（材料加工工程专业论文）钨、钼、碳三元共渗等离子表面冶金低合金高速钢的研究.pdf

巡坠型堡兰望：竺竺 摘要 高速钢是机械加工中经常使，| 二 j 的一种工具材料。近年来世界高 速钢的产量一直保持在2 5 万吨左右。我国的年产量达4 万吨。高速 钢成分复杂，合金元素含量多，工艺特殊，性能要求高，价格昂贵。 在钢铁材料尤其是特殊钢中占有较重要的位嚣。由于高速钢有较高 的硬度( h r c 6 3 6 7 ) 和在5 5 0 6 0 0 的温度下可保持高的硬度 ( h r c 6 0 以上) 、耐磨性和耐热性，因此被广泛的应用于机械加工 的刀具、加工成型的模具以及一些要求高耐磨或高温工作的零部件 上。 高速钢的生产大多采用传统冶金方法，即铸锭一锻轧工艺。由 于钢的合金含量高，化学成分复杂，铸锭尺寸大，冷却速度缓慢等 缘故，在其凝固时不可避免地会产生粗大的莱氏体碳化物偏析组织。 偏析的存在不仅给钢的锻、轧等热加工造成困难，而且还明显地损 害了钢的各种性能，限制了高速钢中合金含量的增加，影响了高速 钢的发展。 在冶炼铸态高速钢这种严重的成分偏析、组织偏析、碳化物不 均等缺陷中，前两种缺陷通过后续的热处理退火及淬火均可消除。 但是存在着粗大共晶莱氏体组织的碳化物不均匀缺陷，其危害程度 较前两种缺陷要大的多，且由于是在结晶过程中形成的其晶碳化物， 即使加热到1 3 0 0 的高温，也难溶于奥氏体中，因而无法通过热处 理改变其组织和形态。粗大的网络状和密集的条带状碳化物在很高 的加热温度下不能充分溶解于奥氏体中，这就减小了奥氏体内的合 金度，使得高速钢刃具回火后的硬度、热硬性和耐磨性人大降低。 铸态组织中莱氏体共晶嘲络和碳化物不均匀性，解决方法只能 是随后进行锻造加工。通过碎化共晶碳化物，改善组织不均匀状态。 不均匀越严重所需的锻压比越火。但即使这样也难以完全消除。有 实验指出，对一般合金钢给予3 4 倍形变度，组织均匀可以满足使 用需要。而对高速工具钢五倍以卜的变形度，沿金属流变方向仍保 留碳化物网状的特征，七倍时共品刚才破裂，十一倍时块状和网状 的共晶改变为连续条带状，但宽度仍较大。变形度增大到三十倍时， 碳化物才成为狭窄的线条，再增大变形度效果也不明显。但硬而脆 的共晶碳化物偏析依然存在，未能得到较圆满解决。因此共晶碳化 物偏析程度成为鉴定高速钢质量优劣的重要技术指标之一。 根据统计资料表明，高速钢的主要元素( w 、m o ) 的资源在世 界范围内勘定和可取的储量只够4 0 6 0 年使用，加上潜藏的储量也 只够1 0 0 年。因此节约合金元素既有重要的战略意义，又可节约钢 材成本。于是各国都在研制一些低合金高速钢。7 0 年代以后，由于 合金资源短缺日趋严重，低合金高性能高速钢的发展引起了全世界 的普遍重视。世界各国己相继发展了s w 3 s 2 ( 波兰) ，d 9 5 0 ( 瑞典) ， v a c o d y n e ( 美国) ，3 0 l 、d 1 0 l 、d 1 0 6 ( 中国) 等低合金高速钢。低合金 高速钢的成分设计一般以高速钢的基体成分为基础，其w 、m o 合 金元素总量只占高速钢的1 2 1 3 。新型低合金高速钢的性能特 点是抗弯强度和韧性一股高于传统高速钢，二次硬化和6 0 0 。c 以下 的红硬性略高于或接近于传统高速钢，但6 0 0 以上的红硬性和高 温硬度低于传统高速钢，这是因为w 、m o 含量大幅度降低引起的。 近几年出现了利用双层辉光离子渗金属技术制备等离子复合渗 表面冶金高速铡。其形成机理是通过在廉价的金属材料表面，渗入 合金元素w 、m o 、c r 、v 、t i 、c o 等，然后再进行渗碳，使表面成分 达到高速钢的基本要求。通过后续高温淬火和高温回火，使表面达 到高速钢的性能。由于仅是在材料表面渗入合金元素，占整体材料 的极少部分，从而大大节约了合金元素。该工艺技术的突出优点是： 形成的表面高速钢层与基体是冶金结合，不存在着渗层与基体的剥 落问题：渗层碳化物是在较低的温度下固态形成，属二次碳化物( 相 对于从结晶中析出的碳化物而言) ，较易溶入奥氏体中，可充分的发 挥合金元素的作用：形成的碳化物均匀、细小、弥散、一般呈粒状 分布，没有粗大共晶莱氏体组织。该工艺技术的发明，引起了各方 面的极大关注。 但是，该工艺技术由于采用先渗w 、m o ，再固溶处理，最后渗 碳的多步形成表面高速钢的方法。高温加热次数多，工件和卡具严 重变形，且工艺复杂。还存在多次高温加热后粗大组织的遗传，使 最后的淬火组织不正常，易出现过热或欠热现象。另外有些沿晶析 出的粗大呈网状的碳化物或金属问化合物，造成渗层成分的不均匀， 严重的影响了机械性能。 本研究课题就是针剥前期双层辉光离子渗金属技术形成的等离 子复合渗表面冶金高速钢现存的问题，进行的技术改进研究。其基 本思路是：在原进行离子渗w 、m o 仅通入惰性气体氩气的同时，通 入碳氢化合物气体l i 烷，使气体巾的碳原子和氢原子参与离子溅 射、电离、源极和工件表面活化以及渗入过程。源极中被溅射出的 w 、m o 原子进入被渗金属材料表面的同时，气氛中的碳原子也同时 被渗入金属材料表面。使被渗金属材料表面一次直接形成具有既含 源极l _ _ i 欲渗金属元素w 、m o ，又有气体中元素碳的等离子表面冶金 高速钢层。氢原子参与源极和工件表而的还原和活化过程。 w 、m o 、c 共渗工艺还可以在形成等离子表面冶金高速钢层以 后，直接淬火，或根据工艺要求提高或降低温度实施淬火。进而将 w 、m o 、c 共渗后相变强化的淬火也一气完成。这种共渗和淬火工 艺的结合可有效地解决目前双层辉光离子渗金属所形成等离子复合 渗表面冶金高速钢时所存在的问题。使双层辉光离子渗金属技术中 分几步形成表面高速钢的工艺方法大大简化，组织细化，性能优化。 进一步提高工效，更加接近实用化。 