（光学工程专业论文）新型y分支波导结构及其相关功能元件研究.pdf

0 、i - ， 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名： 期：砂j c b 年衫月f elel 期：砂届年 月 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 ( 保密的学位论文在解密后应遵守此规定) 签名： 翩签名一 日期：年月日 卜一 - r 一 摘要 摘要 y 分支波导是集成光子器件中一种非常重要的单元器件，它有非常广泛的应 用，如波导干涉仪、调制器、模数转换器、光开光、光功分器等。从结构上划分， y 分支波导可以分为对称型和非对称型。以y 分支波导为基本单元所构成的光功率 分束器是实现集成光子系统性能不可替代的器件，它可将光功率按预定的比例分 配给两个或两个以上的输出设备。 通常，光功率分束器可由无机和有机材料制作。聚合物材料具有很多独特的 特性，因而针对以有机聚合物为材料的功能器件的研究和开发，近年来受到人们 的极大关注和重视。 本文从光波导基本理论出发，介绍了有限差分光束传播法( f d - b p m ) 的理论推 导。接着分析了有机聚合物脊形波导的单模条件，可以通过选择适当的脊宽、内 脊高和外脊高来实现。计算出当波导的脊宽为6 聊、内脊高为3 z m 和外脊高为 2 5 g i n 时，对于t m 模和t e 模都满足单模传输条件。 然后基于全内反射原理，设计了新型对称型y 分支结构，并采用调整分支臂 相对于波导轴线的横向偏移量和调整波导两分支的偏转角这两种方式，设计了非 对称y 分支波导结构。利用有限差分光束传播法对波导器件光学性能进行模拟， 得出优化的结构参数。采用前一种方式的非对称y 分支结构能够实现任意分束比 输出；采用后一种方式的非对称y 分支结构具有输出损耗低，工艺制作容差好的 优点。 在此基础上，分别利用对称y 型分支波导与非对称型y 分支波导，设计出1 n 型分束器结构。模拟分析中，以lx 4 分束器为例，通过对波导参数的合理选 择实现了分束器四个输出的均匀输出，四个端口输出的均分性差别不大于0 4 5 d b 。 利用三个对称型y 分支设计了两位格雷码编码器结构，该编码器能将四个输入端 口中任意一个输入转换成两位格雷码输出。 最后，根据所设计的波导结构及优化的结构参数，实验中制备了l 2 、1 4 光波 导样品。为了检验波导样品光学特性，搭建了测试平台对其输出功率进行了测试。 测试实验表明，其光学性能和设计及模拟分析结果比较符合。 关键字：集成光学，有机聚合物，y 分支波导，1x n 光功率分束器 - p - ， a b s t r a c t a b s t r a c t yb r a n c hw a v e g u i d ei sak i n do fi m p o r t a n t s i n g l ec o m p o n e n ti ni n t e g r a t e d p h o t o n i cd e v i c e s ，w h i c hh a s aw i d er a n g eo fa p p l i c a t i o n s ，s u c ha s w a v e g u i d e i n t e r f e r o m e t e rm o d u l a t o r , a d c ，o p t i c a ls w i t c h ，o p t i c a lp o w e rs p l i t t e ra n ds oo n t h e p o w e rs p l i t t e rb a s e do ny s t r u c t u r ei sa ni m p o r t a n td e v i c ei ni n t e g r a t e do p t i c s ，i nw h i c h o p t i c a lp o w e rc a nb ed i s t r i b u t e dt ot w oo rm o r ed e v i c e si ns p e c i f i cr a t i o t h e o p t i c a lp o w e rs p l i t t e rc a nb eg e n e r a l l ym a d ef r o mo r g a n i cp o l y m e rm a t e r i a l s d u et ot h ec h a r a c t e r i s t i c so f o r g a n i cp o l y m e rm a