文目录 2 6 4m d z 内吸杂工艺2 8 第3 章实验设备与样品准备2 9 3 1 热处理设备2 9 3 1 1 常规热处理炉2 9 3 1 2 快速热处理炉。2 9 3 2 主要测试方法和测试设备3 0 3 2 1 硅中间隙氧浓度的测试和氧沉淀的表征3 0 3 2 2 体缺陷密度的测试3 1 3 2 3 电学性能的测试3 1 3 3 样品准备31 第4 章快速热处理对掺锗直拉单晶硅电学性能的影响3 3 4 1 引言3 3 4 2 实验。3 4 4 3 实验结果与讨论3 4 4 3 1 快速热处理温度对少子寿命的影响3 4 4 3 2 快速热处理时间对少子寿命的影响3 5 4 3 3 光照对少子寿命的影响3 6 4 3 4 锗杂质对直拉单晶硅中少子寿命的影响3 7 4 4 小结3 7 第5 章空位对掺锗直拉单晶硅中氧沉淀行为的影响3 8 5 1 引言。3 8 5 2 实验3 8 5 2 1 研究线性升温及低温形核温度对氧沉淀行为影响的实验方案3 9 5 2 2 研究形核时间对氧沉淀行为影响的实验方案4 0 5 3 实验结果与讨论4 1 5 3 1 线性升温对氧沉淀行为的影响4 1 5 3 2 低温形核温度对氧沉淀行为的影响4 5 5 3 3 形核时间对氧沉淀行为的影响4 9 5 3 4 锗和空位复合体的反应5 1 v i i i 浙江大学硕士学位论文目录 5 4 小结5 3 第6 章快速热处理对掺锗直拉单晶硅内吸杂行为的影响5 4 6 1 引言5 4 6 2 实验5 4 6 2 1 实验样品5 4 6 2 2 实验方案5 5 6 - 3 实验结果与讨论5 6 6 3 1 快速热处理温度对硅片内吸杂的影响5 6 6 3 2 快速热处理气氛对硅片内吸杂的影响5 7 6 3 3 快速热处理时间对硅片内吸杂的影响5 9 6 3 4 快速热处理降温速率对硅片内吸杂的影响6 0 6 4 小结6 2 第7 章不同热处理方式对外延重掺锗样品中内吸杂行为的影响6 3 7 1 引言6 3 7 2 实验6 3 7 3 实验结果及讨论6 4 7 3 1 不同热处理方式对外延重掺硅片内吸杂行为的影响6 4 7 3 2 外延前不同热处理方式对重掺硅片内吸杂行为的影响6 7 7 4 小结。7 0 第8 章全文总结7 1 参考文献7 3 硕士期间发表的论文。8 1 i x 浙江大学硕士学位论文摘要 摘要 集成电路特征线宽的不断减小对直拉单晶硅片中的缺陷控制和内吸杂技术 提出了愈来愈高的要求。随着磁控拉晶技术的应用，硅中的氧含量越来越低。同 时现在的集成电路多应用超浅结，其制造工艺的热预算显著降低，这两方面多不 利用硅片中的氧沉淀的形成，从而使传统的内吸杂工艺受到了挑战。另一方面， 由于单晶硅片直径的变大，集成电路工艺对硅片的机械强度提出了更高的要求。 在这种情况下，掺锗直拉单晶硅由于其优异的性能以及基于快速热处理( r t a ) 引入大量空位的魔幻洁净区工艺受到越来越多的关注。但到目前为止，快速热处 理对掺锗直拉单晶硅片的影响的研究还很少，对其影响机理尚不清楚。 本文系统的研究了快速热处理对掺锗直拉单晶硅的少子寿命以及氧沉淀行 为的影响。其主要结果如下： ( 1 ) 研究了快速热处理对微量掺锗直拉单晶硅的少子寿命的影响。研究发现 快速热处理会明显降低掺锗直拉单晶硅中的少子寿命，并随着热处理温度的上 升，少子寿命快速下降。通过研究发现，这种现象与快速热处理时的光照和高温 热处理是引入的缺陷有关。 ( 2 ) 研究了空位对掺锗直拉单晶硅氧沉淀行为的影响。研究发现，在空位大 量存在时，硅片的最佳形核温度为7 5 0 0 c 8 5 0 0 c 。当形核温度低于7 5 0 0 c 或高于 1 0 5 0 0 c 时，锗可以促进硅片中的氧沉淀的生成，当形核温度在8 5 0 0 c 9 5 0 0 c 时， 锗反而抑制了氧沉淀的形核。我们认为这与g c z 硅片中v - o 复合体和锗杂质的 反应有关，通过研究进一步揭示了空位影响掺锗单晶硅中氧沉淀行为的机理。同 时实验表明相比与低高两步热处理，线性升温和高温热处理结合产生的氧沉淀 量更多。 ( 3 ) 研究了快速热处理条件对掺锗直拉硅内吸杂的影响。研究表明，在 1 2 0 0 0 c 以上进行快速热处理时，硅片具有较高的体缺陷密度和一定的洁净区宽 度。在氮气气氛下处理时，由于会向硅片体内注入大量的空位，使得硅片近表面 无洁净区产生，不适用于内吸杂。 ( 4 ) 研究了常规热处理方式和快速热处理方式对重掺锗外延硅片的内吸杂 i i i 浙江大学硕士学位论文摘要 的影响。研究发现，重掺硅片在8 0 0 c 4 h + 1 0 0 0 c 1 6 h 退火后会产生严重的氧沉 淀延迟效应。当氧沉淀的延迟效应消失后，单步高温快速热处理可以明显促进氧 沉淀的形成。 