等离子复合渗表面冶金高速钏的制备工艺方法如下： 这一工艺从1 9 8 9 年沿用至今，尤其在工业应用产晶双层辉光 离子渗金属手用锯条上，成为标准工艺规范己执行十几年。 本研究课题等离子表面冶金高速钢工艺技术路线： ；区固一囵回 + 虚线框表不工艺可合并一次完成。 此外，由于本w 、m o 、c 共渗工艺方法所形成的碳化物是在渗 入和冷却过程中从基体中析出形成，形核率高，碳化物不易长大。 与高速钢和等离子复合渗表面冶金高速钢中的碳化物相比，更细小， 弥散、均匀。不仅解决了高速钢中碳化物不均匀和轧制加工复杂的 问题，而且比等离子复合渗表面冶金高速铡工艺简单。 在前期的双层辉光离子渗金属技术研制过程中，对于金属元素 ( 如钨、钼、铬、钒等) 与非金属元素( 碳、氮、硼等) 在钢铁材 料表面进行复合渗的工作一直没有进行过试验研究，经查询也没有 对这方面的有关资料报道。所以本研究w 、m o 、c 共渗工艺技术具 有先进性、创新性和实用性。 本研究已获得以下结果： 1 首次利用双层辉光离子渗金属技术，在低碳钢和低合金钢表 面进行w 、m o 、c 共渗，表面成分达到或超过低合金高速钢的要求， 合金元素w + m o ( w 1 当量) 1 0 ，表面含碳量超过平衡碳原则。 一次直接形成等离子表面冶金低合金高速钢。共渗层组织细小，无 粗大的柱状晶晶粒，无金属间化合物析出，无共晶莱氏体碳化物。 渗层中碳化物分布均匀，细小，弥散，晶粒和组织正常。碳化物组 织形态为：粒状、块状、短棒状、短条状。一般尺寸小于2 u m 。 2 等离子表面冶金低合金高速钢层中所形成的合金碳化物的类 型主要为：m 6 c 、m 2 c 。m 。c 碳化物占大部分( 大约占到9 0 以上) ， m 2 c 碳化物不足1 0 。碳化物( m 。c + m ，c ) 总重量，约占合金层总 量的的l o 左右。略低于低合金高速钢。 太原理t 人学博1 论义 3 m 。c 碳化物与合金基体的位相关系： ( 1 1 0 ) 马( 2 2 0 ) m 6 c ：( 1 0 1 ) 马马( 2 0 2 ) m 6 c ；( 0 1 1 ) 马( 0 2 2 ) m 6 c ； 4 m 。c 型碳化物中的合金元素与碳原子的平均比在2 6 4 3 ：1 。 m 2 c 型碳化物中的合金元素与碳原予的平均比为1 3 2 ：1 。与平衡碳 原则中的2 ：1 和1 ：1 相比，有较大的差异。其形成规律有待进一 步研究。 5 本试验的最佳麸渗工艺参数为： 源极电压：1 0 0 0 1 1 0 0 v 阴极电压：4 5 0 5 5 0 v 保温时问：3 h保温温度： 1 1 0 0 氩气：甲烷：l ：1： 作气压：4 5 p a 时间比：单渗共渗= 0 3 分阶段渗时间比：2 1 ( 渗w 、m o w 、m o 、c 共渗) 6 等离子表面冶金低合金高速钢层经淬火和回火后在5 5 0 左 右，有明显的二次硬化现象，与高速钢的回火规律基本相同。表面 硬度值在h v 7 0 0 9 0 0 之问。经6 2 0 4 h 回火检测红硬性，表面硬 度在h v 7 0 0 以上。 7 耐磨对比实验表明：表面层硬度高，耐磨性能好，摩擦系数 小；硬度低，耐磨性能差，摩擦系数大。与硬度相同的高速钢相比， 耐磨性相当；但是表面硬度低的等离子表面冶金低合金高速钢，耐 磨性明显不如高速钢。 8 w 、m o 、c 共渗试验表明，钨、钼源极表面没有 污染 现象。 9 辉光放电中的相似原理，较好的解释了工业化应用中的电流 放大问题，归一化的计算，己应用于实际生产中。 1 0 源极的溅射与试件的吸收关系较好的反应了实际应用中的 问题，鉴于渗金属过程中工件的有效吸收是一变化的过程，建议应 正确的选择工艺参数，以便提高工件的吸收率。 1 1 初步的研究表明，w 、m o 、c 共渗工艺在实际产品手用锯 条表面形成等离子冶金表面低合金高速钢，其组织状态好于目前等 离子复合渗表面冶金高速钢组织。 关键词等离子表面冶金，高速钢，碳化物，双层辉光离子渗金属 a b s i 。r a c t h i g hs p e e ds t e e l ( h s s ) i sav e r yi m p o r t a n tt o o ls t e e li nm a c h i n i n gi n d u s t r y t h eg l o b a lo u t p u to fh s si s1 4m i l l i o nt o n si nr e c e n ty e a r s ，a n da b o u t4 0 ，0 0 0 t o n sc o m e sf r o mc h i n a t h ep r o d u c i n go fh s si saq u i t es o p h i s t i c a t e dp r o c e s s d u et ot h ea d d i t i o no fm u l t i p l ea l l o ye l e m e n t sa n dt h e i rh i g hc o n t e n t s ，s oi th a s a l w a y sb e e ne x p e n s i v eb u tv e r yi m p o r t a n ta l l o ys t e e l h s sh a sh i g hw e a r - r e s i s t a n c ea n dh e a t - d u r a b i l i t y , i t sh a r d n e s sr e a c h e sh r c 6 3 6 7a f t e rh e a t t r e a t m e n ta n dk e e p sa ta b o v eh r c 6 0a t5 5 0 缶0 0 口t h e s ef e a t u r