t e r i a l s ，t h er e s e a r c h e sa n d d e v e l o p m e n t so ft h ew a v e g u i d ec o m p o n e n t sa n di n t e g r a t e dp h o t o n i cd e v i c e sw h i c ha r e m a d ef r o mp o l y m e rm a t e r i a l sa t t r a c tp e o p l e sg r e a ti n t e r e s ti nr e c e n ty e a r s t h et h e o r e t i c a ld e r i v a t i o no ff d b p mi si n t r o d u c e db a s e do nt h ew a v e g u i d et h e o r y t h e nt h es i n g l em o d ec o n d i t i o no f o r g a n i cp o l y m e rr i d g ew a v e g u i d ei sa n a l y z e d i tc a l l b ea c h i e v e db y s e l e c t i n gp r o p e rr i d g ew i d t h , t h i c k n e s so fi n n e rr i d g ea n do u t e rr i d g e i t i sc a l c u l a t e dt h a tw h e nt h er i d g ew i d t hi s6 , u r n ，t h i c k n e s so fi n n e rr i d g ea n do u t e rr i d g e a r e3 p r oa n d2 5 , u r n r e s p e c t i v e l y , t h es i n g l e - m o d et r a n s m i s s i o nc o n d i t i o n so ft m m o d ea n dt e m o d ea r em e t b a s e do nt h ep r i n c i p l eo ft o t a li n t e r n a lr e f l e c t i o n , t h en o v e ls y m m e t r i ca n d a s y m m e t r i cyb r a n c hs t r u c t u r e sa r ep r o p o s e d ，w h i c ha r es i m u l a t e dt oo p t i m i z et h e s t r u c t u r ep a r a m e t e r s t h r o u g hs h i f t i n gt h ec e n t e ra x eb e t w e e nt h ei n p u tw a v e g u i d ea n d t h et w ob r a n c hw a v e g u i d e so r a d j u s t i n gt h ed e f l e x i o na n g l e so ft h et w ob r a n c h w a v e g n i d e st h ea s y m m e t r i cyb r a n c hw a v e g u i d ei sd e s i g n e d u s i n gt h ef o r m e rm e t h o d ， t h ea s y m m e t r i cyb r a n c hs t r u c t u r ec a na c h i e v ea r b i t r a r ys p l i t t i n gr a t i oa n du s i n gt h e l a t t e rm e t h o d ，t h ea s y m m e t r i cyb r a n c hs t r u c t u r eh a sa d v a n t a g e so fl o wp o w e rl o s sa n d g o o df a b r i c a t i o nt o l e r a n c e t h e1 no p t i c a lp o w e rs p l i t t e rw h i c hc