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目 录
第一章 绪论 4
1.1 课题背景及研究意义 4
1.2 螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 5
第二章 螺杆干式真空泵转子型线的研究 7
2.1 常见转子型线比较 7
2.2 多头双边对称圆弧型线 8
2.2.1转子型线要素 9
2.2.2转子型线设计原则 10
2.2.3 多头双边对称圆弧型线方程 11
第三章 螺杆干式真空泵工作原理 13
第四章 螺杆干式真空泵设计计算 15
4.1 整体结构设计 15
4.2电机的选择 16
4.3螺杆基本尺寸 16
4.4泵腔体设计 17
4.4.1理论排气量 18
4.4.2实际排气量 18
4.4.3进排气孔口 19
4.4.3.1轴向进气口 19
4.4.3.2轴向排气口 20
4.4.3泵腔体三维模型 20
4.5同步齿轮的设计计算 20
4.5.1齿轮尺寸计算 21
4.5.1齿轮强度校核 21
4.6轴的强度计算 21
4.7轴承的选用与校核 22
4.7.1轴承的选用 22
4.7.1轴承的校核计算 22
4.8键联接的设计和强度校核 23
4.8.1许用挤压应力 23
4.8.2．校核联联轴器与轴连接的键 23
4.8.3．校核联接阳极转子轴与小齿轮连接的键 23
4.8.4．校核联接大齿轮和阴极转子轴的键 23
4.9齿轮箱体的三维设计 24
4.10底座的三维设计 24
4.11螺杆干式真空泵三维装配 25
第五章 螺杆干式真空泵保养与维修 26
5.1螺杆干式真空泵保养 26
5.1.1运行检查 26
5.1.2定期检查 26
5.1.3定期检查设备的润滑 27
5.2螺杆干式真空泵的维修 27
5.2.1 排出压力和流量太低 27
5.2.2 驱动机过热 28
5.2.3 抱轴 28
5.2.4 产生噪音 28
5.2.5 没有流量 29
5.2.6 流量减少 29
结 论 30
致 谢 31
螺杆干式真空泵设计
摘 要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。由于阴阳转子齿面间留有间隙，因而可以抽除含有粉尘，或有腐蚀性，有毒的气体。作者主要着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的基本原理。阴阳螺杆的型线研究。螺杆端面型线采用双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，建立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。几何特性的研究等。
关键词：干式真空泵 螺杆 型线 三维
Abstract: Recently，in the semiconductor process of plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) and reactive ion etching (RIE)，in the liquid crystal display device manufacture process of etching and PLASMA CVD production, it has not only high demand of vacuum environment cleanliness, but also need to extract a huge amount of reaction-gas containing particle and dust. The conventional oil pump can't solve the problems mentioned above. The research object in this paper-dry screw vacuum pump has no operating fluid in the extracting chamber. It can guarantee space extracted and out side clean. It can extract gas containing mill dust ,corrosivity ,and poison ,because it has small gap between tooth face of male and female rotors .I have focused on there search as following .The profile research of male and female screws . The end face profile is double sides and symmetrical circles. Deduce the mathematic expression of meshing principle; establish the geometric model and deduce the equations of end face profile, then the Equations of helical tooth face .The research of geometrical properties，etc.
Keywords：Dry(oil-free)vacuum pump Screw 3D
第一章绪论
随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子、化学、冶金、医疗、核聚变领域以及宇航、新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生一些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的一些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类(湿式泵)，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有干式要求的，又不得不采用繁琐的物理、化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。
螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。
1.1 课题背景及研究意义
干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，一般认为是能在大气压到Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。
干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵、爪型泵、祸旋泵、往复活塞泵、螺旋泵等.表是几种典型的干泵性能的比较.
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