关键词：快速热处理，掺锗直拉单晶硅，少子寿命，氧沉淀，内吸杂 i v 浙江大学硕士学位论文a b s t 棚 a b s t r a c t t h ee v e r - s m a l l e rf e a t u r es i z eo fi n t e g r a t e dc i r c u i ti m p o s e so ni n c r e a s i n g l y s t r i n g e n tr e q u i r e m e n t so nt h ed e f e c tc o n t r o la n di n t e r n a lg e t t e r i n g ( i g ) c a p a b i l i t yo f c z o c h r a l s k i ( c z ) s i l i c o nw a f e r s f o rt h el a r g e rd i a m e t e rc zs i l i c o nw a f e r s ，t h e o x y g e nc o n c e n t r a t i o ni sr e d u c e dt oac e r t a i ne x t e n t m o r e o v e r , t h et h e r m a lb u d g e tf o r t h e m a n u f a c t u r i n g o f c o n t e m p o r a r y i c f e a t u r i n gs u p e r - s h a l l o wj u n c t i o n i s s i g n i f i c a n t l yl o w e r e d t h et w or e g a r d s 嬲m e n t i o n e da b o v ea r en o tf a v o r a b l ef o r o x y g e np r e c i p i t a t i o na n dt h e r e f o r et h ei n t e m a lg e t t e r i n g ( i g ) c a p a b i l i t yf o rc zs i l i c o n w a f e r ss ot h a tt h et r a d i t i o n a li gp r o c e s si sc h a l l e n g e d o nt h eo t h e rh a n d ，t h el a r g e r d i a m e t e rc zs i l i c o nw a f e r si m p o s e so ni n c r e a s i n g l yr e q u i r e m e n t so nt h em e c h a n i c a l p r o p e r t i e s u n d e rt h ec i r c u m s t a n c e ，t h eg e r m a n i u m - d o p e dc z ( g c z ) s i l i c o nh a sb e e n g o t t e nm o r ea t t e n t i o nd u et oi t sn o v e lp r o p e r t i e s a tt h es a m et i m e ，i gp r o c e s sb a s e d o nt h ev a c a n c yi n t r o d u c e db yr a p i dt h e r m a la n n e a l i n g ( r t a ) a l s og e t sm o r ea t t e n t i o n s b u tu n t i ln o w , t h e r ea r ef e wi n v e s t i g a t i o ni nt h ee f f e c to fr t ao nt h eg c z s i l i c o n ，a n d t h em e c h a n i s mf o rt h ee f f e c to fv a c a n c i e so no x y g e np r e c i p i t a t i o ni ng c zs i l i c o n n e e d st ob ef u r t h e rs t u d i e d i nt h i sd i s s e r t a t i o n , t h em i n o r i t yc a r r i e rl i f e t i m ea n dt h eo x y g e np r e c i p i t a t i o n b e h a v i o ri ng e r m a n i u md o p e dc zs i l i c o n m o r e o v e r , t h em e c h a n i s m sf o rt h ee f f e c to f g e r m a n i u ma n dv a c a n c yo no x y g e np r e c i p i t a t i o nh a v er e a s o n a b l y e x p l o i t e d f u r t h e r m o r e ，t h ee f f e c to fr t ap r e t r e a t m e n to nt h ei gp r o c e s si ng c zs i l i c o nw a f e r s h a sb e e nd i s c u s s e d