o n s i s to fs y m m e t r i ca n da s y m m e t r i c y - b r a n c ha r ep r o p o s e d t h elx 4s p l i t t e ri ss i m u l a t e dt oo p t i m i z et h ep a r a m e t e r s ，a n dt h e s i m u l a t e dr e s u l t ss h o wt h a tp o w e ru n i f o r m i t yo ft h es p l i t t e ri sl e s st h a n0 3d b t h e 2 - b i t sg r a yc o d e rw h i c hc o n s i s t so f t h r e es y m m e t r i cy b r a n c h e si sd e s i g n e d a c c o r d i n gt os t r u c t u r ep a r a m e t e r so p t i m i z e db e f o r e ，lx 2a n d1x 4p o w e rs p l i t t e r si s i i p r o d u c e di nt h el a b o r a t o r y t ot e s tt h eo p t i c a lc h a r a c t e r i s t i c so ft h ew a v e g u i d e s ，a t e s t i n gp l a t f o r mi sb u i l ta n dt h et e s t i n gd a t aa r ea n a l y z e d t h eo p t i c a lc h a r a c t e r i s t i c so f t h ew a v e g u i d e sa r ec o n s i s t e n tw i t ht h es i m u l a t i o na n da n a l y s i sa c c o r d i n gt ot h ed a t a k e y w o r d s ：i n t e g r a t e do p t i c s ，o r g a n i cp o l y m e r , yb r a n c hw a v e g u i d e ，lx no p t i c a lp o w e r s p l i t t e r i i i 4 目录 目录 第一章绪论1 1 1 集成光路概述1 1 2y 分支波导研究现状2 1 2 1 对称型y 分支2 1 2 2 非对称型y 分支6 1 31x n 型功率分束器研究现状一7 1 4 光波导聚合物材料8 1 5 本论文的主要研究内容和章节安排9 第二章光波导基本理论1 0 2 1 平板波导基本理论1 0 2 1 1 反射与折射1o 2 1 2 平板波导的模式1 1 2 1 3 平板波导的导模1 2 2 2 有效折射率法1 3 2 3b p m 及模拟软件1 6 2 3 1b p m 算法的基本理论1 6 2 3 1b e a m p r o p 软件介绍1 8 2 4 本章小结1 9 第三章y 分支波导设计及模拟2 0 3 1 聚合物脊形波导单模条件计算2 0 3 2 对称型y 分支设计及模拟2 5 3 2 1 对称型y 分支设计2 5 3 2 2 对称型y 分支模拟2 7 3 3 非对称y 分支设计及模拟31 3 3 1 非对称y 分支设计3l 3 3 2 非对称y 分支模拟3 2 i v 目录 3 4 本章小结。3 9 第四章y 分支功能元件模拟分析4 0 4 1 1 n 型分束器设计分析4 0 4 1 2 对称ix n 型分束器设计与模拟4 0 4 1 2 1 对称l n 型分束器设计4 0 4 1 2 2 对称l n 型分束器模拟4 1 4 1 3 非对称i n 型分束器设计与模拟4 2 4 。1 3 1 非对称ix n 型分束器设计4 2 4 1 3 2 非对称i n 型分束器模拟4 4 4 2 光学编码设计4 5 4 2 1 波导编码器设计4 6 4 3 本章小结4 7 第五章光波导制作及测试4 8 5 1 光刻。4 8 5 1 1 光刻材料4 8 5 1 2 工艺流程4 9 5 2 波导工艺制作流程5 0 5 3 实验制作与测试5 1 5 3 1 光波导制作5 1 5 3 2 光波导测试5 3 5 3 2 1 测试系统介绍5 4 5 3 2 2 光波导测试及分析5 4 5 4 本章小结5 6 第六章总结。