e so fh s sm a k e i tav e r yi m p o r t a n tm a t e r i a lf o rp r o d u c i n gc u t t i n gt o o l s ，d i e sa n dt h o s ep a n s r e q u i r i n gh i g hw e a rp e r f o r m a n c e o rw o r k i n ga th i g ht e m p e r a t u r e m a j o r i t yo ft h eh s si sp r o d u c e db yt h et r a d i t i o n a lm e t a l l u r g yp r o c e s s o r i n g o t - c a s t i n ga n df o r g i n gr o l l s d u et ot h eh i g ha l l o yc o n t e n t ，h i g hd i m e n s i o no f i n g o ta n d l o wc o o l i n gr a t e ，t h ec o a r s el e d e b u r i t ee u t e c t i cs e g r e g a t i o nw i l lb e f o r m e dw i t h i nt h ei n g o ti n e v i t a b l y t h es e g r e g a t i o ni sh a r m f u lt ot h em e c h a n i c a l p r o p e r t yo ft h es t e e la n da l s o m a k e st h ef o r g i n ga n dr o l l i n gp r o c e s sm o r e d i m c u l t 。 t h es e v e r ec o m p o s i t i o na n ds t r u c t u r es e g r e g a t i o nc o u l db ee l i m i n a t e db y a n n e a l i n ga n dq u e n c h i n gp r o c e s s ，b u tt h ee l i m i n a t i o no ft h en o n - h o m o g e n e o u s d i s t r i b u t i o no ft h ec o a r s el e d e b u r i t ei si m p o s s i b l et h r o u g ha n yk i n do fh e a t t r e a t m e n tp r o c e s s ，a n di t i sm o r ed a m a g i n gt ot h ep r o p e r t yo ft h es t e e l s i n c et h e l e d e b u r i t ee u t c c t i cc a r b i d e sa r ef o r m e dd u r i n gt h ec r y s t a l l i z a t i o np r o c e s s ，t h e y a r en o ts o l u b l et ot h ea u s t e n i t ee v e na th i g ht e m p e r a t u r eo f1 3 0 0 。c ，r e s u l t i n gt h e l a c ko fa l l o ye l e m e n t ss o l u b l et ot h ea u s t e n i t e ，a n dh e n c et h ed e c r e a s eo fh a r d n e s s ， w e a r r e s i s t a n c ea n dh e a t - d u r a b i l i t y t h eg e n e r a ls o l u t i o nt ot h ep r o b l e mc a u s e db yt h el e d e b u r i t ec u t e c t i c c a r b i d e si saf o r g i n go p e r a t i o nt ob r e a ku pt h ec a r b i d e s h i g hf o r g i n gr a t i oi s b e n e f i c i a lt or e d u c et h es e g r e g a t i o n ，b u ti t i sa l m o s ti m p o s s i b l et oe l i m i n a t et h e n o n h o m o g e n e o u sd i s t r i b u t i o nt h r o u g hf o r g i n gp r o c e s s i n v e s t i g a t i o ns h o w st h a t f o ra v e r a g el o wa l l o ys t e e l ，d e f o r m a t i o no f3 4t i m e si se n o u g ht oo b t a i n u n i f o r m e dm i c r o s t r u c t u r ew h i c hc o u l dm e e tt h en e e df o rw o r k i n gc o n d i