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第3 章飞秒激直写金属反射光栅的实验研究 由此可见，t 硝随着v 人的减小， 公式( 3 1 2 ) 得到：当其他参数不变时， 的衍射效率随光栅周期的增大而减小。 ( 3 1 2 ) 也就是光栅周期的增大而减小。因此由 光波以o 度角入射，光栅的反射衍射波 3 2 3 2 光栅占空比t 人【3 0 】与光栅衍射效率的关系 实验中发现，当其他实验条件不变时，光栅的一级衍射效率并不是随着激 光输出功率的增加单调的增加或减小，而是存在一个极大值。实验中，激光刻 写速度为2 0 0 删s ，光栅周期为1 5 岬。激光脉冲能量分别为6 0i l j 、8 01 1 j 、l o o n j 和1 2 01 1 j ，相应的光栅的一级衍射效率分别为2 4 5 、5 0 7 、7 4 7 和2 5 3 。 研究发现，随着激光输出功率的增加，刻线的宽度t 不断增加；而在光栅周期人 不变的情况下，光栅占空比衫人不断增加。测量不同输出功率时，刻线的宽度t 分别为：3 岬、5 岬、7 3 岬和1 2 岬，得到光栅占空比以分别为o 2 、0 3 3 、 o 4 8 和o 8 。观察得到：当o 人 o 5 时，光栅的一级衍射效率随着讹的增大 而增大；而当o 5 人 1 时，随着人的增大光栅的一级衍射效率减小。 由于反射型光栅中刻槽部分发生漫反射，金属部分在反射光方向发生衍射， 相当于一组衍射狭缝【3 。因此只有金属部分反射的光波对光栅的衍射效率做出 贡献；而当讹不断增大，也就是一个光栅周期内金属部分不断减少，入射到光 栅上的光波大部分被漫反射而消耗，导致光栅的衍射效率下降。 为了验证上面结论的可靠性，改变实验参数，制备了另一组光栅。激光扫 描速度2 0 0 岬s ，光栅周期为2 0 岬，激光脉冲能量分别为9 01 1 j 、1 1 0n j 和1 2 0 n j ，相应刻线的宽度分别为8 岬、l o 岬和1 2 岬。则有讹分别为o 4 、0 5 和 o 6 。测得光栅的一级衍射效率分别为4 5 、5 3 和4 4 7 ，实验结果与上面的 结论一致，得到光栅一级衍射效率与光栅占空比衫人的关系曲线，见图3 9 。并 且比较下a = o 4 8 与衫a - o 5 的两个光栅的一级衍射效率，发现光栅周期增大引起 衍射效率的下降，再次验证了前面的结论。 3 2 h七 尼 ，
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