5 7 6 1 工作总结5 7 6 2 对今后工作的建议5 7 致谢5 9 参考文献6 0 攻硕期间发表的论文6 3 v 第一章绪论 1 1 集成光路概述 第一章绪论 早在2 0 世纪6 0 年代初，人们即开始了基于光波导结构的光子器件的研究。1 9 6 9 年m i l l e r 等首次提出“集成光学 ( i n t e g r a t e do p t i c s ) 的概念，它准确地反 映了这一新兴科学技术的特征，得到了世界各国研究工作者的承认。它的发展受 益于集成电路的启发，将多种光子器件进行集成，即将激光器、调制器、探测器 等有源器件集成在同一衬底上，并用波导、隔离器、耦合器等无源器件连接起来 构成微型光学系统，即集成光路( o p t i c a li n t e g r a t e dc i r c u i t s ) 。集成光路指 的是在同一块衬底表面上，用折射率高的材料做光波导，并以此为基础再集成作 为光源的激光二极管，以及开关、调制器等有源器件、光二极管检测等，所构成 的具有整体功能的光学通路。通过集成化，实现了光学系统的微型化、轻量化、 高性能。如果从材料结构的角度对现有的集成光路进行分类，大致上可以分为混 合型集成光路、单片型集成光路以及介于以上两者之间的准混合型( 或者准单片型) 集成光路。当然它与电子器件集成就构成光电子集成回路。这种器件或系统具有 体积小、性能稳定可靠、效率高、功耗低等优点。 如果将构成上述集成光路的三种基本元器件，即光源、含有各种有源器件的 光波导以及光检测器，都制作在同一材料的衬底上，所构成的集成光路称为单片 集成光路( m o n o l i t h i co p t i c a li c ) ，单片集成光路的衬底材料通常为g a a s 、i n p 系列的化合物半导体。如果构成集成光路的三种基本器件的材料各不相同，而且 它们与衬底材料也不相同的集成光路，称为混合集成光路( h y b r i do p t i c a li c ) 。 例如，在混合集成光路中，光源采用化合物半导体，光波导采用玻璃或铌酸锂晶 体材料( l i n b o 。) 之类的介质材料，而光检测器件则采用硅材料制作，并将它们集成 在一起。而在准混合( q u a s i - h y b r i d ) 集成光路，或者准单片( q u a s i - m o n o l i t h i c ) 集成光路中，则是光源采用与前面相同的化合物半导体材料，光波导的衬底以及 光检测器件都是采用硅材料制作的。准混合集成光路是在混合集成光路的基础上， 往单片集成光路的方向迈进了一大步。在这种场合下，它是将硅的表面经过加热 氧化形成s i o ：层，再在s i0 2 层的表面上镀制介质层构成光波导。也就是说，准混 合集成光路与混合集成光路一样，它们的波导采用的都是介质波导。 电子科技大学硕士学位论文 混合型集成光路的三种基本器件，在单独制作完成后，还存在它们之间相互 连接的问题。混合集成光路具有允许不同类别的器件分别选择各自最合适的材料 以及最佳工艺以便取得最好性能的优点。因此，混合集成光路在今后有可能会得 到长足的发展。 集成光路在近些年得到了长足的发展，是因为它具有很多独特的优点：( 1 ) 集 成化易实现器件性能稳定。集成光路是在同一块衬底上制作若干个器件，因而不 存在组装问题，也无需调整光轴和磨合它们之间的相对位置，往往就可以保持稳 定的组合，所以它对振动和温度等环境因素的适应性也比较强。这可以说是集成 光路的最大优点。( 2 ) 易于实现波导光的调制。集成光路中的光波导属于单模波导， 可以利用电光效应、声光效应、热光效应等原理很好地实现光的调制。( 3 ) 工作电 压低以及相互作用长度的缩短。由于是单模光波导，控制电极之间的距离非常小， 因此集成光路在实现低电压控制的同时，相互间的作用强度反而变得更大。同时， 电极间距的缩小，也更有利于光通信系统的小型化。( 4 ) 器件的高速化。随着电极 尺寸的减小，分布电容也会大为减小，由此可以实现开关的高速化、调制的高速 化。( 5 ) 体积小、重量轻。( 6 ) 成本相对便宜。 1 2y 分支波导研究现状 y 分支波导结构是集成光子器件中的重要单元器件之一，它广泛应用于波导干 涉仪、调制器、模数转换器、光开光、光功分器等。 按制作材料来源分为无机与有机聚合物波导，通常有机聚合物波导的折射率 差小，具有诸多优异特性，目前已引起人们的广泛关注。但是，由于其折射率差 小，在设计、制作传统y 分支波导过程中，其分支角一般要求较小，约为l 1 5 0 ， 以尽可能降低模场失配与辐射所引起的光损耗。