t i o n w h i l ef o rh s s ，w i t hd e f o r m a t i o nl o w e rt h a n5t i m e s ，t h en e t s h a p e dc a r b i d e s s t i l le x i s ta l o n gt h ed i r e c t i o no fd e f o r m a t i o n ，i ts t a r t st ob r e a ku pa t7t i m e so f d e f o r m a t i o n ，a n dt h en e t s h a p et u r n st oc o n t i n u o u sw i d es t r i p a t3 0t i m e so f d e f o r m a t i o n t h ew i d es t r i p sc h a n g et on a r r o ws t r i p sa n dr e m a i na l m o s t u n c h a n g e da tf u r t h e rh i g h e rd e f o r m a t i o nr a t e t h eh a r da n db r i t t l ee u t e c t i c c a r b i d ea l w a y se x i s t sa f t e rv e r yh i g hr a t eo ff o r g i n g ，s ot h ee x t e n to fs e g r e g a t i o n o ft h ec a r b i d e si sav e r yi m p o r t a n tc r i t e r i o nt oj u d g et h eq u a l i t yo ft h eh s s a c c o r d i n gt os t a t i s t i c s ，t h em a i na l l o y i n ge l e m e n t si nh s s ，t u n g s t e na n d v m o l y b d e n u m ，w i l lb ee x h a u s t e do i le a r t hi n4 0 - 6 0y e a r s ，e v e ni fc o n s i d e r i n gt h e p o t e n t i a lo r e ，t h et i m es p a ni sn om o r et h a n1 0 0y e a r s s a v i n gt h ev a l u a b l e e l e m e n t si s v e r yi m p o r t a n ta n dc ana l s or e d u c et h ec o s tt op r o d u c et h es t e e l t o w a r dt h i se n d ，h s sw i t hl o w e ra l l o yc o n t e n ta r ed e v e l o p i n gi nd i f f e r e n t c o u n t r i e s s i n c e1 9 7 0 s ，w i t ht h ee n l a r g e ds h o r t a g ei na l l o ye l e m e n t sr e s e r v e ，h i 【g h p e r f o r m a n c eh s sw i t hl o wa l l o yc o n t e n th a sd r a w nm o r ea n dm o r ea t t e n t i o n a r o u n dt h ew o r l d u n t i ln o w , as e r i e so fp r o d u c t sh a sb e e nd e v e l o p e d ，s u c ha s s w 3 s 2i np o l a n d ，d 9 5 0i ns w e d e n ，v a e o d y n ei nu s ，3 0 1 d 1 0 1 f d l 0 6i nc h i n a ， e t c t h ea l l o yc o n t e n ti nl o wa l i o y i n gh s su s u a l l yi sc l o s et ot h em a t r i xa l l o y c o n t e n ti nt r a d i t i o n a lh s s ，a n dt h ew h o l ea l l o yc o n t e n ti sr e d u c e dt oa b o u t 1 2 1 1 3o ft r a d i t i o n a lh s s a n dt oe n s u r ec o m p a r a b l em a i np r o p e r t i e s ，u s u a l l ys i ， n ，r ea r ea d d e d t h em a i nf e a t u r eo ft h el o wa l l o y i n gh s sc o m p a r e dw i t h t r a d i t i o n a lh s si s ：h i g h e rb e n d i n gs t r e n g t ha n dt o u g h n e s s ；al i t t l eh i g h e ro r s i m i l a rs e c o n d a r yh a r d e n