l i s t e db e l o wa r et h em o s ti m p o r t a n tr e s u l t sa c h i e v e di nt h i sw o r k ( 1 ) t h ee f f e c to fr t a o nt h em i n o r i t yc a r r i e rl i f e t i m ei ng c zs i l i c o nh a sb e e n i n v e s t i g a t e d i ti sf o u n dt h em i n o r i t yc a r r i e rl i f e t i m ei ng c zs i l i c o ni s s t r o n g l y r e d u c e db yr t at r e a t m e n t ，a n dw i t hi n c r e a s i n gt e m p e r a t u r e ，t h em i n o r i t yc a r r i e r l i f e t i m er e d u c e dq u i c k l y t h i si n d i c a t e st h a tt h i sr e d u c t i o ni sd u et oc r y s t a ld e f e c t sa n d t h es t r o n gl i g h tr a d i a l i z a t i o ni n d u c e dd u r i n gt h er t a s t e p ( 2 ) t h ee f f e c to fv a c a n c i e si n t r o d u c e db yr t ao nt h eo x y g e np r e c i p i t a t i o ni n v 浙江大学硕士学位论文a b s t r a c t g c zs i l i c o nh a sb e e ni n v e s t i g a t e d i ti so b s e r v e dt h a tt h er t a - i n d u c e dv a c a n c i e si n g c zs i l i c o ne n h a n c e dt h en u c l e a t i o nf o ro x y g e np r e c i p i t a t i o nm o s ts i g n i f i c a n t l ya t 7 5 0t o8 5 0o c t h eo x y g e np r e c i p i t a t i o ni ns i l i c o ni se n h a n c e db yb o t ht h ev a c a n c i e s i n t r o d u c e dd u r i n gr t ap r e t r e a t m e n ta n dt h ed o p i n go fg e r m a n i u m e s p e c i a l l y , w e f i n dt h a tt h ee n h a n c e m e n te f f e c to fv a c a n c i e so nt h ep r e c i p i t a t i o no fo x y g e ni sl a r g e r t h a nt h a to fg e r m a n i u ma t o m s m o r e o v e r , i ti sf o u n dt h a to x y g e np r e c i p i t a t i o nc o u l d b ee n h a n c e dw h e nt h en u c l e a t i n gt e m p e r a t u r ei sb e t w e e n6 5 0a n d7 5 0o co rh i g h e r t h a n10 5 0 。c o x y g e np r e c i p i t a t i o ni ss u p p r e s s e dw h e nt h en u c l e a t i n gt e m p e r a t u r ei s i nt h er a n g ef r o m8 5 0t o9 5 0o c w es u g g e s tt h a tt h e s ep h e n o m e n ah a v er e l a t i o nt ot h e r e a c t i o nb e t w e e ng e r m a n i u ma t o m sa n dv a c a n c yc o m p l e x e s t h em e c h a n i s mf o rt h e i n t e r a c t i o nb e t w e e nv a c a n c i e sa n dg e r m a n i u ma t o m si nc zs i l i c o ni se l u c i d a t e d (