然而，这种小分支角将会使得元 件长度过长，这不仅对级联式y 分支构成的器件的微型化十分不利，而且将增加 工艺制作难度以及光波导传输中的吸收损耗。 根据其几何结构形状不同，y 分支波导分为对称型与非对称型两种结构。 1 2 1 对称型y 分支 对称型y 分支波导是一种将光功率进行均分的单元器件，人们对此研究较为 深入，已提出了多种不同结构以实现大角度、低损耗输出，在波导干涉仪、调制 器、模数转换器、光开光、光功分器等中有广泛应用。 2 第一章绪论 人们提出了不同方案来设计大角度、低损耗y 分支光波导，主要方案有n 1 ： ( 1 ) 波前补偿型，1 9 9 4 年h h a t a m i - h a n z a 1 等人提出如图1 - 1 所示的基于微 棱镜的y 分支波导结构( 其中伤 朋) 。1 9 9 4 年h a n - b i nl i n 瞄1 等人提出在分支区域 两侧插入微棱镜的y 分支波导结构。2 0 0 1 年h a n - b i nl i n 1 等人提出了一种低折射 率菱形微棱镜的y 分支波导。这种结构能够补偿相位，可以改善波前场的不匹配。 这种类型的y 分支结构通过在分支区引入高折射率微棱镜、低折射率微棱镜、 渐变折射率微棱镜或复杂折射率分布微区，以对分支区不同横向位置的波前附加 不同补偿值，从而使其波矢方向发生偏转，降低模场失配所引起的损耗。这种结 构具有分支角比较大，损耗很小，对工艺偏差不是很敏感等优点。不过工艺上实 现起来还是有很大的困难。 图i - i 波前补偿型y 分支波导 ( 2 ) 结构修正型，2 0 0 2 年z h e n gc h e n 口1 等人提出如图1 - 2 所示的y 分支波导 s 型结构。通过f d b p m 法计算可得，当s = i 1 微米时损耗只有0 2 1 0 d b ，并且折射 率差血只要取很小的值就可以满足要求。此外，这种结构受工艺偏差的影响也很 小，但是，其分支角还是比较小。 图卜2s 形波导结构 电子科技大学硕士学位论文 2 0 0 6 年，k k c h u n g 1 等人针对y 分支的结构进行了研究，设计出了一种新 型低损耗y 分支光波导，阴影区域为第三种材料，如图卜3 所示。通过在分支区 位置的芯层与包层之间引入一种由新材料构成的三角形微区，并对其结构参数进 行精确设计，从而降低分支区模场失配程度所引起的损耗。这种波导具有分支角 度大，损耗低等特点，但是厚度变化对损耗影响十分敏感，同时在工艺制作方面 有很大难度。 。 卜 ldl l l1 v 图1 - 3 结构修正型y 分支波导 ( 3 ) 光子晶体结构型，m e h m e tb a y i n d i r 嘲等人在2 0 0 0 年提出利用在光子晶 体中引人一种线性缺陷，便可构成光子晶体波导，如图1 - 4 所示。即在光子晶体 结构上引入线缺陷，从而形成y 分支波导，这种波导不仅能实现低的传输损耗， 而且还能支撑极小的弯曲半径。它的优点是器件具有极小的尺寸，可以实现大角 度的分支，且损耗较小，缺点是结构受偏振态影响较大，对工艺要求较高。 豢 0 豢，豢奄曩o 甍0 纠0 0 洚0 州 w 0 0 w o 毒0 0 图1 - 4 光子晶体结构型y 分支波导 b c h u n g 等人n 在2 0 0 3 年利用光子晶体设计出1x 4 光功分器，为了降低 耗，器件的分支区域设计成斜角型，如图1 5 所示。实验表明，器件的传输 高。这种新型器件有很高的传输效率，但是工艺制作难度大。 4 参簟劳套参鼙赣零-a 刀。波导区一衬底分界面上的全反射临 界角设为谚，而波导区一覆盖层分界面上的全反射临界角设为晓，显然谚 使。当 入射角逐渐增大时，经分析可知，存在三种不同的情况，( a ) 当0 只 使时，从衬 底一侧入射的光按照s n e l l 定律进行折射，并穿过覆盖层从波导逸出。此时，光 基本上没有受到什么限制。这时的电磁模式称为“辐射模 。( b ) 入射角略为增大， 使只 矽 谚，自衬底入射的光在波导层一衬底分界面上被折射，而在波导层一覆盖 层分界面上全反射，然后再发生折射，回到衬底，并最终穿过衬底逸出波导结构。 这时，光仍然没有受到什么限制。这种传播方式称为“衬底辐射模。( c ) 当入射 电子科技大学硕士学位论文 角足够大时，则有e 只 0 ，也就是在两个分界面上都发生全反射。光一旦进入 波导区后就被封闭在里面沿z 字形路径传播。这种情况对应于传播的“导模”。根 据波动理论，在垂直于分界面上向上，导模在薄膜内形成驻波，而在包层和衬底 中形成呈指数衰减的迅衰波。实际上，构成导模的0 角只能是有限个离散值，因此 导模属离散谱。而包层辐射模和衬底辐射模的p 角可取无限多个连续值，因此，辐 射模属连续谱口引。 ：鬟篓辔篓麓缓美缀：髦凌 缀鬟缀意， ：鬟篓! 缮垒磊缓美缀：巍乏 笺畿缀蠹i 一兰。上、皇，一芝二i ：o 、，台匆 慧鬻慧溪熏霹黧蕊嚣慕要器鬟嚣鬻蕊溪季囊 i 刀j ；l 喀刀， ( a ) ( b ) ( c ) 图2 - 2 平面波导基本结构 2 1 3 平板波导的导模 图2 3 显示了平面波导的侧视图以及所选的坐标系。平板波导的导模可以用 锯齿形光线图像描述，并且锯齿光线与界面法线的夹角e r 能取有限个离散值。薄 膜中的波动场按以下方式变化： e x p i ( + x x + p z ) 】 ( 2 - 9 ) 式中：x = k o 珂s c o s e ，p = k o n ，s i n e ，r 前的正负号分别对应于斜向上和斜向下传 播的平面波。可以想象，如果观察一下z 为常数的波导截面，那么只能看到光波 沿x 方向的上下运动，因而这时不必考虑光波沿z 方向的运动。以下从这个观点 出发推导平面波导维持导模的条件。 j 覆盖层 、 名 v 八产鼽、忌彦 图2 - 3 平面波导的侧视图 1 2 衬赢 z 第二章光波导基本理论 对于t e 模，可以得出它的模式本征方程： x h ：m n - + t a n 一1 ( p - - ) + t a n 一( 里) ( 2 1 0 ) 式中，誓= ( 2 _ 2 - p 2 ) “2 ，p = ( 2 一筏2 俾2 ) 。2 ，g = ( 2 一2 ，z ，2 ，x 1 2 。对于t m 模，有类 似的公式： x h = m z + t a n - 一( 善旦) + t a n - t ( 乏里) ( 2 1 1 ) ，z ：茁，z ：茁 由上述公式可知，导模的传播常数介于平面波在覆盖层和薄膜的波数之间，即： k o n c k o n ： ( 2 1 2 ) 为了方便，定义波导有效折射率： ：手= n f sin0(2-13) 根据公式( 2 1 2 ) ，可知它的取值范围为： 心 o 光场分部。 一般来说，很难对偏微分方程求出精确的解析解。我们可把公式( 2 2 4 ) 进行 离散处理，得到它的一个数值解。b p m 现阶段常用的有两种：基于傅立叶变换的光 束传播法( f f t b p m ) 和基于有限差分的光束传播法( f d - b p m ) 。下面将对基于有限 差分的的b p m 数值处理进行阐述。 在有限差分法中，在截面( x y 平面) x 和y 方向均匀取n 个点，把平面划分 为n x n 个小方格，这样截面上的光场分布可以用方格上的值来表示。在z 方向均 匀的取m 个截面，每个相邻界面的距离记为止。根据b p m 公式，知道任一个截面 的光场分布，都能由公式求解出下一个截面的光场分布。按照这个思想，可以把 公式( 2 2 4 ) 离散化为： 华= 磊i 【百8 2 郴( x ，, z n + l 2 ) 2 - 确】华( 2 - 2 8 ) 式中，w 表示第n 个截面上的i 方格的光场；万z ：u t + i + u i _ i - - 2 u ，：z 删：基z 。+ a z 2 。 u ： 把式( 2 2 8 ) 整理成标准的三对角线矩阵得： 口，群三1 + 包衅“+ q m = 1 = 喀 ( 2 2 9 ) 上式的参数很容易推导，具体过程和结果可以参考文献引。三对角线矩阵求解的 1 7 电子科技大学硕士学位论文 时间花费为0 ( n ) ，这里n 表示截面上方格的数量。 在用计算机进行计算时，应该在有限的计算时间内得到一个解值，否则进行 这样的计算是没有意义的。因此在对光场分布进行计算的过程中，需要确定一个 边界。但是，计算窗口的截断会引起辐射模在边界形成反射波，造成不必要的干 扰，因此要小心设置边界条件。关于边界条件的介绍请参考文献口州纠。 2 3 1 b e a m p r o p 软件介绍 我们采用的光波导数值模拟软件为美国r s o f t 公司发布的r s o f tp h o t o n i c s c a ds u i t e 中的b e a m p r o p 组件。b e a m p r o p 是一套功能强大、使用界面友好且可利 用电脑辅助设计的模拟软件，并可设计及解决不同的光波导波问题，是目前光通 讯领域设计波导器件的一款优秀的产品。光束传播法是b e a m p r o p 的核心，因此该 软件可根据b p m 的特性，可将光场在任一点的特性追踪出来。c a d 界面如图2 - 6 所 示。 图2 6r s o f tp h o t o n i c sc a d 界面 归纳起来，b e a m p r o p 有如下功能： 1 画图功能。r s o f t 软件的c a d 开发环境组件不