i n ga b i l i t ya n dr e d - 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h o m o g e n e o u sc o m p o s i t i o nd i s t r i b u t i o na n dd e t e r i o r a t e t h em e c h a n i c a lp r o p e r t i e ss e v e r e l y t h i s r e s e a r c ht r i e st oi m p r o v et h ed o u b l eg l o wp l a s m as u r f a c ea l l o y i n g p r o c e s sb ys o l v i n gt h ea b o v em e n t i o n e dp r o b l e m s t h eg e n e r a li d e ai s ：d u r i n gt h e s u r f a c ew jm oa l l o y i n gp r o c e s s ，i n l e tm e t h a n ea s i d ef r o mt h eo r i g i n a li n e r tg a s a r g o n t h ec a r b o na n dh y d r o g e np a r t i c l e s a r c i n c o r p o r a t e di n t o t h e i o n s p u t t e r i n g ，i o n i z a t i o n ，s u r f a c ea c t i v a t i o na n dd i f f u s i o np r o c e s s e s t h e 、，m o a t o m ss p u t t e r e df r o mt h et a r g e td i f f u s ei n t ot h es u r f a c eo ft h es u b s t r a t ea tt h e s a m et i m ew i t ht h ed i f f u s i o no fc a r b o na t o m s s ot h es y n e r g i s mo ft h ea l l o y i n g p r o c e s sa n dt h ec a r b u r i z i n gp r o c e s si s e s t a b l i s h e di nt h i sw a y a n dt h eh y d r o g e n a t o m sp a r t i c i p a t e st h er e d u c t i o na n da c t i v a t i o np r o c e s so nt h es u r f a c eo ft h e t a r g e ta n dt h es u b s t r a t e a f t e rt h ec o a l l o y i n gp r o c e s so fw ，m o ，c ，d i r e c tq u e n c ho rq u e n c ha tl o w e r t e m p e r a t u r ec a nb ea p p l i e d t h i sc o m b i n a t i o no fa l l o y i n gp r o c e s sa n dp h a s e t r a n s f o r m a t i o ns t r e n g t h e n n i n gc o u l ds o l v et h em a i np r o b l e m se n c o u n t e r e db y t h ed o u b l eg l o wp l a s m as u r f a c ea l l o y i n gp r o c e s sw h e nf o r m i n gt h es u r f a c eh s s i ts i m p l i f i e dt h eo r i g i n a lm u l t i p l e s t e p sp r o c e s sd r a s t i c a l l y ，a n dt h eo b t a i n e d m i c r o s t r u c t u r ea n dp r o p e r t i e sa r ea l li m p r o v e d t h ee f f i c i e n c yo ft h ep r o c e s si s a l s oe n h a n c e d ，f u r t h e ra p p r o a c h i n gt h en e e df o rr e a la p p l i c a t i o n f o l l o w i n gi s a ni l l u s t r a t i o no ft h ep r o c e s st of o r ms u r f a c eh s sb yt h e o r i g i n a ld o u b l eg l o wp l a s m as u r f a c ea l l o y i n gp r o c e s s t h i st e c h n o l o g ys t a r t e di n1 9 8 9 ，a n d p r o c e s sc o d e ，e s p e c i a l l yi nt h ea p p