扩散泵返油.doc

扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高，易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上，这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温，做好记录，尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候，更应如此。扩散泵的工作原理：它的原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象，请放心使用也有可能是功率太大或者加的油过量，都可能导致返油。什么型号的泵啊，哪个单位产的，和生产商问一下电炉丝功率和加油量，要不买一根新的，安上试试，如果还返油给我留言。日本新科隆的泵。一直在用都还可以，最近才出现的问题。加热丝也确认过没有问题，油量也是一直在用没有加过，应该不是油量问题。我还是认为冷却不好。还有其它可能吗？你吧，用高压气分别从进水口和出水口充气，确认一下是否有堵塞的现象，也能清理一下水路的杂物什么的，如果是水路脏的话，以后还是准备一台循环水，用好一点的水，冷却就基本上不会出问题了。感谢你的关注。冷却水管道我已经清洁过了的。我想会不会是油劣化掉了呢？不客气，一般来讲跟油氧化没多大关系，油如果氧化了会导致高真空上不去，应该不会造成返油。你换油试试，也没准出现这样少见的情况。我们是两个扩散泵。因为之前扩散1主阀上有油，所以我一直怀疑是扩散1的问题，前天有把喷油塔和主阀清洁过，还是没有改善。今天把扩散1的油换了，的确油色比扩散2的油色要黄得多。顺便我也把扩散2的主阀打开来清洁一下，结果发现扩散2主阀上有明显的油印。我想应该是扩散2在反油，今天给扩散2多加了一组水冷。晚上试一下，明天看结果。你是专搞真空镀膜设备的还是其它都有在搞？你初步认为是扩散泵返油造成,那扩散泵的护网上肯定是油湖湖的,这是定返油的必定的条件! 这个问题应该如果解决?第一,最简单易行的清理是用30%的盐酸清洗扩散泵冷却水管道.让冷却水水温达到3度左右. 第二,较麻烦是对扩散泵进行一级保养,拆洗扩散泵,并清理扩散泵冷却管路,扩散泵一级保养,一般是一年一次. 第三,是把扩散泵前的护网换成冷凝网,对提高真空度有好处,但较麻烦,不推荐用此法.扩散泵返油特征比较明显，容易判断：一是观察该黑点特征，一般为圆形，大小不一，基本在产品正面，擦拭即掉；二是观察该黑点分布特征，一般在高阀进气口附近同一高度分布，如果产品离出口比较远时也可能会广些，背面基本不会有；三是出现返油时，产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。建议两点：一是检查扩散泵前级压力，在抽气时是否过高（不应高于10帕），如偏高须检查前级机组性能；二是检查扩散泵泵体温度，在中部及以上应当是凉的，如果暖甚至热时，需要检查冷却水的效果，下调温控系统温度或增加温控系统。 如果真空规管没有损坏，返油一般是不需要修理的，主要清洗真空室内扩散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一