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文档简介
氮化硅 碳化硅 航空飞机各部分耐温图 碳化硅的制作工艺二氧化硅和碳在电炉中加热至高温生成碳化硅 金刚砂 的化学方程式 工业制备方法有多种 其一是将高纯硅与纯氮气混合 在1300 条件下反应制得 化学方程式 也可以用四氯化硅和氮气在氢气保护下反应制得 化学方程式为 3sicl4 2n2 6h2si3n4 12hcl 氮化硅的制作工艺
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