l i c a t i o n b l a d e s h a sb e e nf o l l o w e da ss t a n d a r d i z e d o ft h et e c h n i q u ei nt h eh a n ds a w t h i si st h ep r o c e s s i n gp r o c e d u r ei nt h i sr e s e a r c h ： b e s i d e s ，t h ec a r b i d e si nt h i sp r o c e s sa r ef o r m e dd u r i n gt h ea l l o y i n ga n d c o o l i n gp r o c e s si nt h em a t r i x ，t h en u c l e a t i o nr a t ei sh i g ha n d t h ec a r b i d e sa r e f i n ea n dm o r eh o m o g e n e o u s l yd i s t r i b u t e dc o m p a r e dw i t ht r a d i t i o n a lh s s t h i s p r o c e s se l i m i n a t e st h ep r o b l e mo fs e g r e g a t i o no f c a r b i d e sa n dt h ec o m p l i c a t i o n o fr o l l i n gi nt h ep r o d u c t i o no ft r a d i t i o n a lh s s a n di ts i m p l i f i e st h et e c h n o l o g y o fm u l t i p l e - s t e p sp r o c e s su s e dt of o r mt h es u r f a c eh s so r i g i n a l l y i nt h er e s e a r c h o fd o u b l eg l o wp l a s m as u r f a c ea l l o y i n gp r o c e s s ，t h ec o a l l o y i n go fm e t a l l i ce l e m e n t s ( w ；m o ，c r , v ，e t c ) a n dn o n - m e t a l l i ce l e m e n t s ( c ，n ，b ， e t c ) h a sn e v e rb e e nc o n d u c t e d ，n or e p o r ti sa v a i l a b l ep r e s e n t l yi nt h ep u b l i s h e d l i t e r a t u r e s s ot h i sr e s e a r c hi sa no r i g i n a lw o r k f o l l o w i n ga r e t h em a i nr e s u l t so ft h er e s e a r c h 1 w ：m o ，cc o a l l o y i n gp r o c e s si sc o n d u c t e do nt h es u r f a c eo fl o wc a r b o n s t e e l a n dl o wa l l o ys t e e lb yu s i n gd o u b l eg l o wp l a s m as u r f a c ea l l o y i n gp r o c e s s t h e s u r f a c ec o n t e n tm e e t st h eg e n e r a lr e q u i r e m e n to nh s s ，【w 1o i o ，t h es u r f a c e c a r b o nc o n t e n ti sh i g h e rt h a nt h eb a l a n c ev a l u e t h es u r f a c el o wa l l o y i n gh s si s f o r m e dt h r o u g ho n es t e pc o a l l o y i n gp r o c e s s t h em i c r o s t r u c t u r ei sf i n e ，n o c o a r s ec o l u m n a r , i n t e r m e t a l l i c sa n dl e d c b u r i t ee u t e c t i ce x i s t t h e c a r b i d e s d i s t r i b u t e sh o m o g e n e o u s l y t h es h a p eo ft h ec a r b i d ei n c l u d e s ：g r a n u l a r , m a s s i v e ， s h o r ts t r i p g e n e r a l l y , t h es i z eo ft h ec a r b i d e si su n d e r2 u r n 2 t h et y p e so ft h ea l l o yc a r b i d e si nt h es u r f a c eh s sa r em a i n l y ：m 6 c 、 m 2 c 。m 6 c ( a c c